Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Qiymət al

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Ana səhifə
Biz haqqında
MH Texnikası
Həll
Dünya Genişləndən İstifadəçilər
Video
Əlaqə
Ev> Disk Şəklini Qırmaq
  • Avtomatik Unqalı Platen Wafer Kimyəvi Mekaniki Polirovka Planarizasiya CMP
  • Avtomatik Unqalı Platen Wafer Kimyəvi Mekaniki Polirovka Planarizasiya CMP
  • Avtomatik Unqalı Platen Wafer Kimyəvi Mekaniki Polirovka Planarizasiya CMP
  • Avtomatik Unqalı Platen Wafer Kimyəvi Mekaniki Polirovka Planarizasiya CMP
  • Avtomatik Unqalı Platen Wafer Kimyəvi Mekaniki Polirovka Planarizasiya CMP
  • Avtomatik Unqalı Platen Wafer Kimyəvi Mekaniki Polirovka Planarizasiya CMP
  • Avtomatik Unqalı Platen Wafer Kimyəvi Mekaniki Polirovka Planarizasiya CMP
  • Avtomatik Unqalı Platen Wafer Kimyəvi Mekaniki Polirovka Planarizasiya CMP
  • Avtomatik Unqalı Platen Wafer Kimyəvi Mekaniki Polirovka Planarizasiya CMP
  • Avtomatik Unqalı Platen Wafer Kimyəvi Mekaniki Polirovka Planarizasiya CMP

Avtomatik Unqalı Platen Wafer Kimyəvi Mekaniki Polirovka Planarizasiya CMP

Pulsuz Qiymət Alın
Məhsul Təsviri
ATOM Single Platen CMP

Maşının xüsusiyyətləri

Cihaz müxtəlif və ümumi olaraq çoxlu başları dəstəkləyir.
Təchizatın proses imkanı eyni ölçülü məhsulların əsas model səviyyəsinə yaxındır.
Cihazların arasında yaxşı proses uyğunluğu var.

Tətbiq sahələri

4-8 inc STI, ILD/IMD, TSV, TGV cilalama və SiC, LT, LN, GaAs kimi maddələrin sərfati cilalama

Texniki Parametrlər

4 inc, 6 inc, 8 inc başlar, çox sektorlu idarəetmə
Φ20 inc 508MM Platen növü
Baş basıncı idarəetmə dəqiqliyi <0.05PSI
Baş və Platen fırlanma sürəti idarəetmə dəqiqliyi <2RPM

1. LoadPort Modulu

Port Cassette-ni Qtank-da göməlməsi üçün çevrilməyə bilər, Slurry kristalllarının Waferin cilalanan səthində qurulmasını dayandırır.
cassette Mapping funksiyası ilə donatılmışdır.

2. Robot material alma ünvanı

4-oq robotla donatılmış olup, avtomatik olaraq waferriləri Cassette-dən cilalama ünvanına köçürür.

3. Qoyun. Polişer bölməsi

Bu vahid Platen * 1, Head * 1, PC * ilə təchiz olunub
1. Qalan qol * 1, HCLU * 1, və EPD son nöqtəsi
aşkarlanmasına. Avtomatik lövhə yükləmə və boşaltma, çox zona baş nəzarəti, Slurry əldə edə bilər
resept parametrləri, son nöqtə aşkarlanması və digər funksiyalarla eniş nöqtəsi dəyişdirilməsi.
CMP cilalayıcı baş
Bu cihazda konfiqurasiya edilmiş cilalayıcı başların hamısı şirkətimiz tərəfindən müstəqil olaraq hazırlanmış, dizayn edilmiş və istehsal edilmişdir.
Onlardan biri də 4 düymlük 3 boşluqlu baş, şirkətimiz tərəfindən yaradılmış unikal bir məhsuldur. Şirkətimiz müştərinin məhsulunun xüsusiyyətlərinə uyğun olaraq başı tez bir zamanda dəyişdirə və ya özelleştire bilər. TGV incə filmli məhsulların (200um) inkişafında, incə filmli cilalama tələblərinə cavab vermək üçün başın daxili quruluşu dəyişdirildi. LN səth OX cilalama texnologiyasının inkişaf prosesi zamanı şirkətimiz 6 düymlük başlığı dərindən yüksəltdi və müştərinin məhsul tələblərini uğurla qarşıladı.
Tətbiqlər
Geleneksi IC planarizasiya cilalama prosesi;
TGV/TSV prosesi;
Smart Cut və Pre bonding CMP;
SIC subtrat cilalanması/galliyum arsenid cilalanması.
Speksifikasiya
Liman
Miqdar * 1, Q-tank ilə
Robot
Miqdar * 1, wafer köçürmək üçün
HCLU
Miqdar * 1, waferlərin avtomatik yüklənməsi və boşaltılması üçün
Cilalama başı
Miqdar * 13 maqnov kontrollu, 0.1PSI dəqiqlikli kontrollu, 400-1200 UM wafer əməliyyatlarını dəstəkləyir.
Dolovlu başın sürəti
5-150ÇMD
Dolovlu diski
Miqdar * 1 Dolovlu Disk Ölçüsü 508mm, Dolovlu Pad Sürəti 10-150çmd.
Kesim kolu
Miqdar * 1 dolovlu pad. Dolovlu pad onlayn (eyni vaxt-da) və ya offlayn (dolovdan sonra) işlənə bilər. Kesim
kolu kesim çubuqla donatıb, döndərə və yuxarı-aşağı hərəkət edə bilər, sürət və basma qüvvəsi idarə edilə bilər.
kesim aləti kesim çubuğuna quraşdırılır və sürətlə
çixarılabilir. Fərqli növdlər dolovlu pad üçün fərqli növ tənzimləmə alətləri konfiqurasiya olunur, buna daxildir tənzimləmə
fırçası, almaz yarpaqlar və almaz disklər.
UPA cilalama başı hava basıncı idarəetmə ünvanı
Miqdar * 13Zona daha yaxşı səth düzəliş etki üçün ayarlanır
Cilalama sıvısı təchizat pompu
Miqdar * 2. Sıvı təchizat üçün peristaltik pomplardan istifadə olunur, müxtəlif cilalama maddələrini çatmaq üçün 2 peristaltik pompa konfiqurasiya edilmişdir
hər pompa prosesin hər addımı daxilində istifadə edilə bilər.
Slurry Qolları
Miqdar * 1 slurry-nin inkişaf nöqtəsini idarə edə bilər və cilalama padını temizləyə bilər.
İşləmə idarəetmə sistemi istifadəçi səviyyəsi idarəetməsinə icazə verir, misal üçün operator rejimi, texnik rejim və texnik rejim kimi, və müxtəlif rejimlər parollarla idarə olunur. Sistem proqramları hər bir proses addımının proses parametrlərini redaktə edə bilər və cip səthindəki rəngin düzləşdirilməsini və
cilalama proqramına əsasən yerinə yetirir. O, texnik tənzimləmənin işləmə statusunu izləyə bilər, izləyir
və digərləri
reallaqda işləyir və proqram avtomatik olaraq müxtəlif Sürec məlumatlarını saxlaya bilər. İcra edilən tizimlərə emergens dayandırma düyməsi daxildir,
bu düymə isə cihazların işləməsini dayandırmaq və idarəetmə elektriliğini kəsilməz şəkildə kəsmək üçün istifadə olunur.
Qablaşdırma və Çatdırılma
Şirkət Profili
SSS
1. Qiymət haqqında:
Bizim bütün qiymətlərimiz rəqabətçi və müzakirə edilə bilən dir. Qiymət, cihazınızın konfiqurasiyasından və xüsusilaşdırma mürəkkəbliyindən asılı olaraq dəyişir.

2. Nümunə haqqında:
Siz üçün nümunə hazırlama xidməti göstərə bilərik, lakin bir neçə ödəniş tələb edilə bilər.

3. Ödəniş haqqında:
Plan təsdiqləndikdən sonra, əvvəlcə bizə avans ödəməlisiniz və zavod məhsulları hazırlamağa başlayacaq. Cihaz hazır olanda və qalıq ödəniləndə, göndərəcəyik.
cihazı.

4. İstedak haqqında:
Əməliyyat mühafizə cihazlarının hazırlanması bitdikdən sonra sizə qəbul videolarını göndərəcəyik və siz də cihazları yoxlamaq üçün buraya gəlməyə bilərsiniz.

5. Quraşdırma və ayarlamalar:
Cihazlar zavquzunuza çatdıqdan sonra, biz inžinərləri göndərmək olar ki, onlar cihazları quraşdırıb səhv yoxlasın. Bu xidmət haqqı üçün size fərqli qiymət təklif edəcəyik.

6. Garanti haqqında:
Bizim cihazlar 12 aylıq zəmanət müddəti ilə gəlir. Zəmanət müddəti keçib daha sonra, əgər hansısa hissələr pozulub və əvəz edilməsi lazımdırsa, yalnız maliyet qiymətini götürəcəyik.

Digər məhsullar

Sorğu

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Gizlilik Siyasəti

Sorğu Email WhatsApp Top
×

Əlaqəyə keçin