maddə | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Product ölçüsü | ≤6 düym | ≤8 düym | ≤8 düym | ||
RF enerji mənbəyi | 0-300W/500W/1000W Tənzimlənən, avtomatik uyğunlaşma | ||||
Molekulyar nasos | -/620(L/s)/1300(L/s)/Xüsusi | Antiseptik620(L/s)/1300(L/s)/Xüsusi | |||
Ön xətt nasosu | Mexanik nasos/quru nasos | Quru nasos | |||
Proses təzyiqi | Nəzarət olunmayan təzyiq/0-1Torr idarə olunan təzyiq | ||||
Qaz növü | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Xüsusi (9 kanala qədər, aşındırıcı və zəhərli qaz yoxdur) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Qaz diapazonu | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Hə Yox | bəli | |||
Nümunə nəzarəti | 10°C~Otaq temperaturu/-30°C~100°C/Xüsusi | -30°C~100°C /Xüsusi | |||
Arxa helium soyutma | Hə Yox | bəli | |||
Proses boşluğunun astarlanması | Hə Yox | bəli | |||
Boşluq divarına nəzarət | No/Otaq otağı ~60/120°C | Otaq temperaturu -60/120°C | |||
Control System | Avtomatik/fərdi | ||||
Aşınma materialı | Silikon əsaslı: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Maqnetik materiallar/alaşımlı materiallar Metal material: Ni/Cr/Al/Au. Üzvi material: PR/PMMA/HDMS/Üzvi film. | Silikon əsaslı: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Maqnetik materiallar/alaşımlı materiallar Metal material: Ni/Cr/A1/Au. Üzvi material: PR/PMMA/HDMS/üzvi film. |
Mikrodalğalı cihazlar, güc cihazları və s. üçün uyğundur.
Minder-High-tech Reactive Ion Eching (RIE) maşını müxtəlif növ materialları inanılmaz dəqiqliklə aşındıra və təhlil edə bilən ən müasir texnologiya parçasıdır. Bu maşın müntəzəm olaraq mikrofabrikasiya və ya aşındırma tələb olunan müxtəlif sənaye sahələrində istifadə üçün nəzərdə tutulmuşdur. Yüksək keyfiyyətli materiallardan hazırlanmışdır ki, bu da onu davamlı, etibarlı və əla nəticələr verə bilir.
RF plazma generatoru ilə təchiz edilmiş effektivdir. RIE sistemi qidalandırıcı benzindən plazma əldə etmək üçün induktiv bir birləşmədən istifadə edir. Bu texnika yüksək sıxlıqlı plazma yaradır və məhsulla əlaqəli aşındırma sürətini artırır. RIE maşınının aşındırma prosesi effektiv, dəqiq və yüksək səviyyədə idarə oluna bilir, bu da yerinə yetirilməli olan dərinliyə imkan verir. Bu xüsusiyyət unikaldır, tədqiqat və ya sənaye işləri üçün əla seçimdir.
Maşın mikroelektronika, MEMS istehsalı və yarımkeçirici istehsalı da daxil olmaqla geniş çeşidə malikdir. Bu maşın yarımkeçirici sənayesində silisium, qallium arsenid və germanium kimi yarımkeçirici materialların aşındırılmasında və mikro emalında mühüm rol oynayır. Minder-High-tech RIE cihazı əlavə olaraq MEMS sənayesində poliimid, silikon dioksid və silikon nitrid kimi sərt olan yumşaq və materialların istehsalı üçün yaradılmışdır. Bundan əlavə, elektron olan xidmətlər və məhsullarla əlaqəli sənayelərdə uğursuzluqların təhlili üçün əlçatandır.
İstifadəsini asanlaşdıran müxtəlif xüsusiyyətlər daxildir. Bu, operatorun cihazda istifadə olunan aşındırma parametrləri üzərində tam nəzarəti təmin edən istifadəçi dostu proqramdır. Maşın parametrləri daxili yaddaşda saxlanılır, 100-dən çox parametr dəstini saxlaya bilər. Onun ekranı operatora qazın hərəkəti, gücün qalınlığı və təzyiqi kimi parametrləri təyin etməyə imkan verən bir toxunuşa malikdir. Minder-High-tech RIE maşını, həmçinin materialların lazımi temperaturda həkk olunmasını təmin edən və onların zədələnməsini dayandıran temperatur nəzarət funksiyasına malikdir.
Etibarlı və effektiv maşın tələb edən şirkətlər üçün mükəmməldir, dəqiq və dəqiq nəticələr verə bilər. Bu cihaz ən yüksək texnologiya ilə hazırlanmışdır və bir çox səviyyəyə malikdir. Onun çox yönlülüyü və istifadəçi dostu xüsusiyyətləri onu müxtəlif sektorlar üzrə çox yaxşı tədqiqat və sənaye tətbiqləri seçimi edir.
O, həmçinin maşına istənilən mexaniki problemləri mümkün qədər tez aşkar etməyə və düzəltməyə imkan verən səmərəli nasazlıq təhlili sisteminə malikdir. Bu sistem RIE maşınının bütün ömrü boyu yüksək keyfiyyət və etibarlılığı saxlamasını təmin edir. Dəqiq və səmərəli aşındırma və ya mikrofabrikasiya tələb edən istənilən sənaye üçün Minder-High-tech RIE maşını mükəmməl həlldir.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bütün hüquqlar qorunur