معدات صناعة أشباه الموصلات جهاز تنظيف القناع الضوئي MDLB-MC200

رقم

مشروع

تفاصيل

ملاحظات

1

معدات نظرة عامة

اسم الجهاز: منظف Photomask

طراز المعدات: MDLB-MC200

الأبعاد الكلية (تقريبًا): 1300 مم (عرض) * 1000 مم (عمق) * 1950 مم (ارتفاع)

وزن الماكينة بالكامل (تقريبًا): 300 كجم

ارتفاع طاولة التشغيل: 900 ± 50 مم

مواصفات حجم الركيزة: مناسبة لألواح الأقنعة المربعة مقاس 2/4/5/6/8 بوصة

سير العملية: وضع الرقاقة يدويًا → التنظيف (الفرشاة، محلول التنظيف → الماء عالي الضغط → الماء بالموجات فوق الصوتية → الماء منزوع الأيونات → تجفيف غاز النيتروجين) → إزالة الرقاقة يدويًا

نوع المعدات: شبه أوتوماتيكية، تحميل وتفريغ يدوي

2

بناء المعدات

الغلاف: الفولاذ المقاوم للصدأ، أملس، مقاوم للتآكل، سهل التنظيف

حجرة التنظيف: PP، ناعمة، مقاومة للتآكل، سهلة التنظيف

خط الأنابيب: يتم استخدام خط أنابيب مطابق لـ PU/PFA

إضاءة العمل: إضاءة الضوء الأصفر المضادة للتآكل

نمط فتح الباب: باب مزدوج مع وظيفة إنذار فتح الباب

شاشة تعمل باللمس: شاشة تعمل باللمس كاملة الألوان مقاس 10 بوصات * 1

FFU: الفئة 100

دعم سفلي مقاوم للتسرب: متوفر

3

محرك سيرفو عالي الدقة

الكمية: 1

السرعة: -3000~3000 دورة في الدقيقة

حمولة فارغة

الحد الأقصى لتسارع دوران المغزل: 3000 دورة في الدقيقة / ثانية

حمولة فارغة

دقة السرعة: ± 1 دورة في الدقيقة (50 دورة في الدقيقة ~ 3000 دورة في الدقيقة)

دقة السرعة: 1 دورة في الدقيقة

4

ذراع التأرجح التلقائي

الكمية: 3

سرعة ذراع التأرجح: 1~30 درجة/ثانية

5

وحدة تنظيف

ذراع التنظيف المتأرجح: قناة واحدة من الماء منزوع الأيونات، قناة واحدة من غاز النيتروجين

ذراع ميجاسونيك: 1 ميجاسونيك، 1 ذراع مياه عالية الضغط

ذراع الفرشاة: فرشاة واحدة، ماء واحد، محلول تنظيف واحد

طريقة التنظيف: التنظيف التلقائي

وظيفة شفط الماء منزوع الأيونات: متوفرة

الغسيل العكسي (الماء منزوع الأيونات): مسار واحد

طريقة التوريد: محلول التنظيف: مضخة الحجاب الحاجز

الماء منزوع الأيونات: يتم توفيره مباشرة من المصنع

خزان ضغط مع كشف مستوى السائل

6

فرشاة فرشاة

الكمية: 1 (مع وظيفة التنظيف الذاتي)

السرعة: تصل إلى 1000 دورة في الدقيقة، سرعة قابلة للتعديل

ارتفاع قابل للتعديل يدويا

7

تحميل الدرج

الكمية: 5

المواد: PPS + الفولاذ المقاوم للصدأ

المقاس: مناسب لألواح الأقنعة المربعة مقاس 2/4/5/6/8 بوصة

طريقة تثبيت الركيزة: طريقة التثبيت بالمخلب

8

نظام التحكم

نظام التحكم: باستخدام التحكم PLC

البرنامج: 100 مجموعة، كل مجموعة تتكون من 100 خطوة، مع أقصى وقت للخطوة الواحدة 3000.0 ثانية

الدقة: 0.1 ثانية

يمكن حفظ البرنامج واستدعائه وتعديله وحذفه

تعيين أذونات التشفير: لمشغلي الأجهزة، والفنيين، والمسؤولين، والشركات المصنعة على التوالي

نوع برج الإشارة: أحمر، أصفر، أخضر 3 ألوان