Semiconductor sənayesi ICP laboratoriya növü PR silmə maşını Photoresist Qalıqlarını Sil , China Semiconductor sənayesi ICP laboratoriya növü PR silmə maşını Photoresist Qalıqlarını Sil Manufacturers, Suppliers, Factory

Məhsul Təsviri

ICP laboratoriya növü PR silmə Fotoresist Silməci maşın

ASHING
Polimer silməsi
DESCUM
Sert maska qatının yuxarı silinməsi
Qızıl iyon implantasiyasından sonra fotoresistin silinməsi
Medialar arasındakı optik mukavimətin silinməsi
BAW/SAW prosesində fotosensitivliklərin silinməsi
Yansımaya qarşı grafik film qatının yuxarı toxuq temizləməsi
Silikon oksid və ya silikon nitrid etçilmesi
Səth qalığından pozmaq
Yüzləmədən sonra səth təmizləmə
Silikon karbid etçilmesi

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal supplier

Proses

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal factory

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal details

Üstünlük:

Əsas Fərdi Xüsusiyyət

Yüksək demininq vəziyyəti: Yüksək sıxışma plazması, sürətli demininq vəziyyəti
İstikrarlılıq: Plazma işarəsindən sonra yüksək təkrarlanabilirlilik
Uzaq plazma: Uzaq plazma, vaferə aşağı iyon zədəli
Məhsuldar proqram: proqram təminatının müstəqil araşdırılması və inkişafi, intüitiv proses animasiyası, detallı məlumatlar və qeydlər
Birliklilik: Plazma蝴蝶valv vasitəsilə sıxışmayı və temperaturu idarə edə bilər
Təhlükəsizlik faktoru: Yavaş plazma məhsulun xaricindən zədəlini azaldır.
Son satış xidməti: Sürətli cavab və kifayət qədər stok
Toz idarəetməsi: Mütəxəssis tələblərə uyğunlaşır.
Əsas texnologiya: Tədqiqat və inkişaf komandasının nəzərə alınmış 40%-dan çox üzvü ilə

Kaset platforması (MD-ST 6100/620)

1. 4 Vafyer Nəqlçiləri
2. Yüksək uyğunluq: vafyer ölçüsünün seçimi müstəqil olaraq yüksək maliyet və həll effektivliyini getirir
3. Yüksək stabillikli vakuum nəql odası:
Nəzəriyyə ilə və praktikada uzun illər boyu piyasada tətbiq edilmiş və müştərilər tərəfindən tanınan vakuum transmissiya dizaynı.
Dövirlik dizayn, kompakt kosmos, PARTİCAL riskini açıq şəkildə azaltır
4. İnsanlaşdırılmış proqram təminatı işarələmə interfeysi:
İntuitiv insanlaşdırılmış proqram təminatı işarələmə interfeysi, maşının işləmə statusunu real vaxtda izləmək;
Kompleks xəbərdarlıq və səhv əməliyyatların qarşılanması funksiyaları.
Güclü verilər eksport funksiyası, müxtəlif proses parametrlərinin qeydləri və məhsul üsulu qeydlərinin eksportu.

Robot

1. Bir dəfəlik iki vafyerin seçimi və yerləşdirilməsi dizaynı yüksək hasilat getirir
2. Kosmik effektivliyi artırın.

İstilik Plati

1. Yuqarı səsləşmiş temperatur idarəetmə plati
Platin temperaturu 250°C-ə qədər artırıla bilər, temperatur idarəetmə dəqiqliyi ±1°C
Profesional alatlar ilə platin temperaturu təyin edilmişdir və daxilində ±3°C-dən az fərq olur, bu da qleyin itirilməsində eyni şəkildə işləməsinə imkan verir
2. Bir odada iki wafer əməliyyatı
Bir odada iki wafer dizaynı;
Hər wafer üçün ayrı elektrik istehsalı dizaynı, hər wafer üçün yuvarlaqlı PR itirilməsi nəticəsi təmin edilir;
UPH effektivliyini təmin etmək üzərində məhsul xərcini azaltmaq. Bal qabiliyyəti
3. İstehsal kapasiti: iki hissəli dizayn reaksiya odası, yüksək istehsal effektivliyi.

Semiconductor industry ICP lab type PR removal machine Photoresist Residual Removal manufacture

Speksifikasiya

پلازما منبع			RF+BIAS
Güc	1000W	1000W
Güc		600W	600W
Uyğunluq sahəsi			4-8 inci
Yalnız işləmə dilimin sayı			بیر
Xarici ölçülər			1140mm x 1050mm x 1620mm
Sistem idarəetməsi			Sənaye idarəetmə sistemi
Avtomatlaşdırma səviyyəsi			İstifadəçi təlimatı

Əməliyyat Sistemləri
İşləm vaxtı / Müsait vaxt	≧95%
Təmizləməyə qalğı vaxtı (MTTC)	≦6 saat
Süni yenidən qurulma vaxtı (MTTR)	≦4 saat
Ədədi fiqurlar arasında orta vaxt (MTBF)	≧350 saat
Köməkçilər arasında ortalama vaxt (MTBA)	≧24 saat
Qazma arasında orta wafer (MWBB)	≦10.000 waferdə 1
İstilik platinin idarə edilməsi	50-250°

Test hesabatı

Fabrik görünüşü

Qablaşdırma və Çatdırılma

Şirkət Profili

Biz əməliyyat məişəti satışında 16 il təcrübəyə malikdik. Çin dən bir-bir Semikonduktor əvvəlki və son nöqtədən Paket Liniya Təchizatları üçün ümumi həll təklif edə bilərik!