البلازما
|
rF
|
rF
|
||
طاقة
|
ICP
|
1000 واط
|
1000 واط
|
|
BIAS
|
600w(option)
|
600w(option)
|
||
نطاق التطبيق
|
4~8 بوصة
|
4~8 بوصة
|
||
عدد الشرائح المعالجة بشكل فردي
|
1
|
2
|
||
الأبعاد الخارجية
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
تحكم النظام
|
نظام التحكم الصناعي
|
نظام التحكم الصناعي
|
||
مستوى الأتمتة
|
تلقائي
|
تلقائي
|
قدرة الأجهزة
|
||
الوقت المتاح للعمل
|
≧95%
|
|
متوسط الوقت اللازم للتنظيف (MTTC)
|
≦6 ساعات
|
|
متوسط الوقت اللازم لإصلاح (MTTR)
|
≦4 ساعات
|
|
متوسط الفترة الزمنية بين الفشل (MTBF)
|
≧350 ساعة
|
|
الوقت المتوسط بين المساعد (MTBA)
|
≧24 ساعة
|
|
الوسيط المتوسط بين الكسور (MWBB)
|
≦1 في 10,000 شريحة
|
|
تحكم لوحة التدفئة
|
50-250°
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved