Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Əsas səhifə
Bizim haqqımızda
MH Avadanlıqları
Həll
Xarici İstifadəçilər
Video
Əlaqə
Ana səhifə> Front End Prosesi

İki kameralı RIE (Cl₂) Fərdiləşdirmə

Vaxt: 2024-11-08

Reaktiv ion aşındırma sistemi

Müştərilər üçün Peşəkar Həllər Təmin edin

İki kameralı RIE (Cl₂) fərdiləşdirilməsi

2024-cü ilin fevral ayında biz müştəridən 100 mm vafli Xlor prosesi üçün sorğu aldıq.

Bu, bizim üçün maraqlı bir tətbiqdir, çünki tələb olunan proses qazının tərkibində Cl2 və BCl3 zəhərli qazlar var. Biz təhlükəsizlik problemlərindən qaçmaq üçün maşının bütün konfiqurasiyalarını təkmilləşdirməliyik və proses tələblərinə cavab verərkən operatoru mükəmməl qorumaq üçün xüsusi olaraq proses kamerasının və ötürmə kamerasının iki kameralı strukturunu tərtib etməliyik.

Təxminən 5 aylıq dizayn və istehsaldan sonra biz şirkətin daxili laboratoriyasında çoxsaylı nümunə sınaqları və istehsal simulyasiyaları keçirdik və müştərinin qəbulundan keçdikdən sonra avadanlıqları tez bir zamanda təhvil verdik.

RIE.jpg

RIE1_02.jpgRIE1_07.jpgRIE1_10.jpgRIE2_03.jpg

RIE打包1.jpgRIE打包2.jpg

araşdırma mina WhatsApp WeChat
yuxarı