Avtomatik tək boşqablı vafli kimyəvi mexaniki cilalayıcı CMP , Çin Avtomatik tək boşqablı vafli kimyəvi mexaniki cilalayıcı CMP istehsalçıları, təchizatçıları, zavodu

Product Description

ATOM Tək Plakalı CMP

Maşın xüsusiyyətləri

Cihaz çevikdir və bir neçə başlığı dəstəkləyə bilər.
Avadanlığın proses qabiliyyəti eyni ölçülü məhsulların əsas model səviyyəsinə yaxındır.
Cihazlararası prosesin yaxşı ardıcıllığı.

Ərizə sahələri

4-8 düymlük STI, ILD/IMD, TSV, TGV cilalanması və SiC, LT, LN, GaAs və s. kimi birləşmələrin səthinin cilalanması

Texniki parametrlər

4 düym, 6 düym, 8 düym başlıqlar, çox zonalı idarəetmə
Φ20 düymlük 508MM boşqab növü
Baş təzyiqinə nəzarət dəqiqliyi<0.05PSI
Baş və Plakanın fırlanma sürətinə nəzarət dəqiqliyi<2RPM

məhsul avtomatik tək lövhəli vafli kimyəvi mexaniki cilalayıcı cmp-53

1. LoadPort Vahidi

Kaseti Qtank-a batırmaq üçün portu çevirmək olar, bu da üzərində Slurry kristallarının əmələ gəlməsinin qarşısını alır.
Gofretin cilalanmış səthi. Kaset Xəritəçəkmə funksiyası ilə təchiz edilmişdir.

məhsul avtomatik tək lövhəli vafli kimyəvi mexaniki cilalayıcı cmp-54

2. Robotmaterial axtarış bölməsi

4 oxlu robotla təchiz olunmuş o, vafliləri Kassetdən cilalama qurğusuna avtomatik ötürə bilir.

məhsul avtomatik tək lövhəli vafli kimyəvi mexaniki cilalayıcı cmp-55

3. Cilalayıcı qurğu

Bu qurğu Plaka * 1, Başlıq * 1, PC * ilə təchiz edilmişdir.
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 və EPD son nöqtəsi
aşkarlanması. Avtomatik vafli yükləmə və boşaltma, çox zonalı baş nəzarəti, Slurry əldə edə bilər
Resept parametrləri, son nöqtənin aşkarlanması və digər funksiyalarla enmə nöqtəsinin dəyişdirilməsi.

məhsul avtomatik tək lövhəli vafli kimyəvi mexaniki cilalayıcı cmp-56

CMP Cilalayıcı Başlığı

Bu cihazda konfiqurasiya edilmiş Cilalayıcı Başlıqlar şirkətimiz tərəfindən müstəqil şəkildə işlənib hazırlanır, dizayn edilir və istehsal olunur.
Onların arasında 4-düymlük 3-boşluqlu Baş, Çində çox boşluqlu 4-düymlük Baş boşluğunu dolduran, şirkətimiz tərəfindən yaradılmış unikal məhsuldur. Şirkətimiz müştərinin məhsulunun xüsusiyyətlərinə uyğun olaraq Başlığı tez bir zamanda dəyişdirə və ya fərdiləşdirə bilər. TGV nazik film (200um) məhsullarının hazırlanmasında, başın daxili strukturu nazik təbəqənin cilalanması tələblərinə cavab vermək üçün dəyişdirildi. LN səthi OX cilalama texnologiyasının inkişafı prosesi zamanı şirkətimiz 6 düymlük Başlığı dərindən təkmilləşdirdi və müştərinin məhsul tələblərini uğurla yerinə yetirdi.

məhsul avtomatik tək lövhəli vafli kimyəvi mexaniki cilalayıcı cmp-57

Applications

Ənənəvi IC planarizasiya cilalama prosesi；

TGV/TSV prosesi;

Ağıllı kəsmə və əvvəlcədən yapışdırma CMP；

SIC substratının cilalanması/qallium arsenidinin cilalanması.

məhsul avtomatik tək lövhəli vafli kimyəvi mexaniki cilalayıcı cmp-58

spesifikasiya

port	Miqdarı * 1, Q-çəni ilə
Robot	Miqdarı * 1, vafli transfer üçün
HCLU	Miqdarı * 1, vaflilərin avtomatik yüklənməsi və boşaldılması üçün
Cilalama başlığı	Miqdarı * 13 boşluq nəzarəti, 0.1PSI nəzarət dəqiqliyi, 400-1200 UM vafli əməliyyatlarını dəstəkləyə bilər.
Cilalama baş sürəti	5-150RPM
Cilalama Disk	Miqdar * 1 Cilalama Diski Ölçüsü 508mm, Cilalama Yastığı Sürəti 10-150rpm.
Kəsmə qolu	Miqdarı * 1 cilalama yastığı. Cilalama yastığı onlayn (eyni zamanda) və ya oflayn (cilalandıqdan sonra) cilalana bilər. Kəsmə qol fırlanan və yuxarı və aşağı hərəkət edə bilən, sürət və endirmə qüvvəsinə nəzarət edilə bilən bir kəsmə mili ilə təchiz edilmişdir. The kəsmə aləti kəsmə şaftına quraşdırılmışdır və tez ola bilər çıxarıldı. Cilalama yastıqlarının müxtəlif növlərinə görə, sarğı da daxil olmaqla müxtəlif növ sarğı alətləri konfiqurasiya edilir fırçalar, almaz üzüklər və almaz disklər.
UPA cilalama başlığı hava təzyiqinə nəzarət qurğusu	Kəmiyyət * 13 Zona daha yaxşı səth planarizasiya effekti üçün tənzimlənir
Cilalayıcı maye təchizatı nasosu	Miqdarı * 2. Peristaltik nasoslar maye tədarükü üçün istifadə olunur, 2 peristaltik nasos müxtəlif cilalama təmin etmək üçün konfiqurasiya edilmişdir cilalama diskinə mayelər. Hər bir nasos prosesin istənilən mərhələsində istifadə edilə bilər.
Bulamaç qolu	Miqdar * 1 məhlulun enmə nöqtəsini idarə edə bilər və cilalama padini təmizləyə bilər.
Əməliyyat idarəetmə sistemi operator rejimi, texniki xidmət rejimi və texniki rejim kimi istifadəçi səviyyəsində nəzarətə nail ola bilər və var rejimlər parollarla idarə olunur. Sistem proqramı hər bir proses addımının proses parametrlərini redaktə edə və düzəldə və düzəldə bilər proqrama uyğun olaraq çipin səthindəki nazik təbəqəni cilalayın. Avadanlıqların iş vəziyyətinə nəzarət edə, monitorinq edə bilər real vaxt rejimində proses parametrləri və proqram avtomatik olaraq müxtəlif proses məlumatlarını saxlaya bilər. Təcili dayanacaqla təchiz olunub avadanlığın işini dərhal dayandırmaq və idarəetmə gücünü kəsmək üçün istifadə olunan düymə.

Qablaşdırma və Çatdırılma

məhsul avtomatik tək lövhəli vafli kimyəvi mexaniki cilalayıcı cmp-59

məhsul avtomatik tək lövhəli vafli kimyəvi mexaniki cilalayıcı cmp-60

Profili

FAQ

1. Qiymət haqqında:
Bütün qiymətlərimiz rəqabətlidir və razılaşmaq olar. Qiymət cihazınızın konfiqurasiyası və fərdiləşdirmə mürəkkəbliyindən asılı olaraq dəyişir.

2. Nümunə haqqında:
Biz sizin üçün nümunə istehsal xidmətləri təqdim edə bilərik, lakin siz bəzi ödənişlər verə bilərsiniz.

3. Ödəniş haqqında:
Plan təsdiqləndikdən sonra əvvəlcə bizə depozit ödəməlisiniz və fabrik malları hazırlamağa başlayacaq. sonra
avadanlıq hazırdır və siz balansı ödəyirsiniz, biz onu göndəririk.

4. Çatdırılma haqqında:
Avadanlıq istehsalı başa çatdıqdan sonra biz sizə qəbul videosunu göndərəcəyik və siz də avadanlıqları yoxlamaq üçün sayta gələ bilərsiniz.

5. Quraşdırma və Sazlama:
Avadanlıq fabrikinizə çatdıqdan sonra biz avadanlığı quraşdırmaq və sazlamaq üçün mühəndisləri göndərə bilərik. Bu xidmət haqqı üçün sizə ayrıca kotirovka təqdim edəcəyik.

6. Zəmanət haqqında:
Avadanlıqlarımıza 12 aylıq zəmanət müddəti var. Zəmanət müddətindən sonra hər hansı bir hissə zədələnərsə və dəyişdirilməli olarsa, biz yalnız maya dəyərini ödəyəcəyik.