İnduktiv birləşdirici plazma aşındırma sistemi (ICP) yarımkeçirici avadanlığı, Çin İnduktiv birləşdirici plazma aşındırma sistemi (ICP) yarımkeçirici avadanlıq istehsalçıları, təchizatçıları, zavodu

Product Description

İnduktiv birləşdirici plazma aşındırma (icp) sistemi

İnduktiv birləşdirici plazma aşındırma sistemi (ICP) Yarımkeçirici avadanlıq təfərrüatları

İnduktiv birləşdirici plazma aşındırma sistemi (ICP) Yarımkeçirici avadanlıq təchizatçısı

İnduktiv birləşdirici plazma aşındırma sistemi (ICP) Yarımkeçirici avadanlıq fabriki

Proses Nəticəsi

Kvars / silisium / ızgara aşındırma

Kvars və ya silikon materialları aşındırmaq üçün BR maskasından istifadə edərək, ızgara massiv nümunəsi 300 nm-ə qədər ən incə xəttə malikdir və naxışın yan divarının dikliyi > 89 ° -ə yaxındır, bu da 3D displey, mikro optik cihazlar, optoelektron rabitə, və s

Qarışıq / yarımkeçirici aşındırma

Nümunə səthinin temperaturuna dəqiq nəzarət GaN əsaslı, GaAs, InP və metal materialların aşındırma morfologiyasına yaxşı nəzarət edə bilər. Mavi LED cihazları, lazerlər, optik rabitə və digər tətbiqlər üçün uyğundur.

İnduktiv birləşdirici plazma aşındırma sistemi (ICP) Yarımkeçirici avadanlıq istehsalı

Silikon əsaslı materialın aşındırılması

Si, SiO2 və SiNx kimi silikon əsaslı materialların aşındırılması üçün uyğundur. 50nm-dən yuxarı silikon xətti aşındırmağı və 100um-dan aşağı silikon dərin deşik aşındırmağı həyata keçirə bilər

spesifikasiya

Layihə konfiqurasiyası və maşın strukturu diaqramı

maddə	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Product ölçüsü	≤6 düym	≤8 düym	≤6 düym	≤8 düym	Xüsusi≥12 düym
SRF Enerji mənbəyi	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
BRF Enerji mənbəyi	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
Molekulyar nasos	Qeyri-korroziya: 600 /1300 (L/s)/Xüsusi			Korroziyaya qarşı: 600 /1300 (L./s)/Xüsusi		600/1300(L/s) /Xüsusi
Ön xətt nasosu	Mexanik nasos / quru nasos			Korroziyaya qarşı quru nasos		Mexanik nasos / quru nasos
Əvvəlcədən nasos nasosu	Mexanik nasos / quru nasos			Mexanik nasos / quru nasos
Proses təzyiqi	Nəzarət olunmayan təzyiq/0-0.1/1/10Torr idarə olunan təzyiq
Qaz növü	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (12 kanala qədər, aşındırıcı və zəhərli qaz yoxdur)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Fərdi (12 kanala qədər)
Qaz diapazonu	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
LoadLock	Hə Yox			bəli
Nümunə nəzarəti	10°C~Otaq/ -30°C~150°C /Xüsusi			-30°C~200°C/Xüsusi
Arxa helium soyutma	Hə Yox			bəli
Proses boşluğunun astarlanması	Hə Yox			bəli
Boşluq divarına nəzarət	No/Otaq temperaturu-60/120°C			Otaq temperaturu ~60/120°C
Control System	Avtomatik/fərdi
Aşınma materialı	Silikon əsas: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Üzvi materiallar: PR/Organic film......			Silikon əsas: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Maqnit material / ərinti material Metal materiallar: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Üzvi materiallar: PR/Organic film...... Silikon dərin aşındırma

Qablaşdırma və Çatdırılma

Profili

Avadanlıqların satışı üzrə 16 illik təcrübəmiz var. Biz sizə Çindən One-stop Semiconductor Front-end və Back end Package Line avadanlıqlarının peşəkar həllini təqdim edə bilərik.