الاستخدام الواسع النطاق لآلات تنظيف البلازما في صناعة أشباه الموصلات

إن تطبيق آلات تنظيف البلازما في صناعة أشباه الموصلات واسع جدًا، وينعكس بشكل أساسي في الجوانب التالية:

▘تنظيف تنشيط السطح: لتنظيف تنشيط سطح الرقاقات، ورقائق IC، ورقائق السيليكون أشباه الموصلات، وما إلى ذلك، فإن تقنية تنظيف البلازما لها وظيفة إزالة أغشية الأكسيد والمواد العضوية والأقنعة وما إلى ذلك من سطح الرقاقة، ومعالجة التنقية وتنشيط السطح، وتجنب ظاهرة اللحام الافتراضي.

▘معالجة ما بعد التعبئة: بعد اكتمال تعبئة الرقائق، يتم تنظيف مادة التعبئة لإزالة بقايا اللحام والمواد الملوثة الناتجة أثناء عملية التعبئة، مما يضمن جودة المنتج. يمكن لآلات التنظيف بالبلازما تحقيق معالجة خالية من التلوث مع تجنب استخدام المذيبات الضارة التي يمكن أن تضر بصحة الإنسان.

▘إزالة بقايا المقاومة الضوئية: تستخدم في عملية الطباعة الضوئية لتصنيع أشباه الموصلات لتحديد نمط المعدات. بعد اكتمال الطباعة الضوئية، يمكن لآلة تنظيف البلازما إزالة بقايا المقاومة الضوئية بسرعة ودقة لضمان دقة النمط وموثوقية المعدات.

▘المعالجة المسبقة لترسب الفيلم: أثناء عملية ترسب الفيلم، يجب الحفاظ على السطح نظيفًا للغاية لضمان التصاق الفيلم وتوحيده. يمكن للتنظيف بالبلازما إزالة الملوثات والبقايا بشكل فعال قبل الترسيب، وبالتالي تحسين جودة الأفلام الرقيقة.

▘تعديل السطح: لا يتم استخدام معالجة البلازما للتنظيف فحسب، بل يمكنها أيضًا تحقيق تعديل السطح. من خلال ضبط تركيبة الغاز ومعلمات المعالجة، يمكن لتقنية البلازما تحسين قابلية المواد للانجذاب للماء أو كرهها للماء، وتعزيز أداء الأجهزة واستقرارها.

▘ تحسين الالتصاق: يمكن استخدام آلات تنظيف البلازما لتنظيف مواد التغليف، مثل البلاستيك والسيراميك وما إلى ذلك، لتعزيز الالتصاق وموثوقية مواد التغليف؛ تحسين أداء الالتصاق بين المادة اللاصقة الموصلة للحبوب والوسادة، وأداء تسرب معجون اللحام، وتعزيز توتر ربط الأسلاك، وتحسين موثوقية الأجهزة المعبأة.