Minder-Hightech semiqondüktorların istehsalçısıdır. Semi-qondüktorlar, mobil telefonlar və kompüterlər kimi modern həyatın çoxunun əsas hissəsidir. İndi, semiqondüktorların hazırlanmasında bir neçə addım var, lakin ilk addımda wafer adlanan düz səthə bir model yaradılır.

Bu modeli hazırlamaq üçün waferə xüsusi material qoyuruq. Bu maddə fotoresist adlanır. Fotoresist qoyulduqdan sonra onu işığa maraqlayırıq. İşığın altında fotoresistin bəzı sahələri sertləşir və güclənir. gölgədəki sahələr yumşaq qalır və silinə bilər.

Waferdə istənilən model alınandan sonra, daha年之久 işləmələr yerinə yetiriləcək sahələrdə fotoresist silinməlidir. Burada Plazma temizləyici həqiqətən daxil olur.

Fotoresistin silinməsi üçün plazma əsaslı üsullar

Plazma, elektrik yüklü gazın tətbiq edilməsi nəticəsində yüksək enerji səviyyəsinə malik bir gaz vəziyyətidir. Və bu aktivləşdirilmiş gaz, wafer səthindəki fotoresistin silinməsində çox faydalıdır. Plazmanın köməyi ilə fotoresist qarışır və onu silmək çox asandır.

Fotoresistin silinməsi üçün iki müxtəlif plazma texnikamız var: yuxarı etç ve ashing.

Yuxarı etç: Bu texnikada, fotoresist ilə etibarlı şəkildə etək plazma təsirlidir. Plazma, əlaqədə olduğu yerlərdə fotoresist ilə reaksiya edir. Bu reaksiya fotoresisti parçalar və onu gəzəyə çevrilir. Bu gəzli maddə daha sonra wafer səthinin səthindən temizlənə bilər, bu da bizə tələb olunan sahələri açar və proqress üçün mövcud edir.

Ashing — Bu, bunun fərqli bir yoludur, bu metodda fotoresist üçün reaktiv olmayan plazma istifadə edilir. Plazma fotoresisti kiçik, minnək parçalara bölür. Sonra bu kiçik parçalar vörfdən əlavə edilə bilər. Bu yanaşma uyğundur və lüzumsuz fotoresist silinərkən vörfi qoruyur.

Reaktiv plazma istifadəsi fotoresist silmək üçün

Plazma Səth İdlali vörfdən ən çətin fotoresistləri silməyimizə kömək edən çox güclü bir alətdür. Plazma özünü görkəmli olanı ilə də ümumiyyətlə, ən yaxşı hissə isə onu super seçici agentə çevirmək olar. Bu da yalnız fotoresistlə xüsusi şəkildə reaksiya etməsi üçün tənzimlənə biləcəyi anlamaq deməkdir, altındakı digər materiallarla deyil.

Məsələn: əgər bizdə metalın fotorezistorun altına yerləşdirildiyi lövhədə bir nümunə varsa, yalnız fotorezistorla reaksiya edən bir növ plazma istifadə edə bilərik. Beləliklə, fotorezistini altındakı metalın zərər vermədən çıxarmaq olar. Bu çox vacibdir, çünki proses zamanı bütünlükünü qorumaq üçün waferin bütün hissələrinə ehtiyacımız var.

Fotoşəkil müqavimətini aradan qaldırmaq üçün plazma texniki

Minder-Hightech, plitələrimizdən fotorezistləri çıxarmaq üçün yeni dövr plazma texnologiyasından istifadə edir. Bu, bizə yüksək keyfiyyətli, səhvsiz yarımkeçiricilər istehsal etməyə imkan verir.

Sürətli, ehtiyaclarınıza uyğunlaşdırılır Sistemlərimiz iş axınınıza birbaşa inteqrasiya etmək üçün hazırlanmışdır. Bu, fotorezistinin qısaca çıxarıla biləcəyini göstərir. Və sürətli olduğumuz üçün müştərilərimizin tələbatını tam ödəyirik, onlara lazım olduqda əla məhsullar təqdim edirik.

Amma plazma sistemlərimiz də effektivliyinə əlavə olaraq çox dəqiqdirlər. Bu dəqiqlik bizi yalnız fotoresistin özünü silməyə imkan verir. Texnologiyamız waferin digər bütün hissələrinin prosesimizdə zədəlanmasını dayandırır və biz bunu etmək üzrə deyilik. Bu metoddan istifadə sənaye üçün daha vacib olan semiçiptorların keyfiyyəti nəzərdə tutulanda daha da vacib hala gəlir.

Semiçiptorlar üzərində plazma təsiri ilə fotoresistin silinməsi

Yəni, qısa şəkildə, plazma bizi vafere səthindən bir çox fotoresistləri effektiv şəkildə silməyə imkan verən super güclüdür. Biz Minder-Hightech-da ən son və ən yaxşı plazma texnologiyasını sıfır defektli keyfiyyətli polusikondüktorlar hazırlamaq üçün istifadə edirik. Plazma sistemlərində bizim həllərimiz sürət ilə dəqiqliyi müvafiq şəkildə birləşdirir və hala çox effektivdir. Bu, müştərilərimizin tələblərinə cavab verə bilmək və keyfiyyətli məhsullar göndərməkdə uğursuz olmamayı nəzərdə tutur. Bu da polusikondüktorların prosesini yaxşılaşdırır, çünki biz ələtələrə asanlıqla güvəndirmək üçün istifadə edirik. plazma silmə texnologiyası, ki bu texnologiya elektron ələtlərində istifadə ediləcək polusikondüktorlarımızı mümkün olan ən yaxşı şəkildə hazırlayır.