Vakuum mikrodalğalı plazma təmizləmə maşını Plazma Səthi Müalicə Yarımkeçirici Qablaşdırma məhlulu IC TO paketi, Çin Vakuum mikrodalğalı plazma təmizləmə maşını Plazma Səthi Müalicə Yarımkeçirici Qablaşdırma məhlulu IC TO paketi İstehsalçılar, Təchizatçılar, Fabrika

Products təsviri

Yarımkeçirici qablaşdırma həlli Mikrodalğalı Plazma Təmizləyicisi

SPV-100MWR yarımkeçiricilər üçün aşağı gərginlikli mikrodalğalı plazma təmizləmə sistemidir. Vakuum boşluğunun divarındakı pəncərəyə 2.45 GHz tezliyi ilə mikrodalğalı soba tətbiq etməklə çoxlu sayda davamlı Plazma əmələ gəlir və çip boşluğa daxil olaraq təmizlənir.

Vakuum mikrodalğalı plazma təmizləyici maşın Plazma Səthi Müalicə Yarımkeçirici Qablaşdırma məhlulu IC TO paket təchizatçısı

Texniki parametrlər

Vakuum plazma sahibi
Təchizat ölçüsü	1230X1800X1100mm (en x hündürlük x dərinlik)
Çəki	450kg
Power tələb	AC380V, 50/60Hz, 5 naqilli, 30A
Plazma generatorunun texniki xüsusiyyətləri
Mikrodalğalı elektrik təchizatı	güc	0 ~ 1250W
		Tezlik	2.45GHz
Vakuum sistemi
Material	Alüminium ərintisi (özəlləşdirilə bilən paslanmayan polad kamera)
Qalınlıq	25mm
Boşluğun daxili ölçüləri	480mmX470mmX480mm
İş yerləri	6 jurnal bölməsi
ECR	Slotted Magazine ECR gücləndirilmiş emal effektini təmin edir
Plazma qabiliyyəti
Emal qabiliyyəti	35um Pitch 40μm zərbə 15X15mm Maksimum Die ölçüsü