آلة إزالة PR من نوع مختبر ICP لصناعة أشباه الموصلات لإزالة بقايا المقاومة الضوئية ، الصين آلة إزالة PR من نوع مختبر ICP لصناعة أشباه الموصلات لإزالة بقايا المقاومة الضوئية المصنعين والموردين والمصنع

وصف المنتج

إزالة العلاقات العامة من نوع مختبر ICP مزيل مقاوم للضوء آلة

أشينغ
إزالة البوليمر
فضل
الإزالة الجافة لطبقة القناع الصلبة
إزالة المقاومة الضوئية بعد زرع الأيونات الأنثوية
إزالة المقاومة البصرية بين الوسائط
إزالة المقاومة الضوئية في عملية BAW/SAW
التنظيف الجاف لطبقة الفيلم الجرافيكي المضاد للانعكاس Y
أكسيد السيليكون أو نيتريد السيليكون النقش
إزالة بقايا السطح
تنظيف السطح بعد النقش
النقش كربيد السيليكون

صناعة أشباه الموصلات ICP آلة إزالة العلاقات العامة من نوع مختبر Photoresist Residual Removal

طريقة عملنا

صناعة أشباه الموصلات ICP مختبر آلة إزالة العلاقات العامة مصنع إزالة بقايا مقاوم الضوء

صناعة أشباه الموصلات ICP مختبر نوع آلة إزالة العلاقات العامة تفاصيل إزالة بقايا مقاوم الضوء

ميزة:

الميزة الأساسية

معدل إزالة الصمغ العالي: بلازما عالية الكثافة، معدل إزالة الصمغ سريع
الاستقرار: بعد العلاج بالبلازما، استنساخ عالية
البلازما البعيدة: البلازما البعيدة، ضرر أيوني منخفض للرقاقة
البرامج المميزة: البحث والتطوير المستقل للبرامج، والرسوم المتحركة للعمليات البديهية، والبيانات والسجلات التفصيلية
التوحيد: يمكن للبلازما التحكم في الضغط ودرجة الحرارة من خلال صمام الفراشة
عامل الأمان: انخفاض البلازما يقلل من تلف تفريغ المنتج.
خدمة ما بعد البيع: الاستجابة السريعة والمخزون الكافي
التحكم في الغبار: تلبية متطلبات العملاء.
التكنولوجيا الأساسية: مع ما يقرب من 40% من أعضاء فريق البحث والتطوير

منصة الكاسيت (MD-ST 6100/620)

1. 4 حاملات الويفر
2. التوافق العالي: مرونة اختيار حجم الرقاقة تجلب تكلفة عالية وكفاءة للحلول
3. غرفة نقل فراغ عالية الاستقرار:
لقد تم تطبيق تصميم ناقل الحركة الفراغي الناضج والمستقر بشكل ناضج في السوق لسنوات عديدة وهو معترف به جيدًا من قبل العملاء.
تصميم القرص الدوار، مساحة صغيرة، يقلل بشكل كبير من خطر الجزئي
4. واجهة تشغيل البرنامج المتوافقة مع البشر:
واجهة تشغيل برمجية بديهية ومتوافقة مع البشر، ومراقبة حالة تشغيل الماكينة في الوقت الفعلي؛
إنذار شامل ووظائف مقاومة للخداع لتجنب سوء التشغيل.
وظيفة تصدير بيانات قوية، وسجلات لمعلمات العملية المختلفة، وتصدير سجلات إنتاج المنتج.

مطبوعات رجل الالي

1. تصميم اختيار ومكان الرقاقة المزدوجة لمرة واحدة يجلب إنتاجية عالية
2. تحسين كفاءة المساحة.

التدفئة لوحة

1. لوحة رقاقة التحكم في درجة الحرارة عالية الدقة
لوحة تسخين الويفر من درجة حرارة الغرفة إلى 250 درجة مئوية، دقة التحكم في درجة الحرارة ±1 درجة مئوية
تمت معايرة لوحة تسخين الويفر بواسطة أدوات احترافية، والتوحيد. في حدود ±3 درجة مئوية، تأكد من تجانس إزالة الغراء
2. معالجة الرقاقة المزدوجة ذات الغرفة الواحدة
تصميم برقاقة مزدوجة بغرفة واحدة؛
تصميم مستقل لتفريغ الطاقة لكل رقاقة، مما يضمن أن كل رقاقة. تأثير إزالة العلاقات العامة المستديرة.
في إطار فرضية ضمان كفاءة UPH، تقليل تكلفة المنتج. التوافق القوي
3. القدرة الإنتاجية: غرفة التفاعل ذات التصميم المزدوج، كفاءة الإنتاج العالية.

المواصفات الخاصه

مصدر البلازما			الترددات اللاسلكية + التحيز
الطاقة	1000W	1000W
الطاقة		600W	600W
نطاق التطبيق			بوصة 4-8
عدد شرائح المعالجة الواحدة			صورة واحدة؟
أبعاد المظهر			1140mm س س 1050mm 1620mm
نظام مراقبة			نظام التحكم الصناعي
مستوى الأتمتة			مانيوال

قدرة الأجهزة
وقت التشغيل/الوقت المتاح	≧ 95٪
متوسط الوقت اللازم للتنظيف (MTTC)	≦6 ساعات
متوسط الوقت للإصلاح (MTTR)	≦4 ساعات
متوسط الوقت بين حالات الفشل (MTBF)	≧350 ساعة
متوسط الوقت بين المساعد (MTBA)	≧24 ساعة
متوسط الرقاقة بين المكسور (MWBB)	≦1 في 10,000 رقاقة
التحكم بلوحة التسخين	50-250 °