Reaktiv ion aşındırma sistemi
Müştərilər üçün Peşəkar Həllər Təmin edin
İki kameralı RIE (Cl₂) fərdiləşdirilməsi
2024-cü ilin fevral ayında biz müştəridən 100 mm vafli Xlor prosesi üçün sorğu aldıq.
Bu, bizim üçün maraqlı bir tətbiqdir, çünki tələb olunan proses qazının tərkibində Cl2 və BCl3 zəhərli qazlar var. Biz təhlükəsizlik problemlərindən qaçmaq üçün maşının bütün konfiqurasiyalarını təkmilləşdirməliyik və proses tələblərinə cavab verərkən operatoru mükəmməl qorumaq üçün xüsusi olaraq proses kamerasının və ötürmə kamerasının iki kameralı strukturunu tərtib etməliyik.
Təxminən 5 aylıq dizayn və istehsaldan sonra biz şirkətin daxili laboratoriyasında çoxsaylı nümunə sınaqları və istehsal simulyasiyaları keçirdik və müştərinin qəbulundan keçdikdən sonra avadanlıqları tez bir zamanda təhvil verdik.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bütün hüquqlar qorunur