layihə
|
Xüsusiyyətlər
|
sözləri
|
||
1 |
Avadanlıqlara Baxış |
Avadanlığın adı: Tam avtomatik vahid yapışqan hazırlayan maşın
|
||
Avadanlıq modeli: MD-2C2D6
|
||||
Emal vaflisinin spesifikasiyası: 4/6 düymlük standart vaflilərə uyğundur
|
||||
Vahid yapışqanın proses axını: Çiçək səbətinin dilimlənməsi → mərkəzləşdirmə → vahid yapışqan (damlama → vahid yapışqan → kənarın çıxarılması, arxa
yuma) → isti boşqab → soyuq boşqab → səbətin yerləşdirilməsi İnkişaf prosesinin axını: Çiçək səbətinin dilimlənməsi → mərkəzləşdirmə → inkişaf (inkişaf məhlulu → deionlaşdırılmış su, geri yuyulma → azotla qurutma) → isti boşqab → soyuq boşqab → səbətin yerləşdirilməsi |
||||
Ümumi ölçü (təxminən): 2100mm (W) * 1800mm (D) * 2100mm (H)
|
||||
Kimyəvi şkafın ölçüsü (təxminən): 1700(W) * 800(D) * 1600mm (H)
|
||||
Ümumi çəki (təxminən): 1000 kq
|
||||
Dəzgahın hündürlüyü: 1020 ± 50 mm
|
||||
2 |
Kaset qurğusu
|
Miqdarı: 2
|
||
Uyğun ölçü: 4/6 düym
|
||||
Kaset aşkarlanması: mikro açarla aşkarlanması
|
||||
Sürüşmə aşkarlanması: Bəli, əks etdirən sensor
|
||||
3 |
robot |
Miqdarı: 1
|
||
Növ: İki qollu vakuum adsorbsiya robotu
|
||||
Sərbəstlik dərəcəsi: 4-ox (R1, R2, Z, T)
|
||||
Barmaq materialı: keramika
|
||||
Substrat fiksasiya üsulu: vakuum adsorbsiya üsulu
|
||||
Xəritəçəkmə funksiyası: Bəli
|
||||
Yerləşdirmə dəqiqliyi: ± 0.1 mm
|
||||
4 |
Mərkəzləşdirmə vahidi
|
Miqdarı: 1 dəsti
|
İsteğe bağlı optik uyğunlaşdırma
|
|
Hizalama üsulu: mexaniki hizalama
|
||||
Mərkəzləşdirmə dəqiqliyi: ± 0.2 mm
|
||||
5 |
Vahid yapışqan vahidi |
Miqdar: 2 dəst (aşağıdakılar hər bir vahid üçün konfiqurasiyalardır)
|
||
Milin fırlanma sürəti: -5000rpm ~ 5000rpm
|
avara aparan
|
|||
Milin fırlanma dəqiqliyi: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
İş mili fırlanma sürətinin minimum tənzimlənməsi: 1 rpm
|
||||
İş mili fırlanmasının maksimal sürətlənməsi: 20000rpm/s
|
avara aparan
|
|||
Damlama qolu: 1 dəst
|
||||
Fotorezist boru marşrutu: 2 marşrut
|
||||
Fotorezist nozzinin diametri: 2.5 mm
|
||||
Fotorezist izolyasiya: 23 ± 0.5 ℃
|
fakultativ
|
|||
Nəmləndirici başlıq: Bəli
|
||||
RRC: Bəli
|
||||
Bufer: Bəli, 200ml
|
||||
Yapışqan atma üsulu: mərkəzdən atma və skan etmə üsulu isteğe bağlıdır
|
||||
Kənar çıxarma qolu: 1 dəst
|
||||
Kənar çıxarmaq üçün burun diametri: 0.2 mm
|
||||
Kənardan çıxarılan maye axınının monitorinqi: float axını ölçən
|
||||
Kənar çıxaran mayenin axın diapazonu: 5-50ml/dəq
|
||||
Geri yuyulma boru kəməri: 2 yol (hər biri 4 kanallı 6/1 düym)
|
||||
Geri yuyulma axınının monitorinqi: float axını ölçən
|
||||
Geri yuyucu maye axını diapazonu: 20-200ml/dəq
|
||||
Çip fiksasiya üsulu: kiçik sahəli vakuum adsorbsiya Chuck
|
||||
Vakuum təzyiq siqnalı: rəqəmsal vakuum təzyiq sensoru
|
||||
Çəkmə materialı: PPS
|
||||
Kubok materialı: PP
|
||||
Fincan egzoz monitorinqi: rəqəmsal təzyiq sensoru
|
||||
6 |
İnkişaf edən vahid |
Bağlayıcı: bəli
|
||
Miqdar: 2 dəst (aşağıdakılar hər bir vahid üçün konfiqurasiyalardır)
|
||||
Milin fırlanma sürəti: -5000rpm ~ 5000rpm
|
avara aparan
|
|||
Milin fırlanma dəqiqliyi: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
İş mili fırlanma sürətinin minimum tənzimlənməsi: 1 rpm
|
||||
İş mili fırlanmasının maksimal sürətlənməsi: 20000rpm/s
|
avara aparan
|
|||
İnkişaf edən qol: 1 dəst
|
||||
İnkişaf edən boru kəməri: 2 yollu (yelçəkən formalı/sütunlu burun)
|
||||
Tərtibatçı filtrasiyası: 0.2um
|
||||
Tərtibatçının temperatur nəzarəti: 23 ± 0.5 ℃
|
fakultativ
|
|||
İnkişaf edən məhlul axını diapazonu: 100~1000ml/dəq
|
||||
İnkişaf edən qolun hərəkət rejimi: sabit nöqtə və ya tarama
|
||||
Qaynatma qolu: 1 dəst
|
||||
Deionlaşdırılmış su kəməri: 1 dövrə
|
||||
Deionlaşdırılmış su başlığı diametri: 4mm (daxili diametr)
|
||||
Deionlaşdırılmış su axını diapazonu: 100~1000ml/dəq
|
||||
Azot qurutma boru kəməri: 1 dövrə
|
||||
Azot nozzinin diametri: 4mm (daxili diametr)
|
||||
Azot axını diapazonu: 5-50L/dəq
|
||||
Tərtibatçı, deionlaşdırılmış su, azot axınının monitorinqi: float axını ölçən
|
||||
Geri yuyulma boru kəməri: 2 yol (hər biri 4 kanallı 6/1 düym)
|
||||
Geri yuyulma axınının monitorinqi: float axını ölçən
|
||||
Geri yuyucu maye axını diapazonu: 20-200ml/dəq
|
||||
Çip fiksasiya üsulu: kiçik sahəli vakuum adsorbsiya Chuck
|
||||
Vakuum təzyiq siqnalı: rəqəmsal vakuum təzyiq sensoru
|
||||
Çəkmə materialı: PPS
|
||||
Çəkmə materialı: PPS
|
||||
Kubok materialı: PP
|
||||
Fincan egzoz monitorinqi: rəqəmsal təzyiq sensoru
|
||||
7 |
Yapışqan qurğu |
Miqdarı: 2
|
fakultativ
|
|
Temperatur diapazonu: otaq temperaturu ~180 ℃
|
||||
Temperatur vahidliyi: Otaq temperaturu ~120 ℃± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ (Ejektor pin dəliyi istisna olmaqla, kənardan 10 mm çıxarın) |
||||
Minimum tənzimləmə miqdarı: 0.1 ° C
|
||||
Temperatur nəzarət üsulu: PID tənzimlənməsi
|
||||
PİN hündürlüyü diapazonu: 0-20mm
|
||||
PİN materialı: gövdə SUS304, PIN pin qapağı PI
|
||||
Pişirmə boşluğu: 0.2 mm
|
||||
Həddindən artıq temperatur siqnalı: müsbət və mənfi sapma siqnalı
|
||||
Təchizat üsulu: Bubbling, 10 ± 2ml/dəq
|
||||
Kameranın işləmə vakuumu: -5-20KPa
|
||||
8 |
İsti lövhə qurğusu |
Miqdarı: 10
|
||
Temperatur diapazonu: otaq temperaturu ~250 ℃
|
||||
Temperatur vahidliyi: Otaq temperaturu ~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Ejektor pin dəliyi istisna olmaqla, kənardan 10 mm çıxarın) |
||||
Minimum tənzimləmə miqdarı: 0.1 ℃
|
||||
Temperatur nəzarət üsulu: PID tənzimlənməsi
|
||||
PİN hündürlüyü diapazonu: 0-20mm
|
||||
PİN materialı: gövdə SUS304, PIN pin qapağı PI
|
||||
Pişirmə boşluğu: 0.2 mm
|
||||
Həddindən artıq temperatur siqnalı: müsbət və mənfi sapma siqnalı
|
||||
9 |
Soyuq boşqab qurğusu
|
Miqdarı: 2
|
||
Temperatur diapazonu: 15-25 ℃
|
||||
Soyutma üsulu: sabit temperaturda dövriyyə nasosunun soyudulması
|
||||
10 |
Kimyəvi Təchizat |
Fotorezist anbarı: pnevmatik yapışqan pompası * 4 dəst (İstəyə görə çən və ya elektrik yapışqan pompası)
|
||
Yapışqan paylama həcmi: hər seans üçün maksimum 12ml, dəqiqlik ± 0.2ml
|
||||
Kənarın çıxarılması/arxa yuyulması/RRC təchizatı: 18L təzyiq çəni * 2 (avtomatik doldurma)
|
||||
Kənarın çıxarılması/arxa yuyulması/RRC maye səviyyəsinin monitorinqi: fotoelektrik sensor
|
||||
Fotorezist maye səviyyəsinin monitorinqi: fotoelektrik sensor
|
||||
Vahid yapışqan tullantı mayesinin axıdılması: 10L tullantı maye çəni
|
||||
Tərtibatçı təchizatı: 18L təzyiq çəni * 4 (Maşın xaricində kimyəvi şkafda saxlanılır)
|
||||
Deionlaşdırılmış su təchizatı: zavodun birbaşa təchizatı
|
||||
Maye səviyyəsinin monitorinqinin inkişafı: fotoelektrik sensor
|
||||
Tərtibatçı tullantılarının axıdılması: zavod tullantılarının atılması
|
||||
Yapışqan təchizatı: 10L təzyiq çəni * 1, 2L təzyiq çəni * 1
|
||||
Yapışqan səviyyəsinin monitorinqi: fotoelektrik sensor
|
||||
11 |
nəzarət sistemi |
Nəzarət üsulu: PLC
|
||
İnsan maşınının işləmə interfeysi: 17 düymlük sensor ekran
|
||||
Fasiləsiz Enerji Təchizatı (UPS): Bəli
|
||||
Cihaz operatorları, texniklər, idarəçilər üçün şifrələmə icazələrini təyin edin
|
||||
Siqnal qülləsinin növü: qırmızı, sarı, yaşıl 3 rəng
|
||||
12 |
Sistemin etibarlılıq göstəriciləri
|
İş vaxtı: ≥95%
|
||
MTBF: ≥ 500 saat
|
||||
MTTR: ≤ 4 saat
|
||||
MTBA: ≥24 saat
|
||||
Parçalanma dərəcəsi: ≤ 1/10000
|
||||
13 |
Digər funksiyalar
|
Sarı işıq: 4 dəst (mövqe: yapışqan qarışdırma və inkişaf bölməsinin üstündə)
|
||
THC: Bəli, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
fakultativ
|
|||
FFU: Class 100, 5 dəst (proses bloku və ROBOT sahəsi)
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bütün hüquqlar qorunur