struktur |
təsviri |
Aşkarlama masası |
Aşkarlama sahəsi: masa, subtrat yerləşdirilmə sahəsi |
Optik sistem |
Lazer işıq formatlaşdırma sahəsi |
Çevrə idarəetmə sistemi |
Qurumun daxili temperaturnu və pozitiv basıncını idarə edir |
Platforma sistemi |
Əksposura masasının hərəkətini idarə edərək əksposura yolu operasiyasını tamamlayır |
İdarəetmə Sistemi |
Bütün təchizatın idarəetmə sistemi |
Yoq. |
Mühit |
Talab |
1 |
İşıq mühiti |
Sarı işıq |
2 |
Temperatur |
22℃±2℃ |
3 |
Rütubət |
50%±10% |
4 |
پاکلیق |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, yuxarı, təmiz hava |
6 |
Enerji taminatı |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Zemin kabeli zərurən qarşıya bağlanmalıdır, |
7 |
Sozma suyu |
Temperatur: 10℃~ 20℃ Basınç: 0.3MPa ~ 0.5MPa Ədviyyat sürəti: 20L/dəq Basınç fərqini: 0.3MPa-dan yüksək Kolça直径：Rc3/8 |
8 |
Məkan |
səviyyə: ±3mm/3000mm sallanma: VC-B Dəstə: 750kg/㎡ |
10 |
Internet |
Bir şəbəkə portu |
11 |
Maşın ölçüsü |
1300*1100*2100mm |
12 |
Qurğunun çəki |
1500 کیلو |
Yoq. |
Layihə |
Əlaqə |
Qeyd |
1 |
Həll |
0.6um/və ya başqa tələb |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Substratların qalınlığı |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Tarix ədədi doğruluğu |
60nm |
|
5 |
Üst-üstə qatışma |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Qoşulma dəqiqliyi |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Ən böyük işıq açığı ölçüsü |
190X190mm |
|
8 |
Gönderim miqdarı |
≥300mm²/min |
≤50mj/cm2; |
9 |
i̇şıq Mənbəyi |
LD 375nm |
|
10 |
نور گوجو |
6W |
|
11 |
Enerji birləşməsi |
≥95% |
|
12 |
işıq ömrü |
10000 saat |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
