1. Açığa çıxarılma növü: əlaqəli növ, plaka uzlaşdırılması, iki tərəflərdən yeganə açığa çıxarılma
2. Təsir sahəsi: 110X110mm;
3. Təsir ümumiyyəti: ≥ 97%;
4. Təsir inkişafiyyəti: 0-30mw/cm2 ayarlanır;
5. UV şaquli bucağı: ≤ 3 °
6. Ultraviiolet işıqın orta dalğanın uzunluğu: 365nm;
7. UV şüa mənbəyi ömrü: ≥ 20000 saat;
8. İşləmə səthi temperaturu: ≤ 30 ℃
9. Elektron persiana istifadə olunur;
10. İstifadə hissəzi: 1 μ M (istifadə derinliyi xettin enindən 10 dəfə çoxdur)
11. İstifadə rejimi: İki tərəfdən eyni anda istifadə
12. Düzgünləşdirilən diapazon: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Tablo düzgünlaşdırma doğruluğu: 2 μ m
14. Dönmə diapazonu: Q-yönündə dönmə ayarlama ≤ ± 5 °
15. Mikroskop sistem: iki görən sahəli CCD sistem, obyektiv lent 1.6X~10X, kompüterli şəkil işləmə sistemi, 19 "LCD monitor; ümumi böyütmə 91-570x
16. Mask ölçüsü: 5 "kvadrat maskaları vakumla emə bilən, maskın qalınlığı üçün xüsusi tələb yoxdur (1-dən 3mm diapazonunda).
17. Substrat ölçüsü: 4 "substratlar üçün uyğun, substrat qalınlığı 0.1-dən 2mm diapazonunda dəyişir.
18. Sifariş edərkən xüsusi tələblər yoxdur və 5" X5 raf standartdır; 5" X5-dən aşağı rafları müştərilər təyin edə bilərlər: