MDHS-AL8 8" Tam avtomatik tək tərəfli litoqrafiya maşını , Çin MDHS-AL8 8" Tam avtomatik tək tərəfli litoqrafiya maşını İstehsalçılar, Təchizatçılar, Fabrika

Product Description

MDHS-AL8 8" Tam avtomatik birtərəfli litoqrafiya maşını

1. İş rejimi: Yükləmə robotu vafliləri avtomatik olaraq AB (təkrar emal edilə bilən) vafli qutudan əvvəlcədən yerləşdirməyə yükləyir

iş dəzgahı və kameranın yerləşdirilməsi vaflisinin və avtomatik fırlanma sisteminin tənzimlənməsi vasitəsilə vaflinin əvvəlcədən yerləşdirilməsi əldə edilir; Yükləmə robotu daha sonra əvvəlcədən yerləşdirilmiş vafliləri hizalama iş dəzgahına yükləyir. Kompüter təsvirinin tanınması və avtomatik hizalama sisteminin tənzimlənməsi vasitəsilə maska və vafli üzərində qrafiklərin avtomatik uyğunlaşdırılmasına nail olmaq olar. Qrafikləri uyğunlaşdırmadan bir ekspozisiyanı tamamlamaq da mümkündür. Həddindən artıq ifşa sistemi tərəfindən avtomatik ifşa edildikdən sonra, boşaltma robotu avtomatik olaraq vafliləri CD (təkrar emal edilə bilən) vafli qutuya yerləşdirir.
2. Ekspozisiya sahəsi: 160 × 160mm;
3. Qeyri-bərabər ifşa işıqlandırması: ≤ 3%;
4. Ekspozisiya intensivliyi: 0~≥ 40mw/sm2 tənzimlənən (şüa bucağı 2 °);
5. UV şüasının bucağı: ≤ 3 °;
6. Ultrabənövşəyi işığın mərkəzi dalğa uzunluğu: 365nm;
7. UV işıq mənbəyinin ömrü: ≥ 20000 saat;
8. Ayırma qabiliyyəti: 0~≥ 1000um tənzimlənən;
9. Hizalanma dəqiqliyi: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Ekspozisiya dəqiqliyi: Kontakt məruz qalma ± 1 μ m. 20 μ M şüa bucağının ekspozisiyaya yaxın ayrılması 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Ekspozisiya üsulları: sərt təmas, yumşaq kontakt və yaxınlıqda məruz qalma;
12. Ekspozisiya rejimi: Siz birdəfəlik ekspozisiya və ya ofset ekspozisiya arasında seçim edə bilərsiniz
13. Əvvəlcədən yerləşdirmə təsvirinin tanınması və avtomatik fırlanma sistemi (əvvəlcədən yerləşdirmə iş dəzgahı daxil olmaqla): fırlanma bucağı Q ≥ ± 180 °, fırlanma dəqiqliyi Q ≤ 0.01 °;
14. Şəklin tanınması və avtomatik hizalama sistemi (UVW düzləşdirmə iş dəzgahı daxil olmaqla): hizalanma diapazonu XY ≥ ± 5 mm, fırlanma bucağı Q ≥ ± 3 ° və mikroskopun iki linzaları iki XYZ elektrik platforması tərəfindən idarə olunur.
15. Maskanın ölçüsü: 5 " × 5 "və 7" × 7 ";
16. Gofretin ölçüsü: 4 "və 6";
17. Yuxarı və aşağı film qutusu iş stansiyaları: ikili iş stansiyaları;
18. Ayaq yastığı hava yastığı
19. İki qollu robot qolu yükləmə və boşaltma: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Vafli qutusundakı vaflilərin sayı: müştərinin vafli qutusundakı vaflilərin sayına əsasən müəyyən edilir;
21. Yerləşdirmə masasının qaldırılması: Z ≥ ± 25mm;
22. Ekspozisiya vaxtı: 0-dan 999.9 saniyəyə qədər tənzimlənə bilər;
23. İstehsal ritmi:>saatda 120 ədəd;
24. Enerji təchizatı: birfazalı AC220V 50Hz, enerji istehlakı ≤ 3KW;
25. Təmiz hava təzyiqi: ≥ 0.4MPa;
26. Vakuum dərəcəsi: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Ölçü: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Çəki: Təxminən 400 kq

Bu maşın LED ultrabənövşəyi şüalara məruz qalma başlığından, təsvirin tanınması və avtomatik fırlanma sistemindən, əvvəlcədən yerləşdirilmiş iş dəzgahından və şəkil kimi tanınma və avtomatik hizalama sistemlərindən, hizalama iş dəzgahlarından, yükləmə robotlarından, boşaltma robotlarından, raflardan və elektrik nəzarətindən ibarətdir. Avadanlıqdan ibarətdir. , ehtiyat aksesuarları və s.

spesifikasiya

1. Ekspozisiya başlığı: Bir LED ultrabənövşəyi məruz qalma başlığı (365nm);
2. Şəklin tanınması və ilkin hizalama iş masası:
1) 1 kamera (1.3 milyon piksel)
2) Mərkəzi yerləşdirmə qurğusu
3) 1 dəst fırlanan platforma (servo motordan istifadə etməklə)
4) 1 dəst yerləşdirmə sistemi
3. Şəklin tanınması və avtomatik düzülmə sistemi:
1) 2 kamera (5 milyon piksel yüksək kadr tezliyi)
2) 2 linza (4x yüksək dəqiqlikli obyektiv)
3) Bir sənaye kompüteri
4) Bir nəzarətçi (PLC tərəfindən idarə olunur)
5) Bir sıra hizalama platforması (5 fazalı pilləli mühərrikdən istifadə etməklə)
6) İdman sistemi dəsti
7) Üst boşqab cihazı qaldırmaq və endirmək üçün bir motor qəbul edir
7) Proqram təminatı LabVIEW Professional Edition-ın ən son versiyasını qəbul edir
4. Yükləmə və boşaltma mexaniki qolu:
1) X Y. Z avtomatik hərəkət mexanizminin dəsti
2) İki qollu robot qolu (yükləmə və boşaltma qolları)
5. Vafli qutunun bərkidilməsi mexanizmi:
1) AB qidalanma filmi qutusunun sabit yerləşdirilməsidir
2) CD kəsici film qutusunun sabit yerləşdirilməsidir
3) G NG mövqeyi film qutusunun sabit yerləşdirilməsidir
6. Kamera sabit platforması:
7. YZ elektrik tənzimləmə mexanizmlərinin iki dəsti (servo mühərriklər tərəfindən idarə olunur)
8. Raf və elektrik idarəetmə konsolu:
1) 1 sənaye kompüteri
2) PLC-nin bir dəsti;
3) Bir dəst solenoid klapan və idarəetmə sistemi
4) Rəqəmsal pnevmatik alətlər dəsti
5) Bir dəst idarəetmə konsolu
8. Ehtiyat qoşmalar:
1) Traxeya: 15 metr
2) 2 solenoid klapan
3) Vakuum nasosu: 1 ədəd
9. Texniki məlumatlar:
1) Bir istifadəçi təlimatı
2) Bir uyğunluq sertifikatı
10. Əlavə
Avadanlıq proqram təminatı SECS rabitə protokolu ilə təchiz edilməlidir və alıcı alıcının FHN sistemi ilə docking funksiyası ilə dinamik kitabxana təmin edir, məhsulun partiyasının nömrəsini, iş nömrəsini və əməliyyat vəziyyətini avtomatik olaraq qeyd edir və onları yükləyir. Eyni zamanda maska lövhəsinin QR kodunu müəyyən etmək, onu FHN sisteminin maska lövhəsi QR kodu ilə müqayisə etmək və yanlış maska boşqabının götürülməsinin qarşısını almaq funksiyasına malikdir.

Qablaşdırma və Çatdırılma