Bu avadanlıq şirkətimiz tərəfindən xüsusi olaraq müxtəlif kollec və tədqiqat müəssisələrində litoqrafiya maşınlarının istifadə xüsusiyyətləri üçün hazırlanmış dəqiq litoqrafiya maşınıdır. Əsasən kiçik və orta ölçülü inteqral sxemlərin, yarımkeçirici komponentlərin, optoelektronik cihazların və səthi akustik dalğa cihazlarının hazırlanması və istehsalı üçün istifadə olunur.
spesifikasiya
Əsas texniki parametrləri
1. Cihaz 5 "X5" kvadrat maskanı vakuumla adsorbsiya edə bilər, boşqabın qalınlığına (1-dən 3 mm-ə qədər) xüsusi tələblər qoyulmur. 2. Cihaz ф 100 mm dairəvi substrata tətbiq oluna bilər; 3. Substratın qalınlığı ≤ 5mm; 4. İşıqlandırma: İşıq mənbəyi: GCQ350Z ultra yüksək təzyiqli civə daimi cərəyanlı civə lampası istifadə olunur. İşıqlandırma diapazonu: ≤ ф 117mm Ekspozisiya sahəsi: ф 100mm qalmaq ф 100 mm diapazonda ekspozisiya qeyri-bərabərliyi ≤ ± 3%, ekspozisiya intensivliyi isə>6 mw/sm2-dir (bu göstərici UB işıq mənbəyi I-line 365nm istifadə edərək ölçülür). 5. Bu cihaz dəqiq və etibarlı işləməyi təmin edərək, pnevmatik bağlamaya nəzarət etmək üçün idxal edilmiş vaxt relesini qəbul edir. 6. Bu maşın aşağıdakılara nail ola bilən kontakt ekspozisiya maşınıdır: 7. Sərt kontakta məruz qalma: Yüksək vakuum kontaktı əldə etmək üçün boru kəməri vakuumundan istifadə edin, vakuum ≤ -0.05MPa 8. Yumşaq kontakta məruz qalma: Kontakt təzyiqi vakuumu -0.02MPa ilə -0.05MPa arasında qaldıra bilər. 9. Mikro kontakta məruz qalma: yumşaq kontaktdan az, vakuum ≥ -0.02MPa. 10. Ekspozisiya ayırdetmə dərəcəsi: Bu cihazın sərt təması ilə bağlı məruz qalma icazəsi 1 μ m-dən yuxarıya çata bilər (istifadəçinin "plastinka" və "çip"inin dəqiqliyi milli qaydalara uyğun olmalıdır və ətraf mühit, temperatur, rütubət və toz İdxal olunan müsbət fotorezist istifadə olunur və vahid fotorezistin qalınlığı ciddi şəkildə idarə oluna bilər. 11. Hizalanma: Müşahidə sistemi iki tək boru mikroskopuna quraşdırılmış və video kabel vasitəsilə displey ekranına qoşulmuş iki CCD kameradan ibarətdir.
Qablaşdırma və Çatdırılma
Profili
Avadanlıqların satışı üzrə 16 illik təcrübəmiz var. Biz sizə Çindən One-stop Semiconductor Front-end və Back end Package Line avadanlıqlarının peşəkar həllini təqdim edə bilərik.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
YOX
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
