جهاز تنظيف وافر أوتوماتيكي بالكامل للشرائح الواحدة جهاز تنظيف وافر
مميزات الماكينة
تجويف واحد، تجويفان، وأربعة تجاويف قدرات قوية في العملية، قادرة على دعم التطبيقات مثل بدء الشريحة (Wafer Start) وتنظيف العملية اتساق جيد لتكنولوجيا بين الشرائح داخل المعدات
مجالات التطبيق
إزالة الجزيئات من السطح للشرائح السيليكونية والمركبة القطر 4-8 بوصات
المعلمات الفنية
تجويف فرشاة مقاس 4 بوصات، 6 بوصات، و8 بوصات سرعة الدوران تصل إلى 4000 دورة في الدقيقة غرفة فرش مزدوجة، متاحة بطرق التنظيف: فرشاة، AS، JET، تنظيف بالموجات فوق الصوتية يمكنها دعم وظيفة التنظيف السائل
وحدة LoadPort، وحدة التحميل
LoadPort هي وحدة التحميل لهذه الجهاز
قادرة على خريطة الشريحة (Wafer Mapping) مجهزة بكشف شريحة الانزلاق
وحدة روبوت النقل
روبوت شفرتين مزدوجتين، اختياري مع شفط أو نوع صواني الشفرات.
وحدة التحديد والقلب
يمكنها تحديد وتحديد الحواف المستوية يمكن قلب الوحدة لتنظيف ظهر البلورة
وحدة الفرشاة
كمية ذراع الفرشاة * 2 حامل الوحدة: قابض أو نوع شفط فرشاة، أوضاع التنظيف AS، JET، Megasonics، تدعم تنظيف الصناعات الدوائية
1. تدعم إدخال وإخراج الوحدة في نفس الوقت، وكذلك أوضاع الإدخال A والإخراج B 2. يمكن أن يدعم فرك الجزء الأمامي من غرفة A والجزء الخلفي من غرفة B 3. يمكن أن يدعم تنظيف الغرف المزدوجة بشكل متوازي
وصف وحدة الفرشاة
كما هو موضح في الشكل شريحة السيليكون مثبتة فوق الدوار (Spinner)
يمكن استخدام الذراعين 1 و2 معًا مع طرق مختلفة للفرك المذكورة سابقًا لتنظيف الشرائح.
بعد التنظيف، يدور الدوار بسرعة عالية لتجفيف الشريحة بالطرد المركزي
وحدة التحديد والقلب
يمكن استخدام الشريحة للأغراض السكنية والتسطيح
يمكن قلب الشريحة
حجم الجهاز: 160x150x220 (مم) طرق التحميل والتفريغ: نفس المدخل والخروج & أ دخل وب خرج عدد وحدات الفرشاة: 2 أطوار الفرشاة: فرشاة، AS، JET، طرق تنظيف Megasonics، поддержива تنظيف الصيدلانية
التغليف والشحن
نبذة عن الشركة
أسئلة شائعة
1. حول السعر: جميع أسعارنا تنافسية قابلة للتفاوض. يختلف السعر بناءً على التكوين وتعقيد التخصيص الخاص بجهازك.
2. حول العينة: يمكننا تقديم خدمات إنتاج العينات لك، لكنك قد تقدم بعض الرسوم.
3. حول الدفع: بعد التأكد من الخطة، تحتاج إلى دفعنا مقدم أولاً، وسيبدأ المصنع في إعداد البضائع. بعد أن يكون الجهاز جاهزًا وتدفع الرصيد، سنقوم بشحنه. المعدات جاهزة وتدفع الرصيد، سنقوم بشحنها.
4. حول التسليم: بعد اكتمال تصنيع المعدات، سنسجل لك فيديو الفحص، ويمكنك أيضًا القدوم إلى الموقع لفحص المعدات.
5. التركيب والضبط: بعد وصول المعدات إلى مصنعك، يمكننا إرسال المهندسين لتركيب وضبط المعدات. سنقدم لك عرض أسعار منفصل لهذه خدمة الرسوم.
6. حول الضمان: تتمتع معداتنا بفترة ضمان تبلغ 12 شهرًا. بعد انتهاء فترة الضمان، إذا تلف أي قطعة وأحتاج إلى استبدالها، سنقوم فقط بتحصيل تكلفة القطعة.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
