Reaktiv iyon etçilmesi ürkütücü gələn bir ifadədir, amma aslında bu, insanların texnologiya üçün kiçik hissələri brunch ölçüsündəkilərə çevirmək üçün istifadə etdikləri metoddur. Bu kiçik hissələr hər gün istifadə edilən smartfonlar, kompüterlər və başqa cihazlar kimi əşyaların əsas elementləridir. Bu prosesin əsas funksiyası, materialın bölmələrini silməkdir ki, siz kiçik və dəqiqlik tələb edən hissələr yarada biləsiniz. Bu maddədə biz reaktiv iyon etçilmesinin nə olduğunu müzakirə edəcəyik — RIE-nin digər plazma-kimyəvi işləmə metodları ilə müqayisədə olğuruları və manfiyyətləri; bu prosesdə plazma kimyasının rolü; düzgün RIE avadanlığı istifadəsi ilə necə yüksək keyfiyyətli nəticələr almaq olar və son olaraq, bu texnologiya alətində qəbul tapdığı yer haqqında danışacağıq.
Reaktiv iyon etçilmesi, kiçik iyonlar və qazdan istifadə edən, maddələrin parçalarını silmək üçün murəkkəb bir metodudur. Onu tam olaraq formalaşdırmaq üçün seçici şəkildə materialı silməyə kömək edən yüksək güclü sprayt kimi düşünə bilərsiniz. Bu iyonları materialın səthindən yuxarı atmaqla bağlıdır. Iyonlar materiala çarğandıqlarında, onlar ilə reaksiya girir və silinə bilən miniss dərillərə bölünür. Materiali tamamilə qapalı və hava olmadan olan, vakum kamerası adlanan qutuda yerləşdirirsiniz. Bu kiçik dərillər radyo tezliyi enerjisi ilə yaradılır, burada onlar iyonlar yaradır.
Reaktiv ion etçilmesi, detallarda göstərdiyi şəkildə ən yaxşılardandır. Bu da onun yüksək-dəqiqlikli bucaqlı və qabarıq xüsusiyyətləri istehsal edə biləcəyini ifadə edir, lakin bu sıvı istifadə edilmədiyi halda gəz ilə edilir. Bu, bu üsul ilə yaradılan hissələrin texnologiya [1]-də tam olaraq məqsəd-üçün olduğunu deməkdir. Eyni zamanda, bu ən sürətli proseslərdən biridir; daha çox hissə əlçatan zaman ərzində istehsal edilə bilər. Bu proses belə sürətli olduğu üçün, xüsusi bir hissənin böyük tələbə siyahıya alınan şirkətlər üçün çox effektiv ola bilər.
Amma reaktiv ion etçilmesində də problemlər var. Bütün material növləri üçün uyğun deyil, çünki bəziləri bu lazer kəsmələrə malik olmamağa görə. Və uyğun temperatur və basinqların yerinə yetirilməsi lazımdır. Yalnız bir eksiklik budur ki, digər etçilme üsulları ilə müqayisədə maliyetlərə səbəb ola bilər ki, bu bəzi iş yerlərini puldurmaqla kaplama avantajından istifadə etməsini dayandırabilir.
Reaktiv iyon oyuşma prosesində plazma kimyəsi çox vacib yer tutur. Bu iyonlar, plazma tərəfindən yaradılır və materialın kimyəvi birləşmələrini sökür, bu da oyuşmaqədər. Birləşmələr söküləndikdən sonra, material qaz akımı ilə birlikdə minscül hissələrə bölünür və uzaqlaşır. Kimyəvi reaksiyada nə alınacaq, istifadə olunan qaz növü ilə bağlı olabilir. Məsələn, azot qazı, maddələri pozulmayan artıqlar qalmadan çıxarmağa imkan verən səhih oyuşma təmin edir, öyrənkə oxygen qaz isə tələbə uyğun gələcək fərqli bir oyuşma növü təmin edir.
Reaktiv ion etçözümləmə ilə yaxşı nəticələr almaq üçün güclü proses idarəetməsi çox vacibdir. Bu, temperatur, basinq, gaz akımı və ion enerjiləri daxil olmaqla bir çox parametrin ölçülmesini tələb edir. İstifadəkar ortamın istiqamətləndirilməsi, etçözümləmə xəttində sabit və öngörülməz nəticələrə kömək edir. Bu dəyişənlərdən biri etibarlı şəkildə idarə edilmirsə, bu cavabdeh məhsul üzərində təsir edə bilər. Bundan əlavə, etçözümləməyə başlamaq əvvəl materialın təmizlənməsi və düzgün hazırlığı lazımdır. Əgər bütün vaxt əvvəllər materialın etçözülməyə hazırlaşdırılması üçün haraşdursa, bu daha yaxşı nəticələrə səbəb olmalıdır.
Bir nümunə olaraq, mikrofabrikasiya sənayesində ən çox istifadə edilən reaktiv iyon etçilmesi göstərilə bilər ki, bu, müxtəlif texnologik cihazlar üçün çox kiçik hissələri hazırlamaq üçün istifadə olunur. Grafiten-in faydalı olduğu bir şey isə, modern texnologiyalar üçün mühüm olan kiçik elektron şəbəkələri, sensörleri və mikrofluidik cihazları istehsalında istifadəsi dir. Bundan əlavə, bu, literal olaraq bir molekulda görür, eşitir, hiss edə biləcək və hərəkət edə bilən mikro-elektromexaniki sistemlər (MEMS) hazırlamaqda də istifadə olunur. Bu növ MEMS-ler smartfonlar kimi kiçik cihazlardan başlayaraq daha böyük alətlər və hətta tibbi texnikada da bir çox tətbiqlərdə istifadə olunur. Bu proseslər arasında reaktiv iyon etçilmesi, belə müəssər texnologiyalar üçün tələb olunan kiçik və dəqiqlikli xüsusiyyətləri yaratmaqda əhəmiyyətli rol oynayır.
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
