Yarımkeçirici vafli üçün ICP quru Plazma Fotorezist / Plazma Fotorezist çıxarma (PR) maşını , Çin Yarımkeçirici vafli üçün ICP quru Plazma Fotorezist / Plazma Fotorezist çıxarma (PR) maşını İstehsalçılar, Təchizatçılar, Fabrika

Product Description

ICP PLAZMA Fotorezist Maşını çıxarın

ASHING
Polimerin çıxarılması
Sərt maska qatının quru çıxarılması
İon implantasiyasından sonra fotomüqavimətin aradan qaldırılması
BAW/SAW prosesində fotomüqavimətin aradan qaldırılması
Yansıtma əleyhinə qrafik film təbəqəsinin quru təmizlənməsi
Səth qalıqlarının çıxarılması
Aşındırmadan sonra səthin təmizlənməsi
DESCUM

ICP quru plazma fotorezisti çıxaran maşın DESCUM (öncədən müalicə, fotorezist qalıqlarının çıxarılması) üçün uyğundur Polimerin çıxarılması (PI, BCB, PBO) İon implantasiyası, fotorezistin çıxarılması və s. sonra boşluq 8 düymlük nümunələr üçün uyğundur (4) -6 düym uyğun)

Yarımkeçirici vafli detallar üçün Fotorezist / Plazma Fotorezist çıxarma (PR) maşınının ICP quru Plazma çıxarılması

Yarımkeçirici vafli təchizatçı üçün Fotorezist / Plazma Fotorezist çıxarma (PR) maşınının ICP quru Plazma çıxarılması

Yarımkeçirici vafli istehsalı üçün ICP quru Plazma Fotorezist / Plazma Fotorezist çıxarma (PR) maşınının çıxarılması

Yarımkeçirici vafli fabriki üçün Fotorezist / Plazma Fotorezist çıxarma (PR) maşınının ICP quru Plazma çıxarılması

spesifikasiya

PLAZMA			RF	RF
güc	ICP	1000w	1000w
güc		BİAS	600w (seçim)	600w (seçim)
Tətbiq olunan əhatə dairəsi			4 ~ 8 düym	4 ~ 8 düym
Tək emal dilimlərinin sayı			1	2
Görünüş ölçüləri			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Sistem nəzarəti			Sənaye nəzarəti sistemi	Sənaye nəzarəti sistemi
Avtomatlaşdırma səviyyəsi			avtomatik	avtomatik