MDAM-CMP100/150 dəqiqlik şəhərələnmiş və pələng makinasi, əsas blok və bütün rezerv hissələri yüksək korrozziya dayanıqlı materiallardan hazırlanmışdır. Butun makinə korrozziyaya, istirahətsizlikə, xərçəndləşməyə və qarxiya dayanıqlıdır, müxtəlif semi-kondüktor materiallarının kimyəvi-mexaniki şəhərələnməsi və pələngi üçün uyğundur. İş sahəsi ekran idarəetmə sahəsindən ayrıldır və mənşəyə toxunma sistemindən istifadə edərək rəqəmsal olaraq idarə olunur. Bu CNC ilə idarə olunur, saxlanılır və axtarılır.
Qurğunun sistemi vaxt ayarlama funksiyasına malikdir, 10 saat davamlı işləyə bilər və pələng diskinin sürətini idarə edə bilər. Idarə paneli iş sahəsindən xaricdə yerləşdirilmişdir, bu da idarə panelinə qarışığın sıxmaqdan qoruyur. Ana cihazın bütün parametrləri məsləhət ekranında düzəldilə bilər. Ana cihazın proses parametrləri saxlama və alma funksiyalarına malikdir, bu da prosesin birləşməsini və təkrarlanmasını təmin edir. Wafer nümunəsi vakumla fiksaturanın alt səthində adsorbiya olunur, vakumluq üçün yağsız vakum pompa ilə donatılmışdır və müstəqil anti-terse suksiyon funksiyasına malikdir.
Qurğunun konfiqurasiya nümunəsi, yatay fırlatma sistemi ilə donanıb və salınış funksiyasına malikdir, salınış diapazonu 0-100% dərəcədə ayarlanıblıdır. Salınış amplitudu və sığışlıq sürəti idarə paneli vasitəsilə doğru şəkildə təyin edilə bilər. Qurğu fırlatma üçün mütəmadi sürət sistemilə donanıb, sürət diapazonu 0-120obr/min dərəcəsində ayarlanıblıdır. Bu funksional dizayn, ocaqlama və cilalama prosesində nümunənin tamamilə salınırlıq ilə cilalanmasını təmin edir və texnikanın cilalama imkanlarını və effektivliyini böyük dərəcədə artırır.
Qurğu, 1 μ m monitорinq dəqiqliyi olan rəqəmsal kənclik monitöring cədvəli ilə donanıb. Qurğunun vafer nümunəyə təsiri məxarici dərəcədə ayarlanıblıdır, məxaric diapazonu 0-3.5kg və 2g/cm² dəqiqliyi ilə donanıb və məxaric ölçmə cihazıyla təchiz olunub.
Ərəz və poçirma diskinin işləməsi əsas sürücü tərəfindən idarə olunur və disk sürəti dəqiqədə 0-dan 120 revolyusiyə qədər dəyişdirilə bilər. Bu sürət dəyişikliyi aralığı, fərqli sertlik və ölçülü materialların ərəz və poçırmasını etibarlı şəkildə təmin edir və daha yüksək proses göstəricilərinə çatmağa kömək edir. Ərəz və poçirma disklərinin əvəzlənməsi sadə və sürətlidir,镶嵌disklərlə cihazın ərəz prosesindən poçırma prosesinə sürətən keçməsinə imkan verir, bu da proses vaxtını böyük dərəcədə azaltır. Əlavə olaraq, ərəz diski düzgünlüyünü saxlamaq üçün düzeltmə bloku ilə donatılmışdır.