Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Əsas səhifə
Bizim haqqımızda
MH Avadanlıqları
Həll
Xarici İstifadəçilər
Video
Əlaqə
Ana səhifə> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili
  • Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili
  • Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili
  • Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili
  • Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili
  • Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili
  • Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili
  • Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili
  • Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili
  • Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili
  • Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili
  • Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili

Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili Azərbaycan

Product Description 
Reaktiv ion aşındırma sistemi
Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Failure analizi təchizatçısı
Ərizə
Passivasiya təbəqəsi: SiO2, SiNx
Arxa silikon
Yapışqan təbəqə: TaN
Delikdən: W
Xüsusiyyət
1. Passivasiya qatının deşikli və ya deşiksiz aşındırılması;  
2. Yapışqan təbəqənin aşındırılması;  
3. Arxa silikon aşındırma
spesifikasiya
Layihə konfiqurasiyası və maşın strukturu diaqramı
maddə
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Product ölçüsü
≤6 düym
≤8 düym
≤8 düym


RF enerji mənbəyi
0-300W/500W/1000W Tənzimlənən, avtomatik uyğunlaşma


Molekulyar nasos
-/620(L/s)/1300(L/s)/Xüsusi

Antiseptik620(L/s)/1300(L/s)/Xüsusi

Ön xətt nasosu
Mexanik nasos/quru nasos

Quru nasos

Proses təzyiqi
Nəzarət olunmayan təzyiq/0-1Torr idarə olunan təzyiq


Qaz növü
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Xüsusi
(9 kanala qədər, aşındırıcı və zəhərli qaz yoxdur) 

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) 

Qaz diapazonu
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom


LoadLock
Hə Yox

bəli

Nümunə nəzarəti
10°C~Otaq temperaturu/-30°C~100°C/Xüsusi

-30°C~100°C /Xüsusi

Arxa helium soyutma
Hə Yox

bəli

Proses boşluğunun astarlanması
Hə Yox

bəli

Boşluq divarına nəzarət
No/Otaq otağı ~60/120°C

Otaq temperaturu -60/120°C

Control System
Avtomatik/fərdi


Aşınma materialı
Silikon əsaslı: Si/SiO2/SiNx. 
IV-IV: SiC
Maqnetik materiallar/alaşımlı materiallar
Metal material: Ni/Cr/Al/Au. 
Üzvi material: PR/PMMA/HDMS/Üzvi film. 

Silikon əsaslı: Si/SiO2/SiNx. 
III-V(注3): InP/GaAs/GaN. 
IV-IV: SiC
II-VI (注3): CdTe. 
Maqnetik materiallar/alaşımlı materiallar
Metal material: Ni/Cr/A1/Au. 
Üzvi material: PR/PMMA/HDMS/üzvi film. 

1. Çiplərin uçmasının qarşısını alın
2. İşlənə bilən minimum node: 14nm:
3. SiO2/SiNx aşındırma dərəcəsi: 50~150 nm/dəq;
4. Oyma səthinin pürüzlülüyü:5. Passivasiya qatını, yapışma qatını və arxa silikon aşındırmanı dəstəkləyin;
6. Cu/Al:>50 seleksiya nisbəti
7. Hamısı bir yerdə maşın LxWxH: 1300mmX750mmX950mm
8. Bir klik icrasını dəstəkləyin
Proses nəticəsi

Silikon əsaslı materialın aşındırılması

Silikon əsaslı materiallar, nano çap nümunələri, massiv
naxışlar və obyektiv naxışının aşındırılması
Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Failure analizi fabriki

InP normal temperaturda aşındırma

Dalğa ötürücü quruluşu, rezonans boşluğu strukturu da daxil olmaqla, optik rabitədə istifadə olunan InP əsaslı cihazların naxışlı aşındırılması.
Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Failure analizi təchizatçısı

SiC materialının aşındırılması

Mikrodalğalı cihazlar, güc cihazları və s. üçün uyğundur.


Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili təfərrüatları

Fiziki püskürtmə, aşındırma Üzvi materialın aşındırılması

Bəzi metallar (məsələn, Ni / Cr) və keramika kimi aşındırılması çətin olan materialların aşındırılması üçün tətbiq olunur.
naxışlı çalarlar.
Fotorezist (PR) / PMMA / HDMS / polimer kimi üzvi birləşmələrin aşındırılması və çıxarılması üçün istifadə olunur.
Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Failure analizi fabriki
Uğursuzluq təhlili nəticələrinin göstərilməsi
Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili istehsalı
Product detayları 
Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili təfərrüatları
Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili istehsalı
Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Failure analizi təchizatçısı
Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Failure analizi fabriki
Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili istehsalı
Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Failure analizi fabriki
Qablaşdırma və Çatdırılma 
Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Failure analizi fabriki
Reaktiv ion aşındırma sistemi RIE maşını RIE Uğursuzluğun təhlili təfərrüatları
lehimləmə maşını
Profili

Minder-High-tech Reactive Ion Eching (RIE) maşını müxtəlif növ materialları inanılmaz dəqiqliklə aşındıra və təhlil edə bilən ən müasir texnologiya parçasıdır. Bu maşın müntəzəm olaraq mikrofabrikasiya və ya aşındırma tələb olunan müxtəlif sənaye sahələrində istifadə üçün nəzərdə tutulmuşdur. Yüksək keyfiyyətli materiallardan hazırlanmışdır ki, bu da onu davamlı, etibarlı və əla nəticələr verə bilir. 

 

RF plazma generatoru ilə təchiz edilmiş effektivdir. RIE sistemi qidalandırıcı benzindən plazma əldə etmək üçün induktiv bir birləşmədən istifadə edir. Bu texnika yüksək sıxlıqlı plazma yaradır və məhsulla əlaqəli aşındırma sürətini artırır. RIE maşınının aşındırma prosesi effektiv, dəqiq və yüksək səviyyədə idarə oluna bilir, bu da yerinə yetirilməli olan dərinliyə imkan verir. Bu xüsusiyyət unikaldır, tədqiqat və ya sənaye işləri üçün əla seçimdir. 

 

Maşın mikroelektronika, MEMS istehsalı və yarımkeçirici istehsalı da daxil olmaqla geniş çeşidə malikdir. Bu maşın yarımkeçirici sənayesində silisium, qallium arsenid və germanium kimi yarımkeçirici materialların aşındırılmasında və mikro emalında mühüm rol oynayır. Minder-High-tech RIE cihazı əlavə olaraq MEMS sənayesində poliimid, silikon dioksid və silikon nitrid kimi sərt olan yumşaq və materialların istehsalı üçün yaradılmışdır. Bundan əlavə, elektron olan xidmətlər və məhsullarla əlaqəli sənayelərdə uğursuzluqların təhlili üçün əlçatandır. 

 

İstifadəsini asanlaşdıran müxtəlif xüsusiyyətlər daxildir. Bu, operatorun cihazda istifadə olunan aşındırma parametrləri üzərində tam nəzarəti təmin edən istifadəçi dostu proqramdır. Maşın parametrləri daxili yaddaşda saxlanılır, 100-dən çox parametr dəstini saxlaya bilər. Onun ekranı operatora qazın hərəkəti, gücün qalınlığı və təzyiqi kimi parametrləri təyin etməyə imkan verən bir toxunuşa malikdir. Minder-High-tech RIE maşını, həmçinin materialların lazımi temperaturda həkk olunmasını təmin edən və onların zədələnməsini dayandıran temperatur nəzarət funksiyasına malikdir. 

 

Etibarlı və effektiv maşın tələb edən şirkətlər üçün mükəmməldir, dəqiq və dəqiq nəticələr verə bilər. Bu cihaz ən yüksək texnologiya ilə hazırlanmışdır və bir çox səviyyəyə malikdir. Onun çox yönlülüyü və istifadəçi dostu xüsusiyyətləri onu müxtəlif sektorlar üzrə çox yaxşı tədqiqat və sənaye tətbiqləri seçimi edir. 

 

O, həmçinin maşına istənilən mexaniki problemləri mümkün qədər tez aşkar etməyə və düzəltməyə imkan verən səmərəli nasazlıq təhlili sisteminə malikdir. Bu sistem RIE maşınının bütün ömrü boyu yüksək keyfiyyət və etibarlılığı saxlamasını təmin edir. Dəqiq və səmərəli aşındırma və ya mikrofabrikasiya tələb edən istənilən sənaye üçün Minder-High-tech RIE maşını mükəmməl həlldir.


araşdırma

araşdırma mina WhatsApp WeChat
yuxarı
×

Əlaqə