Ərazi və ya disk |
Ölçü |
اینچ |
4,5,6,8 |
Vafer kaseti |
Nömrə |
- |
2 |
Silmə üsulu |
- |
Vertikal dalğalı ərazi üsulu |
|
Ərazi dövirininqarışı |
Növlər |
- |
Hava balansları |
Maddə |
- |
2 |
|
Sürət |
dəq |
0~5000 |
|
Çıxış Gücü |
Kw |
5.5/7.5 |
|
İnme |
mm |
150 |
|
Qidalanma sürəti |
um/s |
0.01~100 |
|
Sürət artırmalı ilə |
mm/min |
300 |
|
Həll |
um |
0.1 |
|
Əməliyyat nöqtəsi oxu |
NÖV |
- |
Toplu dərəcələr |
Maddə |
- |
3 |
|
Suxper türü |
- |
Mikropor qeyri-metall |
|
Wafer çəkisi üsulu |
- |
Vakuum emilməsi |
|
Sürət |
dəq |
0~300 |
|
Wafer köçürməsi |
- |
Robot Qolu |
|
- |
Dönən disk |
||
Digər funksiyalar |
Wafer mərkəzləşdirməsi |
- |
Mobil pin üsulü |
Wafer təmizləməsi |
- |
Su və hava təmizləməsi, spin quruşu |
|
Çəkərli qovluğun temizlənməsi |
- |
Abraziya təmizləməsi |
|
TAŞILANMA ÇƏKƏRİ |
mm |
φ200 |
|
ONLINE اندازه گيري |
Ölçmə Aralığı |
um |
0~1800 |
Həll |
um |
0.1 |
|
Təkrarlama dəqiqliyi |
um |
±0.5 |
|
Mexaniki emal dəqiqlik |
İç-wafer dəqiqlik (TTV) |
um |
≤2 |
Arası-wafer dəqiqlik (WTW) |
um |
±3 |
|
Səth oğruluğu (Ry) |
um |
0.13(2000#bitim) |
|
Görünüşü |
Xarici rəngləndirmə |
um |
Narıncı nümunə |
Ölçülər(Ə×Y×U) |
mm |
1200×2750×1950 |
|
Çəki |
kg |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved