MDHS-AL8 8" Tam avtomatik bir tərəfli litografi maşını , China MDHS-AL8 8" Tam avtomatik bir tərəfli litografi maşını Manufacturers, Suppliers, Factory

Məhsul Təsviri

MDHS-AL8 8" Tam avtomatik bir tərəfli litografi maşını

1. İşləm növü: Yükləmə robotu avtomatik olaraq A-B (istifadə edilə bilən) şəfa qutusundan şefaları əvvəlliklə pozisiyaya gətirilmək üçün...

iş masası, kamera pozisiyonu vaferinin və avtomatik döndürmə sistemi vasitəsiylə vaferin əvvəlki pozisiyonu başa çatır; Yükləmə robotu sonra əvvəlki pozisiyaya qoyulmuş vaferləri uyğunlaşdırma iş masasına yükləyir. Kompyuter şəkil tanıyıcı və avtomatik uyğunlaşdırma sistemi tənzimləməsi vasitəsiylə maskanın və vaferlərin xətlərinin avtomatik uyğunlaşdırılması başa çatır. Xətləri uyğunlaşdırmadan bir açıq etmək olar. Fazla açıq sistemi vasitəsiylə avtomatik açıqdan sonra, boşaltma robotu avtomatik olaraq vaferləri C-D (təkrar istifadə edilə bilən) vafer qutusuna yerləşdirir.
2. Açığın sahəsi: 160 × 160mm;
3. Tənhalığın açıq illüminasiyası: ≤ 3%;
4. Açığın intansivliyi: 0~≥ 40mw/cm2 ayarlamaq olar (şəfa qünyası 2 °);
5. UV şəfa qünyası: ≤ 3 °;
6. Ültrasifir ışığının mərkəzi dalgınlığı: 365nm;
7. UV ışığının işıq mənbəyi ömrü: ≥ 20000 saat;
8. Ayırma imkanı: 0~≥ 1000um ayarlamaq olar;
9. Uyğunlaşdırma dəqiqliyi: ≤ ± 1.5 μ M;
10. İstifadə dəqiqliyi: Əlaqəli istifadə ± 1 μ m. Yaxınlıq istifadəsində 20 μ M lük ışığın açıqlığı 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Istifadə üsulları: sert əlaqə, yumşaq əlaqə və yaxınlıq istifadəsi;
12. Istifadə rejimi: Bir dəfəlik istifadə və ya ofset istifadə arasından seçim etmək olar
13. Əvvəlki yerləşdirmə imaj tanıma və avtomatik döndürmə sistemi (əvvəlki yerləşdirmə iş masası daxil olmaqla): döndürmə bucağı Q ≥ ± 180 °, döndürmə dəqiqliği Q ≤ 0.01 °;
14. Imaj tanıma və avtomatik düzləşdirilmə sistemi (UVW düzləşdirilmə iş masası daxil olmaqla): düzləşdirilmə diapazonu X Y ≥ ± 5mm, döndürmə bucağı Q ≥ ± 3 °, mikroskopun iki lentili qovluğu iki XYZ elektrik platforması tərəfindən idarə olunur.
15. Mask ölçüsü: 5 "× 5" və 7" × 7 ";
16. Wafer ölçüsü: 4 "və 6";
17. Üst və alt film qutusu iş stansiyaları: iki iş stansiyası;
18. Ayak tamponlu havlu
19. Yükləmə və boşaltma iki kol robot kolluq: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Wafer qutusundaki wafer sayını təyin etmək: müştərinin wafer qutusundaki wafer sayına əsaslanaraq;
21. Pozisiya masasının yüksəlmesi: Z ≥ ± 25mm;
22. İşıqlandırma vaxtı: 0-dan 999.9 saniyəyə qədər ayarlanabilir;
23. Ümumi rütbə: >120 adət saatda;
24. Enerji təchizatı: fəzli AC220V 50Hz, elektrik sömrəyi ≤ 3KW;
25. Təmiz hava basıncı: ≥ 0.4MPa;
26. Vakuum dərəcəsi: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Ölçülər: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Çəki: Təxminən 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Bu makina LED ultraviiolet işıqlandırma başı, şəkil tanıyış və avtomatik döndürmə sistemindən, əvvəlliklə pozisiya verən iş masasından və şəkil kimi tanıyış və avtomatik düzləşdirici sistemlərdən, düzləşdirici iş masalarından, yükləmə robotlarından, boşaltma robotlarından, raflardan və elektrik idarəetmə cihazlarından ibarətdir, rezerv aksesuarlar və s. daxil olmaqla.

Speksifikasiya

1. Azələnmiş baş: Bir LED ultrafiolet azələnmiş baş (365nm);
2. İmgə tanıma və əvvəllikdən uyğunlaşdırma iş Masası:
1) 1 kamera (1.3 milyon piksel)
2) Markəli pozisiya qurğusu
3) 1 döyüş platforması (servo motor istifadə edilir)
4) 1 pozisiya sistemi
3. İmgə tanıma və avtomatik uyğunlaşdırma sistemi:
1) 2 kamera (5 milyon piksel yüksək çərçivə sürəti)
2) 2 adət lins (4x yüksək təsvir keyfiyyəti lins)
3) Bir sənaye kompüteri
4) Bir kontrolör (PLC tərəfindən idarə olunur)
5) Bir dəstləşdirici platforma quruluşu (5-fazli addımlı motor istifadə edilir)
6) Bir sports sistem
7) Üst plaka cihazı yüksəldilmə və endirilmə üçün mOTORdan istifadə edir
7) Proqram təminatı ən son LabVIEW Professional versiyasından istifadə edir
4. Yükləmə və boşaltma mexaniki kol:
1) X Y. Bir Z avtomatik hərəkət mekanizmi
2) İki kol robota kolu (yükləmə və boşaltma kolları)
5. Wafer qutusu sabitləşdirici mekanizm:
1) AB təchizat qutusunun sabit pozicionu
2) CD, kesim film qutusunun sabit konumlandırılmasıdır
3) G, NG pozisiyası film qutusunun sabit konumlandırılmasıdır
6. Kamera sabit platformu:
7. İki qrup Y.Z elektrikli düzəltmə mekanizmləri (servo motorlar vasitəsi ilə idarə olunur)
8. Rəf və elektrik idarəetmə konsolu:
1) 1 sayəsində üstünlük kompüteri
2) Bir qrup PLC;
3) Bir qrup elektromagnitli solenoid valvillər və idarəetmə sistemi
4) Bir qrup rəqəmsal pnevmatik alətlər
5) Bir qrup idarəetmə konsolu
8. Yedek əlavələr:
1) Traheal: 15 metr
2) 2 solenoid valv
3) Vakuum pompa: 1 vahid
9. Texniki məlumatlar:
1) Bir istifadəçi qovluğu
2) Bir uyğunluq sertifikatı
10. Əlavə
Təchizat proqrami SECS kommunikasiya protokolu ilə təmin olunmalıdır, və satıcı dinamik kitabxanasını satıcının MES sistemi ilə ünsiyyət etmə funksiyasına malik olmalıdır, avtomatik olaraq məhsul partiya nömrəsini, iş nömrəsini və əməliyyat statusunu qeyd edir və onları yükləyir. Eyni zamanda, maska plaka QR kodunu tanıyır, onu MES sisteminin maska plaka QR kodu ilə müqayisə edir və səhv maska plakanın götürülmesini önləyir.

Qablaşdırma və Çatdırılma