Semikondüktor sənayesi texnikası MDLB-MC200 Fotomask temizləyici

Yoq.

Layihə

Xüsusiyyətləri

Qeydlər

1

Təsnif haqqında

Qurğunun adı: Fotomask Temizləyici

Qurğu modeli: MDLB-MC200

Ümumi ölçülər (təxminən): 1300mm (U) * 1000mm (Ə) * 1950mm (Y)

Ümumi maşın ağırlığı (təxminən): 300KG

İş stolunun yüksəklüyü: 900 ± 50mm

Substrat ölçüsü normativləri: 2/4/5/6/8 inc qabarıq maska platalarına uyğunlaşdırılır

Proses sırası: manual wafer yerləşdirmə → temizləmə (fırça, temizləmə həlliyatı → yüksək basinq suyu → megasonik su → deionizə olunmuş su → azot gazu ilə quruşdurma) → manual wafer çıxarış

Əməliyyat növü: yarım avtomatik, manual yükləmə və boşaltma

2

Təchizatın quruluşu

Çərək: rəngsiz çelik, üzlük, korrozziyaya mənqud, təmizlənməsi asandır

Təmizləmə odası: PP, üzlük, korrozziyaya mənqud, təmizlənməsi asandır

Borluq: PU/PFA uyğun borluq istifadə olunur

İş işıqlığı: korrozziyaya mənqud sarı işıq işıqlığı

Qapı açma üslubu: İki qapılı, qapı açma alarm funksiyasına malik

Məxsusi ekran: 10 inc tam rəngli məxsusi ekran * 1

FFU: 100 sinif

Sızıntı qoruyucu alt dəstək: mövcuddur

3

Yüksək dəqiqlikli servo motor

Miqdar: 1

Sürət: -3000~3000rpm

Boş yük

Əksərən yüksək təzyiqin fırlanma sürəti: 3000rpm/S

Boş yük

Sürət dəqiqliyi: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

Sürət qarşılaşdırılması: 1rpm

4

Avtomatik svinq kolları

Miqdar: 3

Svinq kollarının sürəti: 1~30 °/S

5

Təmizləmə üniteti

Temizlik svayq arqası: 1 deyonizasiya su kanalı, 1 azot qazı kanalı

Megasənklərli Brş: 1 Megasənklər, 1 Yüksək Basinq Su

Brş arqası: 1 brş, 1 su, 1 temizləmə həlliyi

Temizləmə üsulu: avtomatik temizləmə

Deyonizasiya suyun çəkilmə funksiyası: mövcuddur

Əldən temizləmə (deyonizasiya suyu): 1 yol

Təchizat üsulu: Temizləmə həlliyi: Membran pompa

Deyonizasiya suyu: fabrikadan doğrudan təchiz olunur

Basınç qutusu səviyyəni aşkarlamaqla

6

Brş brş

Miqdar: 1 (öz temizləmə funksiyası ilə)

Sürət: 1000rpm-ə qədər, təyin edilən sürət

Ulduzun hündürlüyü manuaq ayarlanır

7

Yükləmə tepsisi

Miqdar: 5

Material: PPS+qalxan çəkilmiş çeliy

Ölçü: 2/4/5/6/8 inc kvadrat maska plakaları üçün uyğun

Substrat sabitləmə üsulu: Qovşaqlarla sabitləmə üsulu

8

İdarəetmə Sistemi

Kontrol sistemi: PLC idarəetməsindən istifadə edir

Proqram: 100 qrup, hər qrup 100 addımından ibarətdir və maksimum addım vaxtı 3000.0 saniyədir

Çözülmə: 0.1S

Proqram saxlanıla bilər, çağırıla, dəyişdirilə və silinə bilər

Şifrələmə icazələrini təyin edin: cihaz operatoru, texnik, administrator və istehsalçı üçün uyğun olaraq

Sinyal qulaqlığı növü: qırmızı, sarı, yaşıl 3 rəng