Induktiv Qoşulmuş Plazma Etçilma Sistemi ( ICP ) Semikonduktor texnikası , China Induktiv Qoşulmuş Plazma Etçilma Sistemi ( ICP ) Semikonduktor texnikası Manufacturers, Suppliers, Factory

Məhsul Təsviri

Induktiv qoşulma plazma etçiləmə (icp) sistemi

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment details

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Proses nəticəsi

Kristall-kvarts / silikon / qrat etçiləmə

BR maskası ilə kristall-kvarts və ya silikon materiallarının etçilənməsindən sonra qrat massivi şablonu 300nm-ə qədər inkişaf edir və bu şablonun yan səhifələri > 89°-ə yaxın olur, bu da 3D displey, mikro optik cihazlar, fotoelektronika kommunikasiyasına və s. tətbiq edilə bilər

Birləşmiş / semiconductor etçiləmə

Nümunə səthinin temperaturasının doğru idarə edilməsi, GaN əsaslı, GaAs, InP və metal materiallarının etçilənən morfologiyasını yaxşı şəkildə idarə edə bilər. Bu, mavi LED qurğuları, lazerlər, optik kommunikasiya və digər tətbiqlər üçün uyğun dur.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment manufacture

Silikon əsaslı materialın etçilmesi

Bu, Si, SiO2 və SiNx kimi silikon əsaslı materialların etçiləndirməsi üçün uyğundur. 50nm-dən böyük silikon xəttinin və 100µm-dən aşağı silikonun günbələğinə etçiləndirməsini realiz etmək olar.

Speksifikasiya

Proyekt konfigurasiyası və maşın struktur şəkli

Məhsul	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Məhsulun ölçüsü	≤6 inc	≤8 inc	≤6 inc	≤8 inc	Gömrük≥12inci
SRF Enerji mənbəyi	0~1000W/2000W/3000W/5000W Ayarlanır, avtomatik uyğunlaşdırma\,13.56MHz/27MHz
BRF Enerji mənbəyi	0~300W/0~500W/0~1000WAyarlanır, avtomatik uyğunlaşdırma,2MHz/13.56MHz
Molekulyar pompa	Korroziyaya qarşı: 600/1300 (L/s)/Gömrük			Korrozuya qarşı:600/1300 (L/s)/Gömrük		600/1300(L/s) /Gömrük
Əvvəlki pompa	Mekanik pompa / yuxarı pompa			Korroziasız yuxarı pompa		Mekanik pompa / yuxarı pompa
İlkin pomplama pompa	Mekanik pompa / yuxarı pompa			Mekanik pompa / yuxarı pompa
Proses basıncı	Nəzarətsiz basınç/0-0.1/1/10Torr nəzarətli basınç
Qaz Tipi	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Təyin edilən (Ən çox 12 kanal, korroziv və zehirli qaz olmaması şarti ilə)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Müştəri (Ən çox 12 kanal)
qaz aralığı	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Müştəri
YüklüQapı	Bəli/Hayır			Bəli
Nümunə temperaturu idarəetməsi	10°C~Otaq temperaturu/-30°C~150°C /Müştəri			-30°C~200°C/Müştəri
Arxa helium soğutma	Bəli/Hayır			Bəli
Proses maşınçısı kaplama	Bəli/Hayır			Bəli
Maşınçısının divarları temperaturu idarəetməsi	Yox/Otaq temperaturu-60/120°C			Otaq temperaturu~60\/120°C
İdarəetmə Sistemi	Avtomatik/təyin edilmiş
Ətirəl material	Silikon-asos: Si\/SiO2\/ SiNx\/ SiC..... Organik materiallar:PR\/Organik filmler......			Silikon-asos: Si\/SiO2\/SiNx\/SiC III-V: InP\/GaAs\/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Magneyt material / alloy material Metal materiallar: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Organik materiallar: PR/Organik filmler...... Silikonin derin etdirilməsi

Qablaşdırma və Çatdırılma

Şirkət Profili

Biz 16 il təcrübəyə malik equipment satışında dayandırıq. Sizə Çin dən One-stop Semikonduktor ildəm və arxa əlaqəli Paket Cəmiyyət xətti texniki həll təklif edə bilərik.

baş səhifə

Biz haqqında

MH Texnikası

Həll

Dünya Genişləndən İstifadəçilər

Video

Əlaqə

Induktiv Qoşulmuş Plazma Etçilma Sistemi ( ICP ) Semikonduktor texnikası

Kristall-kvarts / silikon / qrat etçiləmə

Birləşmiş / semiconductor etçiləmə

Silikon əsaslı materialın etçilmesi

Digər məhsullar

MD-FS Seriyası Kapasitor burma maşını

MD-FDS Seriyası Avtomatik Kapasitor burma maşını

MD-EFS seriyası Kapasitor Yumuşdırma Maşını

MD-EDFS Seriyası film kondensatorları burmağçı maşını

Sorğu

Articles

Products

Get In Touch

Induktiv Qoşulmuş Plazma Etçilma Sistemi ( ICP ) Semikonduktor texnikası

Kristall-kvarts / silikon / qrat etçiləmə

Birləşmiş / semiconductor etçiləmə

Silikon əsaslı materialın etçilmesi

Digər məhsullar

Sorğu

Articles

Products

Get In Touch

Əlaqəyə keçin