Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

baş səhifə
Biz haqqında
MH Texnikası
Həll
Dünya Genişləndən İstifadəçilər
Video
Əlaqə
Ev> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • PECVD Plazma əməliyyatlı kimyəvi buxar depozisiyası texniki təchizatı / Yüksək temperaturdakı PECVD əməliyyatı
  • PECVD Plazma əməliyyatlı kimyəvi buxar depozisiyası texniki təchizatı / Yüksək temperaturdakı PECVD əməliyyatı
  • PECVD Plazma əməliyyatlı kimyəvi buxar depozisiyası texniki təchizatı / Yüksək temperaturdakı PECVD əməliyyatı
  • PECVD Plazma əməliyyatlı kimyəvi buxar depozisiyası texniki təchizatı / Yüksək temperaturdakı PECVD əməliyyatı
  • PECVD Plazma əməliyyatlı kimyəvi buxar depozisiyası texniki təchizatı / Yüksək temperaturdakı PECVD əməliyyatı
  • PECVD Plazma əməliyyatlı kimyəvi buxar depozisiyası texniki təchizatı / Yüksək temperaturdakı PECVD əməliyyatı

PECVD Plazma əməliyyatlı kimyəvi buxar depozisiyası texniki təchizatı / Yüksək temperaturdakı PECVD əməliyyatı

Məhsul Təsviri

PECVD Plasma güclü kimyəvi buhar idman təchizatı

◆ Süreç vaxtı, temperatur, qaz akımı, pulpa funksiyaları və reaksiya odasının basinqinin tamamilə dəstək olunması
endüstriyal kompüter ilə realizə edilir.
◆ İthal edilmiş basınç idarəetmə sistemi və bağlanan çevrə sistemindən istifadə olunur, yüksək stabilliklərə malikdir.
◆ İthal edilmiş korrozziya-qarşı stainless çelik boru elementləri və kranlar istifadə olunur, bu da gaz şəbəkəsinin yaqınlaşmasını təmin edir.
◆ Müşkünlüksüz alarm funksiyasına və təhlükəsizlik blokada cihazına sahibdir.
◆ Üst temperatur alarmı və aşağı temperatur alarmı, MFC alarmı, reaksiya odasının basınç alarmı, RF alarmı, aşağı sığırma hava basınç alarmı, aşağı N2 basınç alarmı və aşağı soğutma suyu akış alarmına malikdir.
◆ Var olan PECVD-upgrade edildikdən sonra SiO2 filmi böyütmə funksiyasına malikdir, bu da battarya modulu üçün PID məsələsini həll edir. SiNxOy filmi böyülməsi mümkündür (arxa passivasiya prosesi), bu isə battariyanın çevrilmə effektivliyini böyük dərəcədə artırır.
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process supplier
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process details
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory

NÖV

◆ Yükləmə miqdarı: 384 hissə/tekə (125 * 125); 336 hissə/tekə (156 * 156)
◆ Tozluq masası nəzarəti: 100 Sinif (10000 Sinif fabrika)
◆ Avtomatlaşdırma dərəcəsi: temperatur və prosesin avtomatik idarəetməsi.
◆ Çip göndərmə və alım rejimi: yumşaq iniş növü, stabillik və güvəndlilik xüsusiyyətləri ilə, sürüşmə yoxdur, dəqiqlikli pozision, böyük yüklənici gücü və uzun istifadə müddəti.
Speksifikasiya
Maksimum yükləmə ədədi (hər tübəyə görə)
384 adet/tekə (125*125)
336 adet/tekə (156*156)
Proses indeksi
Tabletdə ± 3%, tabletlər arasinda ± 3%, partiyalar arasinda ± 3%
işləmə temperaturu
200~500℃
Temperatur bölgəsinin dəqiqliyi və uzunluğu (statik bağlı tüb testi)
1200mm±1℃
Gaz akışının dəqiqliyi
± 1% FS
Hava dövrəsi sisteminin hava sıxlığı
1 × 10-7Pa.m3/S
İdarəetmə
Tam idxal edilmiş avtomatik təzyiq bağlanmış döngə tənzimləmə sistemi, reaksiya vakuumunun dəqiq idarə edilməsi; 40KHz yüksək tezlik güc
təchizat; gəmi quruculuğu; tam rəqəmsal nəzarət, mükəmməl və təhlükəsiz proses nəzarəti qorunması.
1 boru, 2 boru, 3 boru və 4 boru isteğe bağlıdır; Avtomatik yükləmə manipulyatoru isteğe bağlıdır və avadanlıqların performansı
və proses performansları dünyanın ən yaxşı oxşar avadanlıqları ilə müqayisə edilə bilər.
Qablaşdırma və Çatdırılma
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process manufacture
Mallarınızın təhlükəsizliyini daha yaxşı təmin etmək üçün peşəkar, ekoloji cəhətdən dost, rahat və səmərəli qablaşdırma xidmətləri təqdim ediləcək.
Şirkət Profili
Biz 16 il təcrübəyə malik equipment satışında dayandırıq. Sizə Çin dən One-stop Semikonduktor ildəm və arxa əlaqəli Paket Cəmiyyət xətti texniki həll təklif edə bilərik.

Sorğu

Sorğu Email WhatsApp Top
×

Əlaqəyə keçin