Fotolitografiya üçün Düzəltici / Düzəltmə Maşını , China Fotolitografiya üçün Düzəltici / Düzəltmə Maşını Manufacturers, Suppliers, Factory

Məhsulların Tanitması

Mask Düzəltmə Litografiya Maşını

Mask Düzəltmə əsasən kiçik və orta ölçülü inteqrallı şəbəkələrin inkişafında və istehsalında, semiqondüktor elementlərdə, optoelektron aparatlarında, sərfiyyat dalgası cihazlarında, incə filmli şəbəkələrdə və elektrik enerjisi cihazlarında istifadə olunur
Mask Dizayn Məsələn, maska uyğunlaşdırma aparati, açıq sistem, litografiya sistemi və s., çip istehsalında mərkəzi texnikadır. Bu, ədəbiyyatda təsvir edilən texnologiyadan istifadə edərək maskadakı dəqiqlik nümunələri işığın açıqlaması vasitəsiylə silikon diskə çap edir.
Əsasən şunlardan ibarətdir: yüksək-dəqiqlik uyğunlaşdırma iş masası, iki gözlük ayrı sahəli baxış vertikal mikroskopu, iki gözlük ayrı sahəli orijantal mikroskopu, rəqəmsal kamera, kompüter imaj yaddaş sistemi, çox nöqtəli işığı (fly-eye) açıq başı, PLC idarəetmə Sistemi, hava sistemi, vakuum sistemi, doğrudan bağlı vakuum pompa, ikinci anti-vibrasiya iş masası və aksesuar qutusu.

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

XƏBƏRDARLIQ

1. Yüksək birləşmə fly-eye açıq başı / hava ürəkləndirici düzəltmə mekanizması / güvəndirici vakuum sıxışdırma açıq. yüksək addımı.
2. Maskala uyğunlaşdırma usulu stabil və alət təchizatı, bu da reytinqin və gücü bir-birinə uyğunlaşdırmasını təmin edir.
3. Fərqliliksiz düz reytinq istifadə edir, yüksək dəqiqlik, sürətli.
4. Bütün model standart fotoresistlərlə işləməyə uyğun olmalıdır. Məsələn, AZ, Shipley, SU 8.
5. Sistem tərəfindən substratə köçürülən nümunə keyfiyyəti 5 maska tətbiqindən sonra birinci maskanın tətbiqindən sonra olan nümunə keyfiyyəti ilə eyni olmalıdır.
6. Təsir vaxtı 1 saniyə və 1 saat arasındadır. Düzgünlik 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

Speksifikasiya

Model	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Təsir növü	bir tərəf			İki tərəfli düzgünlik və iki tərəfli təsir
Ekspozuru rejimi	Əlaqəli hard, soft və non-əlaqəli proksimitet
İşğa maraqlı başın sayını	1 işğa maraqlı başı			2 işğa maraqlı başı
Əvvələk növü	GCQ350 küresi heqim əvvələk lampa						LED UV işğa maraqlı başı
SZİ metodu	Hava soyutma
İşğa sahəsi	Φ100mm	110×110mm	Φ100mm		150mm×150mm
Ekspozuru rejimi	Kontakt hard, soft ilə uyğun
Təsirin nöqteyindən asılı olmaması	Φ100mm<±3%<>	≤±3%
Təsirinqənaqlığı	2μm	1 μm
Şaquli intnziteti(365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
Lümeninqvistika	≤±4%	≤±3%
UV işıqın maksimum səhv bucağı	4°	3°
İşıqlandırma diapazonu	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Ön və arxa ≥ Φ115mm
Üçbucaq xəta kompensasiya režimi	Küreye uyğun avtomatik kompensasiya			Avtomatik silmə		3 nöqtəli avtomatik kompensasiya
X və Y oxlarının səyahəti	±4mm	±5mm	±4mm		±5 mm
θ-ın səyahəti	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
XYZ substrat köçürməzi işarələməsi	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
Mikroskop sistem	İki tek qovçlu mikroskop / İki CCD kamera
Ekran ölçüsü	15 inc
Şəkil çəkmə sistemi işarələməsi	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
Mask və substrat ölçmə məsafəsi	0.5 µm	0.3 µm
CCD hədəf səthi diaqonal ölçüsü	1⁄3, (6mm)						40mm～110mm
Quraşdırma masası ölçüsü	≤ Kvadrat 5*5 inc (İndividlü təyinatlarla)
Substratların ölçüləri	Φ 100mm və ya 100*100mm kvadrat	60*49.5mm kvadrat	2”-4”		1"x1"-5"x5"
Substratların qalınlığı	1-3mm	≤5 mm	1-3mm		≤5 mm
vakuum pompa	Yağsız səssizlik (-0.07～－0.08MPα)
Temiz sıqışdırılmış hava	≥0.4MPα
Enerji taminatı	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Temiz otaq səviyyəsi	100 sinif
Sağlatma otaqı temperaturu	25℃±2℃
Sağlatma otağının nisbi rəsmi	≤60%
Sağlatma otağının sallanma amplitudu	≤4μm
Avtomobilin ölçüsü	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
Texnikanın çəki	200kg				280 کیلو

Ətrafdaşlıq sistemini istehsal etmək üçün həqiqi dəqiqlikli məkanik proses lazımdır. Ətrafdaşlıq sisteminin başqa bir texniki problemi isə ətrafdaşlıq mikroskopudur. Mikroskopun görən sahəsini artırmaq üçün çoxlu yüksək səviyyəli litografi maşınları LED işıqlandırmasını istifadə edir. Fokus funksiyasına malik iki ətrafdaşlıq sistemi var. Bu, əsasən mikroskopun gövharına baxan iki göz və iki görən sahədən ibarətdir - bir cütlük göz tüpü və bir cütlük obyektiv lens (litografi maşını istifadəçilərə fərqli böyütmə ilə göz tüpü və obyektiv lens təmin edir). CCD ətrafdaşlıq sisteminin funksiyası isə maskanın və nümunenin ətrafdaşlıq işarələrini böyür və monitorda onları imajlaşdırır.

Əməliyyat hissəsi stadiyası, litografi maşınınnın əsas hissəsidir, bu da maska-nümunə ümumi hərəkət stadiyasından (XY), maska-nümunə nisbəti hərəkət stadiyasından (XY), dönmə stadiyasından, nümunə səviyyələndirmə mekanizmindən, nümunə fokuslaşdırma mekanizmindən, wafer stadiyasından, maska qablayıcıdan və çıxarılabilən maska stadiyasından ibarətdir. Nümunə səviyyələndirmə mekanizmi, top oturacağı və yarım küreyə məxsusdur. Səviyyələndirmə prosesində əvvəlcədən, top oturacağı və yarım küreyə hava basıncı tətbiq edilir və sonra da fokuslaşdırma el çarkı vasitəsilə top oturacağı, yarım küre və nümunə hissəsi yuxarıya doğru hərəkət edir, beləliklə nümunə maskaya nisbətən səviyyələndirilir və daha sonra iki pozisiyali üç yol solenoid valv buraxılıb və top oturacağı və yarım küre vakum ilə blok olunur ki, səviyyələndirmə halini saxlasın.

Minder-Hightech sizə Aligner/Alignment Maşını vasitəsilə fotolitografiya üçün inkişaf etdirilmiş texnologiyalar sunar.

Elektronik məhsullarınızda şəbəkələri çap edərkən kifayət qədər dəqiqlik alınmaması ilə bağlı problemlərlə üzləşürsünüz? Minder-Hightech'nin Aligner/Düzgü Machinəsi ilə çap etdiyiniz şəbəkələrin təsirliliyi dəqiqlik cihetində yüksək səviyyədə olacaq və bu da sizə rahatlıq verir.

Bu inovativ ürəy ilə fotolitografiya istifadə edərək məhsula yüksək addımlı bir şəkil sıxmağınız mümkündür. Bu maşın, materialın şəkilə uyğunlaşdırılması vasitəsilə dəqiqliyi təmin edən əməliyyat sistemini təmin edir.

Şəkillər çap edildikdən və yükləndikdən sonra, maşın materialın şəkillərlə necə uyğunlaşır və neçə miqdarda açıq tələb olunur hesablayır. Bu hesablama, imkan verilən proqram təminatını yeniləməklə endüstriyasında texnologiyaların inkişafı ilə uyğunlaşdırılabilən ən son kompüter proqramları ilə edilir.

Bu, mikrosirkuitlər, radyoqadağ (RF) sirkuitləri və daxil edilmiş sirkuitlər daxil olmaqla geniş bir spektrda imkan verir. Ünvanat, kimyəvi qaralama və elektroplating kimi müxtəlif təkmilləşdirici prosedurların əlavə edilməsi ilə ən yaxşı qaralama derinliyi, piste enini və qat-qat uyğunlaşmasını alın.

Məhsulümüzün üstünlüyü, nümunələrin material üzərində çox dəqiqliklə yerləşdirildiyi güvəntə edən yüksək uyğunlaşmanın alınmasındadır. Dəyişik mürəkkəb dizaynları xətalı olmadan rahatlıqla çapa verə bilərsiniz.

Bu, istifadəçi üçün asan, kompakt və effektivdir, bu da onu fərqli hasilat tesisləri və ya şirkətin ölçüsü üçün uyğun edir.Əlavə olaraq, cihazımız texnik dəstək şöbəmizin bir neçə üzvləri ilə əl ilə saxlama və yerinde təlimat ilə gəlir.

Minder-Hightech'in Aligner/Alignment Maşınısı, print edilən çərçivələrinizdə ən yaxşı nəticələri əldə etməyinizə kömək edən fotolitografiya texnologiyasından istifadə edir. Geleneksi print usulları tərəfindən uyğunlaşdırıla bilməyən yüksək dəqiqlik və səsliliyi təklif edən yeni texnologiya səviyyəsindən xəbərləşin. Minder-Hightech'in Aligner/Alignment Maşınısı, istehsalçı şirkətinizin rəqabətçilərdən bir addım əvvəl qalmasına kömək edəcəkdir. Bizimlə əlaqə saxlayaraq marketdə ən yaxşı Aligner/Alignment Maşınısı texnologiyasından faydalanmağın üstünlüklərini yaşayın.

baş səhifə

Biz haqqında

MH Texnikası

Həll

Dünya Genişləndən İstifadəçilər

Video

Əlaqə

Fotolitografiya üçün Düzəltici / Düzəltmə Maşını

Digər məhsullar

MD-FS Seriyası Kapasitor burma maşını

MD-FDS Seriyası Avtomatik Kapasitor burma maşını

MD-EFS seriyası Kapasitor Yumuşdırma Maşını

MD-EDFS Seriyası film kondensatorları burmağçı maşını

Sorğu

Articles

Products

Get In Touch