Yarımkeçirici sənaye avadanlıqları MDLB-MC200 Fotomaska ​​təmizləyicisi Azərbaycan

Xeyr

Layihə

Xüsusiyyətlər

Qeyd

1

Avadanlıqlara Baxış

Cihazın Adı: Photomask Cleaner

Avadanlıq modeli: MDLB-MC200

Ümumi ölçülər (təxminən): 1300mm (W) * 1000mm (D) * 1950mm (H)

Bütün maşının çəkisi (təxminən): 300KG

Əməliyyat masasının hündürlüyü: 900 ± 50 mm

Substrat ölçüsünün spesifikasiyası: 2/4/5/6/8 düymlük kvadrat maska ​​lövhələri üçün uyğundur

Proses axını: vaflinin əl ilə yerləşdirilməsi → təmizləmə (fırça, təmizləyici məhlul → yüksək təzyiqli su → meqasonik su → deionlaşdırılmış su → azot qazının qurudulması) → vaflisin əl ilə çıxarılması

Avadanlıq növü: yarı avtomatik, əllə yükləmə və boşaltma

2

Avadanlıq tikintisi

Qabıq: paslanmayan polad, hamar, korroziyaya davamlı, təmizlənməsi asan

Təmizləmə kamerası: PP, hamar, korroziyaya davamlı, təmizlənməsi asan

Boru kəməri: PU/PFA uyğun boru kəməri istifadə olunur

İş işıqlandırması: korroziyaya qarşı sarı işıqlandırma

Qapının açılma tərzi: Qapının açılması siqnalizasiya funksiyası ilə ikiqat qapı

Toxunma ekranı: 10 düymlük tam rəngli sensor ekran * 1

FFU: Sinif 100

Sızdırmaz alt dəstəyi: mövcuddur

3

Yüksək dəqiqlikli servo motor

Miqdarı: 1

Sürət: -3000~3000rpm

Boş yük

İş mili fırlanmasının maksimal sürətlənməsi: 3000rpm/S

Boş yük

Sürət dəqiqliyi: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

Sürət həlli: 1 rpm

4

Avtomatik yelləncək qolu

Miqdarı: 3

Yelləncək qolu sürəti: 1~30 °/S

5

Cleaning vahid

Təmizləyici yelləncək qolu: 1 kanal deionlaşdırılmış su, 1 kanal azot qazı

Meqasonik Qol: 1 Meqasonik, 1 Yüksək Təzyiqli Su

Fırça qolu: 1 fırça, 1 su, 1 təmizləyici məhlul

Təmizləmə üsulu: avtomatik təmizləmə

Deionlaşdırılmış su emiş funksiyası: mövcuddur

Geri yuyulma (deionlaşdırılmış su): 1 marşrut

Təchizat üsulu: Təmizləmə məhlulu: Diafraqma nasosu

Deionlaşdırılmış su: birbaşa zavod tərəfindən verilir

Maye səviyyəsinin aşkarlanması ilə təzyiq çəni

6

Fırça fırçası

Miqdar: 1 (özünü təmizləmə funksiyası ilə)

Sürət: 1000 rpm-ə qədər, tənzimlənən sürət

Hündürlüyü əl ilə tənzimlənir

7

Tencereyi yükləyin

Miqdarı: 5

Material: PPS+paslanmayan polad

Ölçü: 2/4/5/6/8 düymlük kvadrat maska ​​boşqabları üçün uyğundur

Substratın bərkidilməsi üsulu: Claw fiksasiya üsulu

8

Nəzarət sistemi

Nəzarət sistemi: PLC nəzarətindən istifadə etməklə

Proqram: 100 qrup, hər qrup 100 addımdan ibarətdir, maksimum tək addım müddəti 3000.0 saniyə

Qətnamə: 0.1S

Proqramı saxlamaq, çağırmaq, dəyişdirmək və silmək olar

Şifrələmə icazələrini təyin edin: müvafiq olaraq cihaz operatorları, texniklər, administratorlar və istehsalçılar üçün

Siqnal qülləsinin növü: qırmızı, sarı, yaşıl 3 rəng