Tez Termal İşləm Masaüstü RTP Sistemi birləşmiş polüsilikonlar üçün SlC LED və MEMS , China Tez Termal İşləm Masaüstü RTP Sistemi birləşmiş polüsilikonlar üçün SlC LED və MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Məhsul Təsviri

Sürətli Termal İşləmə

Müxtəlif polümer vətərlər üçün güvəndirici RTP texnikası、SlC、LED və MEMS

Sənaye tətbiqləri

* Oksid, nitrid nəməsi
* Ohmic əlaqə sürətli alüy
* Silisid alüyinin temperaturu
* Oksidasiya reflux
* Galium arsenid prosesi
* Digər sürətli istifadə prosesləri

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS details

Məhsulun Üstünlükləri

1. Proses diapazonu 200-1250 ℃-a çatır
2. Güclü temperatur sahə idarəetmə sistemi
3. Mükafatlı RTP alqoritmi
4. Profesional TC Wafer kalibrasiya aləti

Xüsusiyyət

* Infrəqırmızı halogen lampetib istifadəsi, soğutma hava soğutması ilə edilir;
* Lampin gücündə PlD temperaturu idarəedici, temperaturun yüksəlməsini dəqiqliklə əhatədə saxlayır, yaxşı təkrarlanabilirliyi və temperaturun birləşməsini təmin edir;
* Materialın giriş nöqtəsi WAFER səthində qoyulub ki, anneyalama prosesində soğuq nöqtələrin yaranmasını mənədir və məhsulun yaxşı temperatur birləşməsini təmin edir;
* Hər iki atmosferik və vakuum üsulları seçilməsi mümkündür, əsasda peş-əməli və toxumlaşdırma olunur;
* İki proses gazu standartdır və 6 proses gasına qədər artırılabilir;
* Ölçünilə biləcək maksimum birinci kristal silikon nümunənin ölçüsü 12incidir (300x300MM);
* Safe temperaturun açılışını müdafiə etmək, temperaturu idarəetmənin açılışını icazə vermək və texniki əsasların acil dayandırılması üçün təhlükəsizlik əməliyyatları tamamilə yerinə yetirilir ki, aparatın təhlükəsizliyini təmin etsin;

20-dərəcəli krivulların üxsəyi

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS manufacture

850 ℃-də temperaturu idarə etmək üçün 20 krivu

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS factory

20 orta temperatur krivullarının üxsəyi

1250 ℃ temperatur idarəetmə

Rapid Thermal Processing Desktop RTP System for compound semiconductors SlC LED and MEMS supplier

RTP temperaturu idarəetmə 1000 ℃ prosesi

960 ℃ prosesi, infraqırmızı pirometr tərəfindən idarə olunur

LED proses məlumatları

RTD Wafer, xüsusi işləmə üsullarından istifadə edərək waferin səthindəki müəyyən yerlərdə temperatur sensörəri (RTDs) qoymaqla waferin səth temperaturlarını real vaxt-da ölçməyə imkan verir.
Waferin səthindəki müəyyən yerlərdə həqiqi temperatur ölçümləri və waferin ümumi temperatur dastrıbuciyası RTD Wafer vasitəsi ilə alınabilir; Bu, istifadəçilərə istilik əməliyyatı prosesində waferlərdəki tranziensi temperatur dəyişikliklərinin təkrarlı izlənməsinə də imkan verir.

Fabrik görünüşü

Şirkət Profili

təchizat eksportunda 16 illik təcrübə! Sizə bir-məntə Semiconductor Front End / Back end Prosesləri və Təchizat üçün kompleks həlləri təklif edə bilərik!