MDICP-5000F Tam Avtomatik ICP aşındırma maşını / Yarımkeçirici avadanlığı İnduktiv Qoşulmuş Plazma , Çin MDICP-5000F Tam Avtomatik ICP Aşınma Maşını / Yarımkeçirici Avadanlıq İnduktiv Qoşulmuş Plazma İstehsalçılar, Təchizatçılar, Fabrika

Product Description

MDICP-5000F Tam avtomatik ICP aşındırma maşını

MDICP-5000F Tam Avtomatik ICP Aşınma Maşını / Yarımkeçirici avadanlığı İnduktiv Birləşdirilmiş Plazma fabriki

İcra xülasəsi

Avadanlıq iki kameralı vakuum sistemidir. Bir kamera enjeksiyon nümunəsi kamerası, digəri isə aşındırma kamerasıdır. Enjeksiyon nümunəsi kamerası ilə aşındırma kamerası arasında vakuum kilidi quraşdırılır və enjeksiyon nümunəsi manipulyator tərəfindən nəql edilir.
Avadanlıqlar əsasən vakuum sistemi, qaz dövrə sistemi, elektrik sistemi, idarəetmə sistemi, soyutma sistemi, filmin qidalanma və qəbulu mexanizmi, siqnalizasiya sistemi və s.

Vakuum sistemi

Sistem 600 L / S nasos sürətinə malik molekulyar nasosdan + aşındırma kamerasını yüksək vakuuma vurmaq üçün nasos sürəti L / s olan idxal edilmiş vakuum quru nasosdan ibarətdir. Molekulyar nasos və aşındırma kamerası arasında elektrik dinamik təzyiq tənzimləyici klapan quraşdırılmışdır. İdxal edilən quru nasos aşındırma kamerasının qabaqcadan nasos nasosu və molekulyar nasosun ön mərhələ nasosudur. Nümunə kamerasını vakuum etmək üçün nasos sürəti L / s olan başqa bir mexaniki nasosdan istifadə edin. Mexanik nasos və vakuum kamerası və molekulyar nasos arasında əlaqə üçün paslanmayan polad körüklərdən istifadə olunur və elektromaqnit pnevmatik blok klapan quraşdırılır.

Daimi təzyiqə nəzarət sistemi

Avadanlıq aşağı axın sabit təzyiqə nəzarət sistemi ilə təchiz olunub və hava çıxaran boru kəmərində elektrik tənzimlənən klapan quraşdırılıb. Film ölçmə cihazının (idxal edilmiş hissələrin) ölçülməsi ilə tənzimlənən klapan, prosesin sabitliyini yaxşılaşdırmaq üçün vakuum kamerasını sabit təzyiqə çatdırmaq üçün idarə olunur.

Daimi təzyiqə nəzarət sistemi

Qaz dövrə sistemi

Avtomatik uyğunlaşdırma ilə iki dəst RF enerji təchizatı.

Alarm sistemi

Avadanlıq üçün təhlükəsizlik tələbləri.

spesifikasiya

ad	Spc	marka	No./Set	Qeyd
Aşınma kamerası, hava çıxaran boru kəməri, müşahidə pəncərəsi, qorunan interfeys və s	standart	JSWN	1	Antikorozif
Çərçivə, elektrik şkafı, möhürlər, standart hissələr və s	standart	JSWN	1
Aşınma kamerasının qapağını qaldırma sistemi	standart	JSWN	1	Antikorozif
Aşındırma elektrodu və soyutma sistemi	standart	JSWN	1	Antikorozif
Molekulyar nasos (nasos sürəti 600 L/s)	FF620/150	KYKY	1	Antikorozif
Quru giriş nasosu (nasos sürəti 9 L / s)	XDS-35I	EDVARDS	1	Antikorozif
Mexanik nasos (nasos sürəti 9 L / s)	TRP-36	BWVAC	1
Elektrik tənzimləyici klapan	DCQ-150	JSWN	1	Antikorozif
Pnevmatik körüklü dayandırıcı klapan	KF40	JSWN	3	Antikorozif
Film ölçən	KF16	İNFICON	1	Antikorozif
Kütləvi axın tənzimləyicisi	D07	Sevenstar	4	Antikorozif
Pnevmatik diafraqma klapan	1/4″VCR	-	4	Antikorozif
Paslanmayan polad boru, boru birləşməsi və s	1/4″VCR	-	4	Antikorozif
RF enerji təchizatı / avtomatik uyğunlaşdırıcı	-	Çin (İsteğe bağlı CROWN1310)	1
RF enerji təchizatı / avtomatik uyğunlaşdırıcı	-	Çin (İsteğe bağlı CROWN1310)	1
Kompozit vakuum ölçmə cihazı	ZDF	RB	1
IPC	2U	Çin	1
LCD sensor ekran	17inch	Çin	1
PLC nəzarət sistemi	S7-200	Siemens	1
Elektrik idarəetmə sistemi	standart	JSWN	1
Soyuducu suyun aşkarlanması və boru kəməri sistemi	standart	JSWN	1
Sıxılmış havanın aşkarlanması və boru kəməri sistemi	standart	JSWN	1
Sirkulyasiya edən su soyutma maşını	HX	Çin	1
Aşınma enjeksiyon kamerası	standart	JSWN	1
Vakuum kilidi	SMC	SMC	1
Manipulyator idarəetmə sistemi	SMC	SMC	1

Poçtun texniki parametri

1. Vakuumu məhdudlaşdırın: aşındırma kamerası 9.0×10-5Pa (Daxili rütubət≤55%)
Enjeksiyon nümunəsi kamerası 6.0×10-1Pa
2. Aşınma materialı: Ⅲ、ⅤMaterial、Si 、SiO2 və s.
3. Aşınma dərəcəsi: ~ 1μ/dəq
4. Aşınma vahidliyi: ≤±5％(φ125mm diapazon)
6. Elektrod ölçüsü: φ200mm

Qablaşdırma və Çatdırılma

Mallarınızın təhlükəsizliyini daha yaxşı təmin etmək üçün peşəkar, ekoloji cəhətdən təmiz, rahat və səmərəli qablaşdırma xidmətləri göstəriləcəkdir.

Profili

Avadanlıqların satışı üzrə 16 illik təcrübəmiz var. Biz sizə Çindən One-stop Semiconductor Front-end və Back end Package Line avadanlıqlarının peşəkar həllini təqdim edə bilərik.