Λύση για αφαίρεση φωτορυθμιστή από φάινερ ημιαγωγών

Γιατί τα φάκελα ημιαγωγών χρειάζεται να αφαιρέσουν photoresist;

Στις διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών, χρησιμοποιείται μεγάλος όγκος photoresist για να μεταφέρει τις γραφικές εικόνες των πλακιών κυκλωμάτων μέσω της ευαισθησίας και ανάπτυξης του μάσκα και του photoresist στον φάκελο photoresist, δημιουργώντας συγκεκριμένες εικόνες photoresist στην επιφάνεια του φάκελου. Στη συνέχεια, υπό την προστασία του photoresist, ολοκληρώνεται η λαθήρωση εικόνας ή η ιονική εισαγωγή στο κάτω φιλμ ή τη βάση του φάκελου, και το αρχικό photoresist αφαιρείται εντελώς.

Η αφαίρεση photoresist είναι το τελικό βήμα της διαδικασίας φωτολιθογραφίας. Μετά την ολοκλήρωση των γραφικών διαδικασιών όπως η λαθήρωση/ιονική εισαγωγή, το υπόλοιπο photoresist στην επιφάνεια του φάκελου έχει ολοκληρώσει τις λειτουργίες μεταφοράς εικόνας και προστατευτικού στρώματος, και αφαιρείται εντελώς μέσω της διαδικασίας αφαίρεσης photoresist.

Η αφαίρεση φωτορεζιστ είναι μια πολύ σημαντική φάση στην διαδικασία μικροπαραγωγής. Αν το φωτορεζιστ αφαιρεθεί ολοσχερώς και αν προκαλεί ζημιά στο φέρεκανο, θα επηρεάσει άμεσα την επόμενη διαδικασία παραγωγής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων χιπ.

Ποιες είναι οι διαδικασίες για την αφαίρεση φωτορεζιστ σε προϊόντα που περιέχουν ημιαγωγούς;

Εκτός από τις διαφορές στα μέσα φωτορεζιστ, μπορούν να διαιρεθούν σε δύο κατηγορίες: αφαίρεση με οξείδωση και αφαίρεση με λύτρα.

Σύγκριση διαφόρων μεθόδων αφαίρεσης κολλών:

Όπως είναι εμφανής από το παραπάνω σχήμα, η ξερή αποσύνδεση είναι κατάλληλη για τις περισσότερες διαδικασίες αποσύνδεσης, με ολοκληρωμένη και γρήγορη αποσύνδεση, κάνοντάς τη να είναι η καλύτερη μέθοδος μεταξύ των υπάρχουσων διαδικασιών αποσύνδεσης. Η τεχνολογία αποσύνδεσης PLASMA με μικροκυμάτων είναι επίσης μια μορφή ξερής αποσύνδεσης.

Το εξοπλισμός μας για αφαίρεση κόλλης φωτορυθμικού PLASMA με μικροκύματα, εξοπλίζεται με την πρώτη τεχνολογία γεννήτριας αφαίρεσης φωτορυθμικού με μικροκύματα που αναπτύχθηκε εντός της χώρας, διαθέτει μαγνητικό ροτατό πλατφόρμα για να κάνει το μικροκύματο plasma πιο αποτελεσματικό και ομοιόμορφο. Παρέχει «μικροκύματα + προκατάληψη RF» διπλή δύναμη για να καλύπτει τις ανάγκες διαφορετικών πελατών σε σιλίκιου φύλλα και άλλα μετάλλινα συσκευάσματα.

PLASMA με μικροκύματα Μηχάνημα αφαίρεσης φωτορυθμιστή

① Το πλάσμα των ελεύθερων ριζικών μορίων δεν έχει προκατάληψη και δεν προκαλεί ηλεκτρικές βλάβες;

② Το προϊόν μπορεί να τοποθετηθεί σε παλέτ, σε κοιλά ή κλειστά Magizine, με υψηλή αποδοτικότητα επεξεργασίας;

③ Το Magizine μπορεί να εγκατασταθεί με περιστρεφό πλαίσιο, και μέσω λογικής σχεδιασμού ECR και καλής ρύθμισης ροής αερίου, μπορεί να επιτύχει σχετικά υψηλή ομοιομορφία;

④ Σχεδιασμός ολοκληρωμένου συστήματος ελέγχου, εγγεγραμμένο λογισμικό ελέγχου, ευκολότερη λειτουργία;