العنصر |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
حجم المنتج |
≤6 بوصات |
≤8 بوصات |
≤8 بوصات |
||
مصدر طاقة RF |
0-300W/500W/1000W قابل للتعديل، مطابقة تلقائية |
||||
مضخة جزيئية |
-620 (لتر/ث) / 1300 (لتر/ث) / مخصص |
معقم 620 (لتر/ث) / 1300 (لتر/ث) / مخصص |
|||
مضخة فورلاين |
مضخة ميكانيكية / مضخة جافة |
مضخة جافة |
|||
ضغط العملية |
ضغط غير متحكم فيه / ضغط متحكم فيه من 0-1 تور |
||||
نوع الغاز |
هيدروجين / CH4 / O2 / N2 / Ar / SF6 / CF4 / CHF3 / C4F8 / NF3 / مخصص (حتى 9 قنوات، بدون غازات مؤكلة وسامة) |
H2 / CH4 / O2 / N2 / Ar / F6 / CF4 / CHF3 / C4F8 / NF3 / Cl2 / BCl3 / HBr (حتى 9 قنوات) |
|||
نطاق الغاز |
0~5sccm / 50sccm / 100sccm / 200sccm / 300sccm / 500sccm / مخصص |
||||
تحميل القفل |
نعم/لا |
نعم |
|||
تحكم درجة حرارة العينة |
10°C~درجة حرارة الغرفة/-30°C~100°C/مخصص |
-30°C~100°C/مخصص |
|||
تبريد الهيليوم الخلفي |
نعم/لا |
نعم |
|||
بطانة تجويف العملية |
نعم/لا |
نعم |
|||
تحكم درجة حرارة جدار التجويف |
لا/درجة حرارة الغرفة~60/120°C |
درجة حرارة الغرفة-60/120°C |
|||
نظام التحكم |
تلقائي/مخصص |
||||
مادة الحفر |
مستندة إلى السيليكون: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC مواد مغناطيسية/مواد سبيكية مادة معدنية: Ni/Cr/Al/Au..... مادة عضوية: PR/PMMA/HDMS/عضوية غشاء...... |
مستندة إلى السيليكون: Si/SiO2/SiNx...... III-V (ملاحظة 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (ملاحظة 3): CdTe...... مواد مغناطيسية/مواد سبيكية المادة المعدنية: ني/كري/أي1/أو...... المادة العضوية: بي آر/بي إم إم إيه/إتش دي إم إس /فيلم عضوي... |
|||
يُستخدم لتآكل المواد الصعبة التآكل مثل بعض المعادن (مثل ني / كروم) والسيراميك، و يتم تحقيق تآكل المواد المُصوَّتة من خلال القصف الفيزيائي. |
يُستخدم لتآكل وإزالة المركبات العضوية مثل مقاومة الضوء (PR) / PMMA / HDMS / البوليمر |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
