Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Qiymət al

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Ana səhifə
Biz haqqında
MH Texnikası
Həll
Dünya Genişləndən İstifadəçilər
Video
Əlaqə
Ev> MH Texnikası> Qırmacı və Parlatıcı
  • Avtomatik CMP Sonrası Təmizləmə
  • Avtomatik CMP Sonrası Təmizləmə
  • Avtomatik CMP Sonrası Təmizləmə
  • Avtomatik CMP Sonrası Təmizləmə
  • Avtomatik CMP Sonrası Təmizləmə
  • Avtomatik CMP Sonrası Təmizləmə
  • Avtomatik CMP Sonrası Təmizləmə
  • Avtomatik CMP Sonrası Təmizləmə
  • Avtomatik CMP Sonrası Təmizləmə
  • Avtomatik CMP Sonrası Təmizləmə
  • Avtomatik CMP Sonrası Təmizləmə
  • Avtomatik CMP Sonrası Təmizləmə

Avtomatik CMP Sonrası Təmizləmə

Pulsuz Qiymət Alın
Məhsul Təsviri

Vafer Kimyəvi Mekaniki Polişdən sonra Təmizləmə Texnikası

CMP Post Təmizləmə

Maşının xüsusiyyətləri

Gənczərli proses imkanı
İki odalı fırça sistemi, geniş proses uyğunluğu
Təchizat az yer kaplayır, ölçüləri isə 2200 * 800 * 2200 (mm)-dir

Tətbiq sahələri

6-8 incs CMP fırçalanma sonrası
SIC və ya digər substatlar çirklənməsi sonra temizləmə

Texniki Parametrlər

4 incs və 6 incs CMP-dən sonra temizləmə
İki odalı dizayn, istiqlalli odaların işləməsi Uyluq ilə daxil ol və ya yuxarıdan çıxış və ya yuxarıdan daxil ol və yuxarıdan çıxış
Yüksek sürətli fırlatma uzvuğu (SRD)

LoadPort vahidi, yükləmə vahidi

LoadPort bu cihazın yükləmə vahididir
Uyluq kaseti təchizatı
Şüşələşdirmə funksiyası var

Fırça vahidi, Wafer temizləmə vahidi

İki fərqli temizləmə solusiyasını dəstəkləyə bilən iki qamerdən ibarət ünit
Fırçalanma pozisyonu resept əsasında ayarlanabilirBelt Konveýor

SRD üniti, Wafer əvəz edilmə üniti

Wafer kəsləndirici növü əvəz edilmə, 4000RPM maksimum sürəti ilə
Wafer səthində AS temizləməsi və DIW sprayı etdirmək olar

UNLOAD üniti, kesim üniti

UnLoad üniti wafer çıxışının təmizliyini təmin etmək üçün müstəqil FFU-yu açıqlayır

Konveyer

Ətirli sahə beltc konveýordur
Robot teleportasiyası üçün yuxarı sahə

Fırça üniti təsviri

Soldaki şəkildə göstərilən kimi, bu üsuldakı fırça modulu iki fırça yaradıcı moduldan ibarətdir, adətən BU1 və BU2.
Hər bir modulun fırça basıncı ayrı-ayrılıqda dəyişdirilə bilər (reçetədə təyin olunur) və hər bir fırça lama modulu müxtəlif kimyəvi temizləmə solüsyonları ilə ayrı-ayrılıqda yuvarlana bilər.
Mashinin fırçası riyaziyyatçılar tərəfindən çox istifadə edilən PVA fırçasıdır.
Kamerdəki transmissiya bant konveýeridir. Kamerdə DIW RINSE var

SRD modulu

SRD modulu fiziki şəkildə wafer səthini temizləmək və fırlatmaqla quru etmək üçün sıxışdırmaq CHUCK və AS ARM ilə donanmışdır.
Speksifikasiya
Avadanlıq ölçüsü:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Yükləmə və boşaltma üsulları
quru ilə/damp ilə/quru ilə çıxar
Fırça yaradıcı modullarının sayı
2
SRD birimlərinin sayı
1
Nəqliyyat üsulu
Yumşuq səhifəli bənd nəqliyyatı, quru səhifəli robot nəqliyyatı
1 fırçalı odadlı texnikanın ölçüləri 1850 * 800 * 2200
Qablaşdırma və Çatdırılma
Şirkət Profili
SSS
1. Qiymət haqqında:
Bizim bütün qiymətlərimiz rəqabətçi və müzakirə edilə bilən dir. Qiymət, cihazınızın konfiqurasiyasından və xüsusilaşdırma mürəkkəbliyindən asılı olaraq dəyişir.

2. Nümunə haqqında:
Siz üçün nümunə hazırlama xidməti göstərə bilərik, lakin bir neçə ödəniş tələb edilə bilər.

3. Ödəniş haqqında:
Plan təsdiqləndikdən sonra, əvvəlcə bizə avans ödəməlisiniz və zavod məhsulları hazırlamağa başlayacaq. Cihaz hazır olanda və qalıq ödəniləndə, göndərəcəyik.
cihazı.

4. İstedak haqqında:
Əməliyyat mühafizə cihazlarının hazırlanması bitdikdən sonra sizə qəbul videolarını göndərəcəyik və siz də cihazları yoxlamaq üçün buraya gəlməyə bilərsiniz.

5. Quraşdırma və ayarlamalar:
Cihazlar zavquzunuza çatdıqdan sonra, biz inžinərləri göndərmək olar ki, onlar cihazları quraşdırıb səhv yoxlasın. Bu xidmət haqqı üçün size fərqli qiymət təklif edəcəyik.

6. Garanti haqqında:

Bizim cihazlar 12 aylıq zəmanət müddəti ilə gəlir. Zəmanət müddəti keçib daha sonra, əgər hansısa hissələr pozulub və əvəz edilməsi lazımdırsa, yalnız maliyet qiymətini götürəcəyik.

Digər məhsullar

Sorğu

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Gizlilik Siyasəti

Sorğu Email WhatsApp Top
×

Əlaqəyə keçin