Yarı avtomatik RTP Hərəkətli Termal İşləmə wafer semikonduktorlar üçün SlC LED MEMS , China Yarı avtomatik RTP Hərəkətli Termal İşləmə wafer semikonduktorlar üçün SlC LED MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Məhsul Təsviri

Sürətli Termal İşləmə

Müxtəlif polümer vətərlər üçün güvəndirici RTP texnikası、SlC、LED və MEMS

Xüsusiyyət

* Infrəqırmızı halogen lampetib istifadəsi, soğutma hava soğutması ilə edilir;
* Lampin gücündə PlD temperaturu idarəedici, temperaturun yüksəlməsini dəqiqliklə əhatədə saxlayır, yaxşı təkrarlanabilirliyi və temperaturun birləşməsini təmin edir;
* Materialın giriş nöqtəsi WAFER səthində qoyulub ki, anneyalama prosesində soğuq nöqtələrin yaranmasını mənədir və məhsulun yaxşı temperatur birləşməsini təmin edir;
* Hər iki atmosferik və vakuum üsulları seçilməsi mümkündür, əsasda peş-əməli və toxumlaşdırma olunur;
* İki proses gazu standartdır və 6 proses gasına qədər artırılabilir;
* Ölçünilə biləcək maksimum birinci kristal silikon nümunənin ölçüsü 12incidir (300x300MM);
* Safe temperaturun açılışını müdafiə etmək, temperaturu idarəetmənin açılışını icazə vermək və texniki əsasların acil dayandırılması üçün təhlükəsizlik əməliyyatları tamamilə yerinə yetirilir ki, aparatın təhlükəsizliyini təmin etsin;

Test hesabatı

20-dərəcəli krivulların üxsəyi

850 ℃-də temperaturu idarə etmək üçün 20 krivu

20 orta temperatur krivullarının üxsəyi

1250 ℃ temperatur idarəetmə

RTP temperaturu idarəetmə 1000 ℃ prosesi

960 ℃ prosesi, infraqırmızı pirometr tərəfindən idarə olunur

LED proses məlumatları

RTD Wafer, xüsusi işləmə üsullarından istifadə edərək waferin səthindəki müəyyən yerlərdə temperatur sensörəri (RTDs) qoymaqla waferin səth temperaturlarını real vaxt-da ölçməyə imkan verir.

Waferin səthindəki müəyyən yerlərdə həqiqi temperatur ölçümləri və waferin ümumi temperatur dastrıbuciyası RTD Wafer vasitəsi ilə alınabilir; Bu, istifadəçilərə istilik əməliyyatı prosesində waferlərdəki tranziensi temperatur dəyişikliklərinin təkrarlı izlənməsinə də imkan verir.

Speksifikasiya

Qablaşdırma və Çatdırılma

Şirkət Profili

Biz əməliyyat məişəti satışında 16 il təcrübəyə malikdik. Çin dən bir-bir Semikonduktor əvvəlki və son nöqtədən Paket Liniya Təchizatları üçün ümumi həll təklif edə bilərik!