Yarımkeçirici sənayesi ICP PLAZMA PR çıxarma maşını Fotorezist Qalıq Təmizləmə , Çin Yarımkeçirici sənayesi ICP PLAZMA PR çıxarma maşını Fotorezist Qalıq Təmizləmə İstehsalçılar, Təchizatçılar, Fabrika

Product Description

ICP PLAZMA Fotorezist təmizləyicisi

ASHING
Polimerin çıxarılması
Sərt maska qatının quru çıxarılması
İon implantasiyasından sonra fotomüqavimətin aradan qaldırılması
BAW/SAW prosesində fotomüqavimətin aradan qaldırılması
Yansıtma əleyhinə qrafik film təbəqəsinin quru təmizlənməsi
Səth qalıqlarının çıxarılması
Aşındırmadan sonra səthin təmizlənməsi
DESCUM

Yarımkeçirici sənayesi ICP PLAZMA PR təmizləyici maşın Fotorezist Qalıq Silinmə istehsalı

proses

Yarımkeçiricilər sənayesi ICP PLAZMA PR çıxarma maşını Fotorezist Qalıq Təmizləmə fabriki

Advantage:

Əsas Üstünlük

Yüksək dequmming dərəcəsi: Yüksək sıxlıqlı plazma, sürətli dequmming dərəcəsi
Stabillik: Plazma müalicəsindən sonra, yüksək reproduktivlik
Uzaq plazma: Uzaqdan plazma, vafliyə aşağı ion ziyanı
Seçilmiş proqram təminatı: proqram təminatının müstəqil tədqiqatı və inkişafı, intuitiv proses animasiyası, ətraflı məlumat və qeydlər
Vahidlik: Plazma kəpənək klapan vasitəsilə təzyiq və temperaturu idarə edə bilir
Təhlükəsizlik faktoru: Aşağı plazma məhsulun boşalmasına dəyən zərəri azaldır.
Satışdan sonrakı xidmət: Sürətli cavab və kifayət qədər inventar
Toz nəzarəti: Müştəri tələblərinə cavab verin.
Əsas texnologiya: Ar-Ge komandası üzvlərinin təxminən 40%-i ilə

Kaset platforması (MD-ST 6100/620)

1. 4 vafli daşıyıcı
2. Yüksək uyğunluq: vafli ölçüsü seçiminin çevikliyi yüksək qiymət və həll səmərəliliyi gətirir
3. Yüksək dayanıqlı vakuum ötürmə kamerası:
Yetkin və sabit vakuum ötürmə dizaynı uzun illərdir bazarda yetkin şəkildə tətbiq olunur və müştərilər tərəfindən yaxşı tanınır.
Dönər masanın dizaynı, yığcam yer, PARTICAL riskini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır
4. Humanitarlaşdırılmış proqram təminatının işləmə interfeysi:
Intuitiv humanitarlaşdırılmış proqram təminatı əməliyyat interfeysi, maşının işləyən Statusunun real vaxt rejimində monitorinqi;
Yanlış əməliyyatın qarşısını almaq üçün hərtərəfli həyəcan siqnalı və axmaqdan qorunan funksiyalar.
Güclü məlumat ixracı funksiyası, müxtəlif proses parametrlərinin qeydləri və məhsul istehsalı qeydlərinin ixracı.

Yarımkeçiricilər sənayesi ICP PLAZMA PR çıxarma maşını Fotorezist Qalıq Təmizləmə təchizatçısı

Yarımkeçirici sənayesi ICP PLAZMA PR təmizləyici maşın Fotorezist Qalıq Silinmə təfərrüatları

Robot

1. Bir dəfə ikili vafli seç və yerləşdirmə dizaynı yüksək məhsuldarlıq gətirir
2. Məkan səmərəliliyini artırın.

İstilik plitəsi

1. Yüksək dəqiqlikli temperatur nəzarəti vafli plitəsi
Otaq temperaturundan 250°C-yə qədər vafli qızdırıcı plitələr, temperaturun idarə edilməsi dəqiqliyi ±1°C
Vafli qızdırıcı plitələr peşəkar alətlər və vahidlik tərəfindən kalibrlənmişdir. ±3°C daxilində, yapışqanın çıxarılmasının vahidliyini təmin edin
2. Bir kameralı ikili vafli emal
Tək kameralı ikili vafli dizayn;
Hər bir vafli üçün müstəqil güc boşaltma dizaynı, hər bir vaflinin olmasını təmin edir. Dəyirmi PR aradan qaldırılması effekti;
UPH səmərəliliyinin təmin edilməsi əsası altında məhsulun maya dəyərini azaldın. Güclü uyğunluq
3. İstehsal gücü: iki hissəli dizayn reaksiya kamerası, yüksək istehsal səmərəliliyi.

spesifikasiya

PLAZMA			RF	RF
güc	ICP	1000w	1000w
güc		BİAS	600w (seçim)	600w (seçim)
Tətbiq olunan əhatə dairəsi			4 ~ 8 düym	4 ~ 8 düym
Tək emal dilimlərinin sayı			1	2
Görünüş ölçüləri			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Sistem nəzarəti			Sənaye nəzarəti sistemi	Sənaye nəzarəti sistemi
Avtomatlaşdırma səviyyəsi			avtomatik	avtomatik

Avadanlıq qabiliyyəti
İş vaxtı/Mövcud vaxt	≧ 95%
Təmizləmə üçün orta vaxt （MTTC）	≦6 saat
Təmir üçün orta vaxt（MTTR）	≦4 saat
Uğursuzluqlar arasında orta vaxt（MTBF）	≧350 saat
Köməkçi arasında orta vaxt（MTBA）	≧24 saat
Qırıqlar arasında orta vafli（MWBB）	≦1 vaflidə
Qızdırıcı plitə nəzarəti	50-250 °

Test Report

Factory View

Qablaşdırma və Çatdırılma

Profili

Avadanlıqların satışı üzrə 16 illik təcrübəmiz var. Biz sizə Çindən birdəfəlik Yarımkeçirici ön və arxa uç Paket Xətti Avadanlıqları həllini təqdim edə bilərik!