RTD Wafer, xüsusi işləmə üsullarından istifadə edərək waferin səthindəki müəyyən yerlərdə temperatur sensörəri (RTDs) qoymaqla waferin səth temperaturlarını real vaxt-da ölçməyə imkan verir.
Waferin səthindəki müəyyən yerlərdə həqiqi temperatur ölçümləri və waferin ümumi temperatur dastrıbuciyası RTD Wafer vasitəsi ilə alınabilir; Bu, istifadəçilərə istilik əməliyyatı prosesində waferlərdəki tranziensi temperatur dəyişikliklərinin təkrarlı izlənməsinə də imkan verir.