Model |
MDTS-WT2200 |
Yüngül axların sayı |
2 |
İş dəzgahlarının sayı |
3, indeks metodu |
Ərazi dövirininqarışı |
Hava spindallarının sayı: 2 Spindal motoru: 7.5kW dəyişsiz frekvensi motoru Sürət: 0~6000rpm, addımlaşmaqla ayarlanır Çarpıcı spesifikasiya: Φ203mm Çarpıcı növü: almaz çarpıcı |
Çarpıcı təchizat sistemi |
Miqdar: 2 qurğu Yükləmə sistemi idarəetmə üsulu: LM raily və şariklu šerit Kombinasiya Sürüş motoru: servomotor Ən kiçik yükləmə sürəti: 0.1um/sec Ən yüksək yükləmə sürəti: 50mm/sec |
İŞ MASASI |
Miqdar: 3, indeks rejimi Asan motoru: Servo motor Sürət: 0~300dəq/min, addımlarsız ayarlanır Əlçatma üsulu: Vakuum əlçatması |
İş masası dövirli heyrana |
Sürüş növü: servomotor Dönüş diapazonu: 0~240° Pozisiya forması: sensör köməkli pozisiyalaşdırma |
Avtomatik qalınlıq Ölçü sistemləri |
Ölçü vəziyyəti: IPG kontaktlı onlayn real-vaxt ölçümü Ölçü başları sayını: 2 Ölçü sensoru: 0.1um səviyyəsindəki sensor |
Avtomatik yükləmə\ boşaltma sistemi |
Korpus növü: 6-8inci Kaset, 25 slov Avtomatik yükləmə\boşaltma üsulu: wafer manipulyatorunun istifadəsi ilə inci waferlərin zədə olmadan tranспорasiyası təmin edilir Vafər kalinliyi: 150um-1000um |
İş masası temizləmə funksiyası |
Temizləmə üsulu: Yulduz şəkli cilalama & DI suyu+hava iki maddi şəklində temizləmə |
Avtomatik temizləmə/ Quruma sistemi |
Temizləmə: DIW nişanlı temizləmə Qurutma üsulu: Fışırlandırma +qurutma Tezlik: maksimum 1000rpm addımlarla dəyişdirilə bilər |
Statik silinmə sistem |
Ion çubuğu yaxud orion fan |
Spindl soğutucu |
Temperatur: 18-22°C Akış həcmi: 4~8L/min |
İdarəetmə Sistemi |
Kontrol sistem: PC kontrol sistemi, məşq ekranı, 3-rəngli alarm işığı Çin dili/İngilis dili insan-maqina interfeysi |
Ən böyük disk ölçüsü |
Ən çox 8 inc ilə uyğun |
Sürət aralığı |
0~6000 DQD |
Z oxu hərəkəti |
160mm |
Z oxu qidalanma sürəti |
0.1~100mkm/sec |
Z-oxu sürətli geri çekilmə sürəti |
50mm/sec |
Z-oxu düzənləməsi |
0.1um |
Onlayn qabaq qalınlığı ölçmə siyahısı |
0~1800um |
Onlayn qabaq qalınlığı ölçmə düzəliyi |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved