1.Şəkilçilik növü: iki tərəflidir.
2.Şəkilçilik sahəsi: 110×110mm.
3.Şəkilçilik aydınlanmasının nötral olması: ≤±3%.
4.Şəkilçilik güclü:0-30mw/cm2 ayarlanır.
5.UV şaquli bucağı: ≤3°.
6.Ultrafiolet ışığının orta dalgıncığı:365nm.
7.UV işıq mənbəyi ömrü: ≥500 saat.
8.Elektронik şəkirdirici istifadə edilir.
9.Şəkilçilik həlləndirici:1 μm;
10. Mikroskopik tarayış diapazonu: X:±15mm Y:±15mm;
11. Düzəşmə diapazonu: X,Y düzəliş ±4mm; Q-yönlü düzəliş ±3°;
12. Gravür dəqiqliyi: 1 μ İstifadəçinin "versiyası" və "çip"-i milli qaydaları ödətməlidir,
və mühit, temperatur, rütubət və toz səviyyəsi striktnə olaraq idarə edilir. İdxal olunan pozitiv fotoresist istifadə olunur və foton resistan nəticəsindən kəskin qatıqlıq b o striktnə olaraq idarə edilir. Bundan başqa, ildən ildə proseslər güclüdür;
13. Ayırma miqdarı: 0~50 μm ayarlanabilir;
14. Təsir üsulu: yaxın təsir, bu da qorxucu əlaqə, yumşaq əlaqə və mikro qüvvəli əlaqəni təmin edir; 15. Kvadrat tapma formula: hava