Texniki parametri | Ölçmə rejimi | PSI/VSI/super sahə dərinliyi/parlaq sahə |
Tək ölçü görmə sahəsi (20× obyektiv lens) | 500*350μm (avtomatik tikiş) | |
Bucaq tənzimlənməsi | ±12° təlimat | |
Z oxunun tənzimlənməsi | 20mm elektrik + 50mm manual (qaba və incə tənzimləmə mexanizmi) | |
Uzunlamasına tarama diapazonu | 0-10mm | |
Uzunlamasına qətnamə | <0.2nm | |
Uzunlamasına kobudluğun ölçülməsinin təkrarlanması | 0.01nm (PSI rejimi) | |
addım hündürlüyünün göstərici xətası ölçü | <0.75% (VSI rejimi) | |
Yanal ayırdetmə: @550nm | 0.69μm (20× obyektiv obyektiv) | |
Ölçülə bilən nümunə əksetmə qabiliyyəti | 0.1%-100% | |
Ölçmə müddəti | <5s (PSI rejimi) | |
Analiz funksiyası | Analiz funksiyası | 3D hündürlüyün ölçülməsi, 3D pürüzlülük analizi, 2D ölçüsünün ölçülməsi |
3D məlumat çıxışı | 3D nöqtə bulud məlumatları, boz rəngli görüntü məlumatları, fərdiləşdirilmiş hesabat |
Obyektiv böyütmə | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Rəqəmsal diyafram | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Optik ayırdetmə @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Fokus dərinliyi (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
İş məsafəsi (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bütün hüquqlar qorunur