Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Qiymət al

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

baş səhifə
Bizi Haqqında
MH Texnikası
Həll
Dünya Genişləndən İstifadəçilər
video
Əlaqə Saxlayın
Ev> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Tam Avtomatik ICP Etçilma Maşını / Induktiv Olaraq Qoşulmuş Plazma
  • MDICP-5000F Tam Avtomatik ICP Etçilma Maşını / Induktiv Olaraq Qoşulmuş Plazma
  • MDICP-5000F Tam Avtomatik ICP Etçilma Maşını / Induktiv Olaraq Qoşulmuş Plazma
  • MDICP-5000F Tam Avtomatik ICP Etçilma Maşını / Induktiv Olaraq Qoşulmuş Plazma

MDICP-5000F Tam Avtomatik ICP Etçilma Maşını / Induktiv Olaraq Qoşulmuş Plazma

Pulsuz qiymət al
Məhsul Təsviri

MDICP-5000F Tam avtomatik ICP qırılma maşını

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Geniş xülasə

Texnika iki otaqli vakum sistemidir. Bir otaq enjeksiya nümunə alma odasıdır və digəri isə qırılma odasıdır. Enjeksiya nümunə alma odası və qırılma odasının arasına vakum blok quraşdırılmışdır və enjeksiya nümunələrinin manipulyator vasitəsilə köçürülmesi olunur.
Aparat öncəsənə vacum sistemi, qaz yolu sistemi, elektrik sistemi, idarəetmə sistemi, soxutma sistemi, filmin təchiz və götürmə mekanizmi, xəbərdarlıq sistemi və s. ilə əmələ gəlməkdir.

Vakuum sistemi

Sistem, 600 L/s çəkis sürəti ilə molekulyar pompa + L/s çəkis sürəti ilə daxili vacum yuxu pompa etibarlı olaraq etçama odasını yüksək vacuma çəkir. Molekulyar pompa və etçama odası arasına elektrikli dinamik basinq nəzarət vəlvsi qoyulub. Daxili yuxu pompa, etçama odasının əvvəlki pompa və molekulyar pompanın ildi pompa idi. Başqa bir mexaniki pompa L/s çəkis sürəti ilə nümunə odasını vacuma çəkirdi. Mexaniki pompa və vacum odası və molekulyar pompa arasındakı birləşməyi stainless çelik balqaları ilə edir və elektromagnit pnevmatik blok vəlvi qurulub.

Sabit basinq nəzarət sistemi

Əşya, aşağı akış sabit basınç idarəetmə sistemi ilə təchiz edilib və hava çıxarım boru şəbəkəsində elektriklə idarə olunan dəyişdirilə bilən klapan quraşdırılmışdır. Film manometri (import hissələri) vasitəsilə bu klapan idarə edilir və vakum odası sabit basınğa çatmaq üçün təmin edilir, bu da proses stabilliyini artırır.

Sabit basinq nəzarət sistemi

Əşya, aşağı akış sabit basınç idarəetmə sistemi ilə təchiz edilib və hava çıxarım boru şəbəkəsində elektriklə idarə olunan dəyişdirilə bilən klapan quraşdırılmışdır. Film manometri (import hissələri) vasitəsilə bu klapan idarə edilir və vakum odası sabit basınğa çatmaq üçün təmin edilir, bu da proses stabilliyini artırır.

Gaz şəbəkə sistem

Avtomatik uyğunlaşdırma olan iki RF güc mənbəsi.

Xəbərdarlıq sistemi

Təsnifin təhlükəsizliyinə görə tələblər.
Speksifikasiya
Name
Spc
Brand
Nömrə/Set
Qeyd
Çıxarma odası, hava çıxarım boru şəbəkəsi, nəzarət pəncərəsi, rezerv inteqrasiya interfeysi və s.
Standart
JSWN
1
Korroziasız
Karkas, elektrik qabı, sigillər, standart hissələr və s.
Standart
JSWN
1
Etçilma odasının örtüsünü yüksəltmə sistem
Standart
JSWN
1
Korroziasız
Etçilma elektroda və soğutma sistemi
Standart
JSWN
1
Korroziasız
Molekulyar pompa (pompanma sürəti 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Korroziasız
Giriş suş pompa (pompanma sürəti 9 L/s)
XDS-35I
EDWARDS
1
Korroziasız
Mekanik pompa (pompanma sürəti 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Elektrikli nəzarətli kapalı və açılır valv
DCQ-150
JSWN
1
Korroziasız
Hava balqası ilə işləyən dayanma valvi
KF40
JSWN
3
Korroziasız
Filmlə ölçüm
KF16
INFICON
1
Korroziasız
Kütlü müxtəlif idarəetmə üsulu
D07
Sevenstar
4
Korroziasız
hava diaqram vəlvi
1/4" VCR
-
4
Korroziasız
Stainless steel boru, boru birliyi və s.
1/4" VCR
-
4
Korroziasız
RF güc təchizatı / avtomatik uyğunlaşdırıcı
-
Çin(OptionalCROWN1310)
1
RF güc təchizatı / avtomatik uyğunlaşdırıcı
-
Çin(OptionalCROWN1310)
1
Kompleks vakum manometri
ZDF
RB
1
IPC
2U
Çin
1
LCD məşq ekranı
17inci
Çin
1
PLC İdarəetmə Sistemi
S7-200
سیمنز
1
Elektrikli sürət nizamı
Standart
JSWN
1
Soğutma suyunun aşkarlanması və boru nizami
Standart
JSWN
1
Sıxışdırılmış hava aşkarlanması və boru nizami
Standart
JSWN
1
Soğutma dövri su maşını
HX
Çin
1
Ətraflandırma enjeksiya odası
Standart
JSWN
1
Vakuum qapan
SMC
SMC
1
Manevr operator sistem
SMC
SMC
1

Poçt texniki parametr

1. Limit vakuum: Etalonnalma odası 9.0×10-5Pa (Daxili rəmtlilik≤55%)
Enjeksiya nümunə odası 6.0×10-1Pa
2. Etalonnalma materialı: Ⅲ, Ⅴ Material, Si, SiO2 v.s.
3. Etalonnalma sürəti: ~ 1μ/dəq
4. Etalonnalma birləşməsi: ≤±5％(φ125mm diapazonu)
6. Elektrod ölçüsü: φ200mm
Qablaşdırma və Çatdırılma
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
Mallarınızın təhlükəsizliyini daha yaxşı təmin etmək üçün peşəkar, ekoloji cəhətdən dost, rahat və səmərəli qablaşdırma xidmətləri təqdim ediləcək.
Şirkət Profili
Biz 16 il təcrübəyə malik equipment satışında dayandırıq. Sizə Çin dən One-stop Semikonduktor ildəm və arxa əlaqəli Paket Cəmiyyət xətti texniki həll təklif edə bilərik.
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma supplier

Digər məhsullar

Sorğu

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Məxfilik siyasəti

Sorğu Email WhatsApp Top
×

Əlaqəyə keçin