Əsasən kiçik və orta ölçülü intellektual şəbəkələrin, polüsilikon komponentlərinin, optoelektron aletlərinin, sərfiyyat akustik dalgalarının, rəqəmsal şəbəkələrin və elektron güc aletlərinin inkişaf və ümumi istifadəsi üçün istifadə olunur. Bu makinə iki tərəfli əlaqəli açıq makinədir, xüsusi şəkildə dizayn edilmiş bir yenidən çap mekanizması ilə donanmışdır ki, bu da subtrat楔 xətalarını silməyə imkan verir və subtratın üst və alt tərəflərindəki maskalar arasındakı yaxşı əlaqəni təmin edir, beləliklə, subtratın üst və alt tərəflərindəki açıq keyfiyyəti təmin edilir.