ICP yuxarı plazma photoresist silməsi / plazma photoresist silmə (PR) maşını semikondüktor wafer üçün , China ICP yuxarı plazma photoresist silməsi / plazma photoresist silmə (PR) maşını semikondüktor wafer üçün Manufacturers, Suppliers, Factory

Məhsul Təsviri

ICP PLASMA Fotoresist Kaldırma Maşını

ASHING
Polimer silməsi
Sert maska qatının yuxarı silinməsi
Ion implantasiyasından sonra fotoresist silməsi
BAW/SAW prosesində fotosensitivliklərin silinməsi
Anti-refleksqrafik film qatının yuxarıda temizlənməsi
Səth qalığından pozmaq
Yüzləmədən sonra səth təmizləmə
DESCUM

ICP yuxarı plazma fotoresist çıxarmaq üçün maşın DESCUM-a (pre-treatment, fotoresist qalığı silməsi) Polimer çıxarışı (PI, BCB, PBO) Ion implantasiyasından sonra, fotoresistin silinməsi v.s., boşluq 8inci ölçülər üçün uyğundur (4-6 inci uyğundur)

ICP dry Plasma Removal of Photoresist / Plasma Photoresist removal (PR) machine for semiconductor wafer details

ICP dry Plasma Removal of Photoresist / Plasma Photoresist removal (PR) machine for semiconductor wafer supplier

ICP dry Plasma Removal of Photoresist / Plasma Photoresist removal (PR) machine for semiconductor wafer manufacture

ICP dry Plasma Removal of Photoresist / Plasma Photoresist removal (PR) machine for semiconductor wafer factory

Speksifikasiya

Plazma			rF	rF
Güc	ICP	1000W	1000W
Güc		BIAS	600w(option)	600w(option)
Uyğunluq sahəsi			4~8 inc	4~8 inc
Yalnız işləmə dilimin sayı			1	2
Xarici ölçülər			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
sistem idarəetməsi			Sənaye idarəetmə sistemi	Sənaye idarəetmə sistemi
Avtomatlaşdırma səviyyəsi			Avtomatik	Avtomatik