آلة تنظيف رقاقة واحدة أوتوماتيكية بالكامل مقشر الويفر
ميزات الجهاز
تجويف واحد، وتجويفين، وأربعة تجاويف قدرة عملية قوية، قادرة على دعم التطبيقات مثل Wafer Start وتنظيف العملية اتساق جيد بين تكنولوجيا المعدات والشرائح
مجالات التطبيق
إزالة الجسيمات السطحية من رقائق السيليكون والرقائق المركبة التي يبلغ طولها من 4 إلى 8 بوصات
المواصفات الفنية
تجويف فرشاة 4 بوصة، 6 بوصة، 8 بوصة سرعة الدوران تصل إلى 4000 دورة في الدقيقة غرفة فرشاة ذات ذراعين، متوفرة بطرق تنظيف Brush وAS وJET وMegasonics يمكن أن يدعم وظيفة التنظيف السائل
وحدة LoadPort، وحدة التحميل
LoadPort هي وحدة التحميل لهذا الجهاز
قادرة على رسم خرائط الرقاقة مزود بخاصية كشف شريحة الرقاقة
وحدة نقل الروبوت
روبوت ذو شفرة مزدوجة، اختياري مع شفرات من نوع الفراغ أو الصينية.
وحدة المحاذاة والتقليب
يمكن محاذاة وتحديد موقع الحواف المسطحة يمكن قلب الرقاقة لتنظيف الجزء الخلفي من الكريستال
وحدة التنظيف بالفرشاة
كمية ذراع الفرشاة * 2 مقبض الرقاقة: مشبك تثبيت أو نوع الشفط أوضاع التنظيف بالفرشاة، AS، JET، Megasonics، دعم التنظيف الدوائي
1. يدعم إدخال وإخراج الرقاقة في وقت واحد، بالإضافة إلى أوضاع الإدخال A والإخراج B 2. يمكن أن يدعم تنظيف الجزء الأمامي من الغرفة A والجزء الخلفي من الغرفة B 3. يمكن أن يدعم التنظيف المتوازي للغرفة المزدوجة
وصف وحدة الفرشاة
كما هو مبين في الشكل رقاقة مثبتة أعلى الدوار
يمكن استخدام Arm1 وArm2 جنبًا إلى جنب مع طرق التنظيف المختلفة تم وصفها سابقًا لتنظيف الرقائق.
بعد التنظيف، تدور الغزالة بسرعة عالية لتدوير وتجفيف الرقاقة
وحدة المحاذاة والتقليب
يمكن استخدام الرقاقة للأغراض السكنية والتسوية
يمكن قلب الرقاقة
حجم المعدات: 160x150x220 (مم) طرق التحميل والتفريغ: نفس المدخل ونفس المخرج وA المدخل وB المخرج عدد وحدات الفرشاة: 2 أوضاع التنظيف بالفرشاة: Brush، AS، JET، طرق التنظيف Megasonics، دعم التنظيف الدوائي
التعبئة والشحن
نبذة عن الشركة
الأسئلة الشائعة
1. حول السعر: جميع أسعارنا تنافسية وقابلة للتفاوض. يختلف السعر حسب تكوين جهازك وتعقيد تخصيصه.
2. حول العينة: يمكننا أن نقدم لك خدمات إنتاج العينات، ولكن قد يتعين عليك دفع بعض الرسوم.
3. حول الدفع: بعد تأكيد الخطة، يتعين عليك دفع وديعة لنا أولاً، وسيبدأ المصنع في تحضير البضائع. بعد المعدات جاهزة وتدفع المبلغ المتبقي وسوف نقوم بشحنها.
4. حول التسليم: بعد اكتمال تصنيع المعدات، سنرسل لك فيديو القبول، ويمكنك أيضًا القدوم إلى الموقع لتفقد المعدات.
5. التثبيت وتصحيح الأخطاء: بعد وصول المعدات إلى مصنعك، يمكننا إرسال مهندسين لتثبيت المعدات وتصحيح أخطائها. وسنقدم لك عرض أسعار منفصلًا لرسوم هذه الخدمة.
6. حول الضمان: تتمتع معداتنا بفترة ضمان مدتها 12 شهرًا. بعد انتهاء فترة الضمان، إذا تعرضت أي أجزاء للتلف وتحتاج إلى الاستبدال، فسوف نتقاضى سعر التكلفة فقط.