شركة قوانغتشو ميندر للتكنولوجيا العالية المحدودة

الرئيسية
من نحن
معدات ام اتش
الحلول
المستخدمين في الخارج
فيديو
اتصل بنا
الصفحة الرئيسية> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • نظام النقش الأيوني التفاعلي تحليل فشل آلة RIE
  • نظام النقش الأيوني التفاعلي تحليل فشل آلة RIE
  • نظام النقش الأيوني التفاعلي تحليل فشل آلة RIE
  • نظام النقش الأيوني التفاعلي تحليل فشل آلة RIE
  • نظام النقش الأيوني التفاعلي تحليل فشل آلة RIE
  • نظام النقش الأيوني التفاعلي تحليل فشل آلة RIE
  • نظام النقش الأيوني التفاعلي تحليل فشل آلة RIE
  • نظام النقش الأيوني التفاعلي تحليل فشل آلة RIE
  • نظام النقش الأيوني التفاعلي تحليل فشل آلة RIE
  • نظام النقش الأيوني التفاعلي تحليل فشل آلة RIE
  • نظام النقش الأيوني التفاعلي تحليل فشل آلة RIE
  • نظام النقش الأيوني التفاعلي تحليل فشل آلة RIE

نظام النقش الأيوني التفاعلي تحليل فشل آلة RIE

وصف المنتج 
نظام النقش الأيوني التفاعلي
نظام النقش الأيوني التفاعلي آلة RIE مزود تحليل فشل RIE
التطبيق
طبقة التخميل: SiO2، SiNx
السيليكون الخلفي
الطبقة اللاصقة: تان
من خلال الثقب: دبليو
الميزات
1. نقش طبقة التخميل مع أو بدون ثقوب؛  
2. نقش الطبقة اللاصقة.  
3. نقش السيليكون الخلفي
المواصفات الخاصه
تكوين المشروع ومخطط هيكل الجهاز
العناصر
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-ري


حجم المنتج
≥6 بوصة
≥8 بوصة
≥8 بوصة


مصدر طاقة الترددات اللاسلكية
0-300 واط/500 واط/1000 واط قابل للتعديل، مطابقة تلقائية


مضخة جزيئية
-/620(لتر/ثانية)/1300(لتر/ثانية)/مخصص

مطهر 620 (لتر / ثانية) / 1300 (لتر / ثانية) / مخصص

مضخة الفورلين
مضخة ميكانيكية / مضخة جافة

مضخة جافة

ضغط العملية
الضغط غير المنضبط / الضغط المتحكم فيه 0-1Torr


نوع الغاز
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/مخصص
(ما يصل إلى 9 قنوات، لا يوجد غاز مسبب للتآكل أو سام) 

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) 

مجال الغاز
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom


قفل التحميل
نعم لا

نعم

مراقبة درجة الحرارة العينة
10 درجة مئوية ~ درجة حرارة الغرفة / -30 درجة مئوية ~ 100 درجة مئوية / مخصص

-30 درجة مئوية ~ 100 درجة مئوية / مخصص

تبريد الهيليوم الخلفي
نعم لا

نعم

بطانة تجويف العملية
نعم لا

نعم

التحكم بدرجة حرارة جدار التجويف
لا/درجة حرارة الغرفة ~ 60/120 درجة مئوية

درجة حرارة الغرفة -60/120 درجة مئوية

نظام التحكم
تلقائي/مخصص


مادة النقش
أساس السيليكون: Si/SiO2/SiNx. 
الرابع إلى الرابع: كربيد السيليكون
المواد المغناطيسية / مواد السبائك
المواد المعدنية: Ni/Cr/Al/Au. 
المواد العضوية: PR/PMMA/HDMS/فيلم عضوي. 

أساسه السيليكون: Si/SiO2/SiNx. 
III-V(注3): InP/GaAs/GaN. 
الرابع إلى الرابع: كربيد السيليكون
II-VI (注3): CdTe. 
المواد المغناطيسية / مواد السبائك
المواد المعدنية: Ni/Cr/A1/Au. 
المواد العضوية: PR/PMMA/HDMS/فيلم عضوي. 

1. منع الرقائق من الطيران
2. الحد الأدنى للعقدة التي يمكن معالجتها: 14 نانومتر:
3. معدل النقش SiO2/SiNx: 50~150 نانومتر/دقيقة؛
4. خشونة السطح المحفور:5. دعم طبقة التخميل، وطبقة الالتصاق ونقش السيليكون الخلفي؛
6. نسبة اختيار Cu/Al:>50
7. آلة الكل في واحد LxWxH: 1300mmX750mmX950mm
8. دعم التنفيذ بنقرة واحدة
نتيجة العملية

النقش على المواد القائمة على السيليكون

المواد القائمة على السيليكون، وأنماط بصمة النانو، والمصفوفة
الأنماط ونقش نمط العدسة
نظام النقش الأيوني التفاعلي آلة RIE مصنع تحليل فشل RIE

InP النقش في درجة الحرارة العادية

حفر الأنماط للأجهزة القائمة على InP المستخدمة في الاتصالات البصرية، بما في ذلك بنية الدليل الموجي وبنية تجويف الرنين.
نظام النقش الأيوني التفاعلي آلة RIE مزود تحليل فشل RIE

نقش مادة SiC

مناسب لأجهزة الميكروويف وأجهزة الطاقة وما إلى ذلك.


نظام النقش الأيوني التفاعلي تفاصيل تحليل فشل آلة RIE

الاخرق الجسدي، النقش tching المواد العضوية

يتم تطبيقه على حفر المواد التي يصعب حفرها مثل بعض المعادن (مثل Ni / Cr) والسيراميك، و
الحكة النمطية.
يتم استخدامه لنقش وإزالة المركبات العضوية مثل مقاوم الضوء (PR)/PMMA/HDMS/البوليمر
نظام النقش الأيوني التفاعلي آلة RIE مصنع تحليل فشل RIE
عرض نتائج تحليل الفشل
نظام النقش الأيوني التفاعلي آلة RIE تصنيع تحليل فشل RIE
تفاصيل المنتج 
نظام النقش الأيوني التفاعلي تفاصيل تحليل فشل آلة RIE
نظام النقش الأيوني التفاعلي آلة RIE تصنيع تحليل فشل RIE
نظام النقش الأيوني التفاعلي آلة RIE مزود تحليل فشل RIE
نظام النقش الأيوني التفاعلي آلة RIE مصنع تحليل فشل RIE
نظام النقش الأيوني التفاعلي آلة RIE تصنيع تحليل فشل RIE
نظام النقش الأيوني التفاعلي آلة RIE مصنع تحليل فشل RIE
التعبئة والشحن 
نظام النقش الأيوني التفاعلي آلة RIE مصنع تحليل فشل RIE
نظام النقش الأيوني التفاعلي تفاصيل تحليل فشل آلة RIE
آلة لحام
نبذة عن الشركة

تعد آلة النقش الأيوني التفاعلي (RIE) ذات التقنية العالية من Minder قطعة من أحدث التقنيات التي يمكنها حفر وتحليل أنواع مختلفة من المواد بدقة لا تصدق. تم تصميم هذه الآلة للاستخدام في مختلف الصناعات التي تتطلب التصنيع الدقيق أو الحفر بشكل منتظم. إنها مصنوعة من مواد عالية الجودة تجعلها متينة وموثوقة وقادرة على تحقيق نتائج ممتازة. 

 

مجهزة بمولد بلازما RF فعال. يستخدم نظام RIE اقترانًا حثيًا للتوصل إلى البلازما من بنزين التغذية. تعمل هذه التقنية على إنشاء بلازما عالية الكثافة تزيد من معدل الحفر المرتبط بالمنتج. تتميز عملية الحفر في آلة RIE بأنها فعالة ودقيقة ويمكن التحكم فيها بشكل كبير، مما يسمح بتحقيق عمق محدد. هذه الميزة فريدة من نوعها فهي خيار رائع للأعمال البحثية أو الصناعية. 

 

الجهاز لديه مجموعة واسعة من، بما في ذلك الإلكترونيات الدقيقة، وتصنيع النظم الكهروميكانيكية الدقيقة، وتصنيع أشباه الموصلات. تلعب هذه الآلة دورًا مهمًا في النقش والتصنيع الدقيق للمواد شبه الموصلة مثل السيليكون وزرنيخيد الغاليوم والجرمانيوم في صناعة أشباه الموصلات. بالإضافة إلى ذلك، تم إنشاء جهاز Minder-High-tech RIE في صناعة الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة لتصنيع المواد الناعمة والصلبة مثل البوليميد وثاني أكسيد السيليكون ونيتريد السيليكون. بالإضافة إلى ذلك، يمكن الوصول إليه لتحليل الفشل في الصناعات المرتبطة بالخدمات والمنتجات الإلكترونية. 

 

يشتمل على ميزات متنوعة تجعله سهل الاستخدام. إنه برنامج سهل الاستخدام يوفر للمشغل التحكم الكامل في معلمات الحفر المستخدمة في الجهاز. يتم حفظ إعدادات الجهاز في ذاكرته الداخلية ويمكنه تخزين أكثر من 100 مجموعة من الإعدادات. تحتوي الشاشة على لمسة تسمح للمشغل بإعداد المعلمات مثل حركة الغاز وسمك الطاقة والضغط. تتميز ماكينة Minder-High-tech RIE أيضًا بميزة التحكم في درجة الحرارة التي تضمن حفر المواد عند درجة الحرارة المناسبة وتوقف تلفها. 

 

مثالي للشركات التي تحتاج إلى آلة موثوقة وفعالة يمكنها تقديم نتائج دقيقة ودقيقة. لقد تم تصميم هذا الجهاز بتقنية عالية المستوى ومستوى كبير. إن تعدد استخداماته وميزاته سهلة الاستخدام تجعله خيارًا جيدًا جدًا لتطبيقات البحث والصناعة عبر مختلف القطاعات. 

 

كما أن لديها نظامًا فعالاً لتحليل الأعطال يمكّن الماكينة من اكتشاف أي مشكلات ميكانيكية وتصحيحها في أسرع وقت ممكن. يضمن هذا النظام أن تحافظ آلة RIE على الجودة العالية والموثوقية طوال دورة حياتها. بالنسبة لأي صناعة تتطلب حفرًا أو تصنيعًا دقيقًا ودقيقًا، فإن آلة RIE ذات التقنية العالية من Minder هي الحل الأمثل.


استفسر

استفسر البريد الإلكتروني الواتساب وي شات
★★★★
×

الاتصال بالشركة