Bu texnika müxtəlif kollej və tədqiqat institutlarında litografi maşınlarının istifadə xüsusiyyətləri üçün bizim tərəfindən yaradılmış dəqiqlikli bir litografi maşınıdır. Əsasən kiçik və orta ölçülü inteqrallı devreler, semiqonduktor elementləri, opto-elektron aparatlar və sərfiyyat dalgaları cihazlarının inkişafı və üzməsi üçün istifadə olunur.
Speksifikasiya
Əsas Texniki Parametrlər
1. Əsaslı Cihaz, lövhənin qalınlığı üçün xüsusi tələblər olmadan (1 ilə 3 mm arasında) 5 "X5" kvadrat maska vakuumla əskik edə bilər. 2. Ərdoğan Qeyri-müəyyən edilmiş ölçmələr 3. Qoyun. Substrat qalınlığı ≤ 5 mm; 4. Qoyun. İşıqlandırma: İşıq mənbəyi: GCQ350Z ultra yüksək təzyiqli birbaşa cərəyan cərəyan lampası istifadə olunur. İşıq aralığı: ≤ ф 117mm stay ф 100 mm aralığında məruz qalma qeyri-bərabərliyi ≤ ± 3% və məruz qalma intensivliyi> 6mw/cm2 (bu göstərici bir UV işıq mənbəyi ilə ölçülür I-line 365nm). 5. Qoyun. Bu cihaz pnevmatik şüşəni idarə etmək üçün idxal edilmiş bir zaman reləsini qəbul edir, dəqiq və etibarlı bir əməliyyat təmin edir. 6. Qoyun. Bu maşın təmas məruzət maşınıdır və aşağıdakıları əldə edə bilər: 7. Yeddi. Sərt təmas məruz qalması: Yüksək vakuum təmas əldə etmək üçün boru kəmərində vakuum istifadə edin, vakuum ≤ -0,05MPa 8. Yumuşaq kontakt açıqlaması: Kontakt basıncı vakuumu -0.02MPa və -0.05MPa arasına qaldırmaq olar. 9. Mikro kontakt açıqlaması: yumuşaq kontaktdan az, vakuum ≥ -0.02MPa. 10. Açıqlama qatıqlığı: Bu cihazın sert kontakt açıqlaması 1 μ m-dən yuxarı qatıqlığa çatmaq olar (istifadəçinin "plaka" və "çip"-in milli normativlərə uyğun olması lazımdır, çevrə, temperatur, rütubət və toz striktnə dəstəklənir. İdxal edilən pozitiv fotoresist istifadə olunur və foton resistinin bərabər kalinliyi striktnə dəstəklənir. Bundan əlavə, əvvəlki və sonrakı proseslər təcili-dir). 11. Düzgünləşdirilmə: Gözləmə sistemi, video kabeli vasitəsi ilə göstərildik ekranla bağlı iki mikroskop unvanda yerləşdirilmiş iki CCD kameradan ibarətdir.
Qablaşdırma və Çatdırılma
Şirkət Profili
Biz 16 il təcrübəyə malik equipment satışında dayandırıq. Sizə Çin dən One-stop Semikonduktor ildəm və arxa əlaqəli Paket Cəmiyyət xətti texniki həll təklif edə bilərik.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
