Məhsul |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Məhsulun ölçüsü |
≤6 inc |
≤8 inc |
≤8 inc |
||
RF güc mənbəyi |
0-300W/500W/1000W Ayarlanır, avtomatik uyğunlaşdırma |
||||
Molekulyar pompa |
-/620(L/s)/1300(L/s)/Custom |
Antiseptik620(L/s)/1300(L/s)/Custom |
|||
Əvvəlki pompa |
Mekanik pompa/yuxarı pompa |
Yuxarı pompa |
|||
Proses basıncı |
Nəzarətsiz basınç/0-1Torr nəzarətli basınç |
||||
Qaz Tipi |
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Custom (Ən çox 9 kanal, hər hansı kəsilməz və zehirli qaz yoxdur) |
H2⁄CH4⁄O2⁄N2⁄Ar⁄F6⁄CF4⁄ CHF3⁄C4F8⁄NF3⁄Cl2⁄BCl3⁄HBr (Ən çox 9 kanal) |
|||
qaz aralığı |
0~5sccm⁄50sccm⁄100sccm⁄200sccm⁄300sccm⁄500sccm⁄üzvləşdirilən |
||||
YüklüQapı |
Bəli/Hayır |
Bəli |
|||
Nümunə temperaturu idarəetməsi |
10°C~Otaq temperatürünə⁄-30°C~100°C⁄Üzvləşdirilən |
-30°C~100°C⁄Üzvləşdirilən |
|||
Arxa helium soğutma |
Bəli/Hayır |
Bəli |
|||
Proses maşınçısı kaplama |
Bəli/Hayır |
Bəli |
|||
Maşınçısının divarları temperaturu idarəetməsi |
Yox/Dövri~60/120°C |
Dövri temperatur-60/120°C |
|||
İdarəetmə Sistemi |
Avtomatik/təyin edilmiş |
||||
Ətirəl material |
Silikon əsaslı: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Magnet material/alloy material Metal material: Ni/Cr/Al/Au..... Organik material: PR/PMMA/HDMS/Organik filmler...... |
Silikon əsaslı: Si/SiO2/SiNx...... III-V (qeyd 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (qeyd 3): CdTe...... Magnet material/alloy material Metal material: Ni/Cr/A1/Au...... Organik material: PR/PMMA/HDMS/organik filmler... |
|||
Ətirəz maddələrindən (məsə, bəzi metallar (məsə, Ni/Cr) və keramiklər) ətirəz prosesinə tətbiq edilir və materialın model etçilmesi fiziki bombordaj vasitəsilə realizə olunur. |
Bu cihaz fotoresist (PR)/PMMA/HDMS/polimer kimi organik birləşiklərin ətirəz və silinməsi üçün istifadə olunur |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
