المعلم التقني |
وضع القياس |
PSI/VSI/عمق الحقل الفائق/حقل مضيء |
حقل رؤية قياس واحد (عدسة موضوع 20×) |
500*350μm (تجميع تلقائي) |
|
ضبط الزاوية |
±12° يدوي |
|
ضبط محور Z |
20mm كهربائي + 50mm يدوي (آلية ضبط خشن ودقيق) |
|
مدى المسح الطولي |
0-10ملم |
|
دقة طولية |
<0.2nm |
|
تكرار قياس الخشونة الطولية |
0.01nm (وضع PSI) |
|
خطأ مؤشر الارتفاع المتدرج القياسات |
<0.75% (وضع VSI) |
|
الدقة الجانبية: @550nm |
0.69μm (عدسة موضوع 20×) |
|
قابلية انعكاس العينة القابلة للقياس |
0.1%-100% |
|
وقت القياس |
<5s (وضع PSI) |
|
وظيفة التحليل |
وظيفة التحليل |
قياس الارتفاع ثلاثي الأبعاد، تحليل الخشونة ثلاثي الأبعاد، قياس الأبعاد ثنائية الأبعاد |
إخراج بيانات ثلاثية الأبعاد |
بيانات سحابة النقاط ثلاثية الأبعاد، بيانات صور الظل الرمادي، تقرير مخصص |
تكبير العدسة |
2.5X |
5x |
10X |
20x |
50x |
100x |
الفتحة العددية |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
الدقة البصرية @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
عمق التركيز (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
المسافة العاملة (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved