مصدر البلازما
|
RF
|
||
طاقة
|
ICP
|
_
|
|
BIAS
|
1000W(اختياري)
|
||
نطاق التطبيق
|
4~8 بوصة
|
||
عدد الشرائح المعالجة بشكل فردي
|
1
|
||
الأبعاد الخارجية
|
850مم × 900مم × 1850مم
|
||
تحكم النظام
|
PLC
|
||
مستوى الأتمتة
|
دليل
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved