NÖV |
MDPS-560 II |
||
Əsas Sputtering Kamerası |
piriform vakum kamerası, ölçüləri:Φ560×350mm |
||
Nümunə Təqdim Kamerası |
silindrik və horizontal növ, ölçüləri: Φ250mm×420mm |
||
Nasos sistemi |
Əsas sputtering kamerası və nümunə təqdim kamerası üçün müstəqil birləşmiş molekulyar pompa və mexaniki pompa quruluşu. |
||
Ən Yaxşı Vakum |
Əsas Sputtering Kamerası |
≤6.67×10-6Pa (peykarlıq və deqasifikasiya sonra) |
|
Nümunə Təqdim Kamerası |
≤6.67×10-4Pa (peykarlıq və deqasifikasiya sonra) |
||
Vakuumu yenidən qazanma vaxtı |
Əsas Sputtering Kamerası |
Hava ilə yaxın müddətli əlaqədən sonra ve sux azot ilə dolunduktan sonra 40 dəqiqədən sonra 6.6×10-4Pa |
|
Nümunə Təqdim Kamerası |
Hava ilə yaxın müddətli əlaqədən sonra ve sux azot ilə dolunduktan sonra 40 dəqiqədən sonra 6.6×10-3Pa |
||
Magnetron Hədəf Modulu |
5 daimi magnit hədəfi; ölçüsü Φ60mm (hədəflərdən biri ferromagnit material sputter edə bilər). Bütün hədəflər RF sputter edə bilər və DC sputter uyğun olaraq; hədəf və nümunə arasında olan məsafə 40mm-dən 80mm-ə qədər ayarlanır. |
||
Su-soğutmalı Substrat İstişva Döyüş Cədvəli |
Substrat Strukturu |
Alt istasyon, bir istasyonda isıqlaşdırma fırınına yerləşdirilir və digərləri su soğutmalı substrat istasyonudur. |
|
Ölçü |
Φ30mm, alt şəkil. |
||
Hərəkət növü |
0-360°, əksinə hərəkət. |
||
isitma |
Maksimum temperatur 600℃±1℃ |
||
Substrat negativ predispozisiya |
-200V |
||
Gaz şəbəkə sistem |
2-yollı Massa Akyun Controller (MFC) |
||
Nümunə Təqdim Kamerası |
Nümunə kamerası |
Altı nümunə bir dəfəlik |
|
Annealer |
Ən yüksək istilik temperaturu 800℃±1℃ |
||
Yenidən şərət modulu |
Yenidən şərət təmizləməsi |
||
Magnet Nümunə Göndərmə Sistemi |
Şərət otağı və nümunə daxil etmə otağı arasında nümunənin köçürülmesi üçün istifadə olunur. |
||
Kompüter İdarəetmə Sistemi |
Nümunənin fırlanması, perde açılıb-bağlanması və şərət pozisiyası idarəetməsi |
||
Torpaq işğal edilir |
Əsas Qurulum |
2600×900mm2 |
|
Elektrik şifonjusu |
700×700mm2 (iki qrup) |
||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
