Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

الصفحة الرئيسية
معلومات عنا
MH Equipment
حلول
المستخدمون في الخارج
فيديو
اتصل بنا
الصفحة الرئيسية> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • نظام الحفر بالأيونات التفاعلية RIE آلة RIE تحليل الفشل
  • نظام الحفر بالأيونات التفاعلية RIE آلة RIE تحليل الفشل
  • نظام الحفر بالأيونات التفاعلية RIE آلة RIE تحليل الفشل
  • نظام الحفر بالأيونات التفاعلية RIE آلة RIE تحليل الفشل
  • نظام الحفر بالأيونات التفاعلية RIE آلة RIE تحليل الفشل
  • نظام الحفر بالأيونات التفاعلية RIE آلة RIE تحليل الفشل
  • نظام الحفر بالأيونات التفاعلية RIE آلة RIE تحليل الفشل
  • نظام الحفر بالأيونات التفاعلية RIE آلة RIE تحليل الفشل
  • نظام الحفر بالأيونات التفاعلية RIE آلة RIE تحليل الفشل
  • نظام الحفر بالأيونات التفاعلية RIE آلة RIE تحليل الفشل
  • نظام الحفر بالأيونات التفاعلية RIE آلة RIE تحليل الفشل
  • نظام الحفر بالأيونات التفاعلية RIE آلة RIE تحليل الفشل

نظام الحفر بالأيونات التفاعلية RIE آلة RIE تحليل الفشل

وصف المنتج
نظام تآكل الأيونات التفاعلية
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier
تطبيق
طبقة التحصين: SiO2، SiNx
خلف السيليكون
طبقة اللُّصوق: TaN
ثقب من خلال: W
مميز
1. تآكل طبقة التحصين مع أو بدون فتحات;
2. تفريغ الطبقة اللاصقة;
3. تفريغ السيليكون الخلفي
المواصفات
تكوين المشروع ورسم هيكل الآلة
العنصر
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


حجم المنتج
≤6 بوصات
≤8 بوصات
≤8 بوصات


مصدر طاقة RF
0-300W/500W/1000W قابل للتعديل، مطابقة تلقائية


مضخة جزيئية
-620 (لتر/ث) / 1300 (لتر/ث) / مخصص

معقم 620 (لتر/ث) / 1300 (لتر/ث) / مخصص

مضخة فورلاين
مضخة ميكانيكية / مضخة جافة

مضخة جافة

ضغط العملية
ضغط غير متحكم فيه / ضغط متحكم فيه من 0-1 تور


نوع الغاز
هيدروجين / CH4 / O2 / N2 / Ar / SF6 / CF4 /
CHF3 / C4F8 / NF3 / مخصص
(حتى 9 قنوات، بدون غازات مؤكلة وسامة)

H2 / CH4 / O2 / N2 / Ar / F6 / CF4 / CHF3 / C4F8 / NF3 / Cl2 / BCl3 / HBr (حتى 9 قنوات)

نطاق الغاز
0~5sccm / 50sccm / 100sccm / 200sccm / 300sccm / 500sccm / مخصص


تحميل القفل
نعم/لا

نعم

تحكم درجة حرارة العينة
10°C~درجة حرارة الغرفة/-30°C~100°C/مخصص

-30°C~100°C/مخصص

تبريد الهيليوم الخلفي
نعم/لا

نعم

بطانة تجويف العملية
نعم/لا

نعم

تحكم درجة حرارة جدار التجويف
لا/درجة حرارة الغرفة~60/120°C

درجة حرارة الغرفة-60/120°C

نظام التحكم
تلقائي/مخصص


مادة الحفر
معتمدة على السيليكون: Si/SiO2/SiNx.
IV-IV: SiC
مواد مغناطيسية/مواد سبيكية
مادة معدنية: Ni/Cr/Al/Au.
مادة عضوية: PR/PMMA/HDMS/فيلم عضوي.

معتمدة على السيليكون: Si/SiO2/SiNx.
III-V (ملاحظة 3): InP/GaAs/GaN.
IV-IV: SiC
II-VI (ملاحظة 3): CdTe.
مواد مغناطيسية/مواد سبيكية
مادة معدنية: Ni/Cr/A1/Au.
المادة العضوية: PR/PMMA/HDMS / فيلم عضوي.

1. منع الشرر من الطيران
2. أصغر عقدة يمكن معالجتها: 14nm:
3. معدل تآكل SiO2/SiNx: 50~150 نانومتر/دقيقة;
4. خشونة سطح التآكل: 5. دعم طبقة التبلور، طبقة الالتصاق والتآكل الخلفي للكремيل؛
6. نسبة الاختيار لـ Cu/Al: >50
7. أبعاد الجهاز المتكامل LxWxH: 1300mmX750mmX950mm
8. دعم تنفيذ بضغطة زر واحدة
نتيجة العملية

تآكل المواد القائمة على السيليكون

المواد ذات الأساس السيليكوني، أنماط النانو-ختم، المصفوفة
أنماط ولنقوشات تآكل العدسات
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory

تآكل درجة الحرارة العادية لـ InP

تآكل الأنماط للأجهزة المستندة إلى InP المستخدمة في الاتصالات الضوئية، بما في ذلك هيكل الدليل الموجي، وهيكل الكهف المتذبذب.
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier

تآكل مادة SiC

مناسب للأجهزة المايكروويف، والأجهزة القوية، وما إلى ذلك.


Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details

التقشير الفيزيائي، وتآكل المواد العضوية

يُستخدم لتآكل المواد الصعبة التآكل مثل بعض المعادن (مثل ني / كروم) والسيراميك، و
التآكل المنقوش.
يُستخدم لتآكل وإزالة المركبات العضوية مثل مقاومة الضوء (PR) / PMMA / HDMS / البوليمر
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
عرض نتائج تحليل الفشل
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture
تفاصيل المنتج
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
التغليف والشحن
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details
جهاز اللحام
نبذة عن الشركة

آلة Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) هي قطعة تقنية حديثة يمكنها نقش وتحليل أنواع مختلفة من المواد بدقة مذهلة. صُمِّمت هذه الآلة للاستخدام في مختلف الصناعات التي تحتاج إلى التصنيع الدقيق أو النقش بشكل منتظم. وهي مصنوعة من مواد عالية الجودة مما يجعلها متينة، đáng الاعتماد عليها، وقادرة على إنتاج نتائج ممتازة.

 

مجهزة بمحرك بلازما RF وهو فعال. يستخدم نظام RIE Kopling عن طريق التحفيز لإنشاء البلازما من الوقود المغذي. هذه التقنية تنشئ بلازما كثيفة تعزز معدل النقش المرتبط بالمنتج. عملية النقش الخاصة بآلة RIE فعالة، دقيقة، وقابلة للتحكم بشكل كبير، مما يسمح بتحقيق عمق معين. هذه الميزة تجعلها خيارًا رائعًا لأعمال البحث أو الصناعة.

 

الجهاز لديه نطاق واسع من الاستخدامات، بما في ذلك إنتاج الدوائر المتكاملة الصغيرة جدًا (الميكروإلكترونيات)، تصنيع الأجهزة الميكروإلكتروميكانيكية (MEMS)، وإنتاج المواد شبه الموصلة. يلعب هذا الجهاز دورًا مهمًا في عمليات النحت والتصنيع الدقيق للمواد شبه الموصلة مثل السيليكون، وأرسيد الغاليوم، والجيرمانيوم في صناعة المواد شبه الموصلة. كما تم استخدام جهاز Minder-High-tech RIE أيضًا في صناعة الأجهزة الميكروإلكتروميكانيكية لتصنيع المواد اللينة والصلبة مثل البوليإميد، أكسيد السيليكون، ونيتريد السيليكون. بالإضافة إلى ذلك، فهو متاح لتحليل الفشل في الصناعات المتعلقة بالخدمات والمنتجات الإلكترونية.

 

يشمل ميزات مختلفة تجعل من السهل استخدامه. إنها برنامج سهل الاستخدام يوفر للمشغل سيطرة كاملة على معلمات النحت المستخدمة في الجهاز. يتم حفظ إعدادات الجهاز في ذاكرته الداخلية ويمكنه تخزين أكثر من 100 مجموعة من الإعدادات. كما أنه مزود بشاشة لمس تسمح للمشغل بضبط المعلمات مثل تدفق الغاز، كثافة القوة، والضغط. كما أن جهاز Minder-High-tech RIE يحتوي أيضًا على ميزة التحكم في درجة الحرارة التي تضمن نحت المواد عند درجة الحرارة المناسبة وتمنع حدوث أي ضرر لها.

 

مثالي للشركات التي تحتاج إلى جهاز موثوق وفعال يمكنه تقديم نتائج دقيقة ومحددة. تم تصميم هذا الجهاز باستخدام تقنية رائعة ومستوى عالٍ جدًا. تنوعه وميزاته السهلة الاستخدام تجعله خيارًا ممتازًا لتطبيقات البحث والصناعة في مختلف القطاعات.

 

يحتوي أيضًا على نظام تحليل فعال للعيوب يمكّن الجهاز من الكشف عن أي مشاكل ميكانيكية وإصلاحها في أسرع وقت ممكن. يضمن هذا النظام أن يحافظ جهاز RIE على الجودة العالية والموثوقية طوال دورة حياته. ولأي صناعة تتطلب عمليات حفر دقيقة وكفاءة عالية أو تصنيع مايكرو، فإن جهاز RIE من Minder-High-tech هو الحل المثالي.


استفسار

استفسار Email واتساب Top
×

تواصل معنا