|
Vafli ölçüsü
|
4”~ 8” vafer
|
|
Vaferin kalinliyi
|
100~750 mikon
|
|
Vafer növü
|
Si, SiC, GaN və ya başqa materiallar
|
|
Filmin növü
|
Göy filmlər, UV filmlər
Genişlik: 230 ~ 300 mm Uzunluq: 100 m Kalinliq: 0.05 ~ 0.2 mm |
|
Disk nəqlçisi halqası
|
6", 8" DISCO
|
|
Yükləmə və boşaltma üsulu
|
Əllə disk/halqanın yerləşdirilməsi və çıxarılması
|
|
Film pozisionasiya dəqiqliyi
|
±0.5mm
6” və 8” vaferlər üçün standart 6” və 8” vafer plataları |
|
vakuum pompa
|
Minder-Hightech
|
|
Elektrostatik idarəetmə
|
Deionizasiya ventilyatoru
|
|
Kontrol modulu
|
PLC idarəetməsindən asılı olaraq, 10” dokunmatik ekran ilə
|
|
Təhlükəsizlik Qoruyucuları
|
İşıq perdesi müdafiəsi və acil durdurma düyməsi ilə təmin edilib
|
|
Enerji təchizatı voltajı
|
Fazlı AC 220V, 16A
|
|
فشرده ائي
|
0.45~0.6MPa, axın dərəcəsi 70L/min
|
|
Mashin korpusu
|
Ağ metal vəziyyətli plastik kaplama
|
|
Həcmi
|
850mm (en)*1750mm (derinlik)*1970mm (yüksəklik)
|
|
Xalis Çəki
|
480kg
|
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
