Ποιος είναι ο σκοπός ενός συστήματος Ταχείας Θερμικής Επεξεργασίας (RTP) στη διαδικασία κατασκευής γκοφρέτας;

Το RTP χρησιμοποιεί υπέρυθρες λάμπες αλογόνου ως πηγή θερμότητας για να θερμαίνει γρήγορα το υλικό στην επιθυμητή θερμοκρασία, βελτιώνοντας έτσι την κρυσταλλική δομή και τις οπτοηλεκτρονικές ιδιότητες του υλικού.

Τα χαρακτηριστικά του περιλαμβάνουν υψηλή απόδοση, εξοικονόμηση ενέργειας, υψηλό βαθμό αυτοματισμού και ομοιόμορφη θέρμανση.

Επιπλέον, το RTP έχει επίσης υψηλή ακρίβεια ελέγχου θερμοκρασίας και ομοιομορφία θερμοκρασίας, που μπορεί να καλύψει τις ανάγκες διαφόρων πολύπλοκων διαδικασιών.

Επιπλέον, το RTP υιοθετεί προηγμένο σύστημα ελέγχου μικροϋπολογιστών και τεχνολογία ελέγχου θερμοκρασίας κλειστού βρόχου PID, έχει υψηλή ακρίβεια ελέγχου θερμοκρασίας και ομοιομορφία θερμοκρασίας και μπορεί να καλύψει τις ανάγκες διαφόρων πολύπλοκων διαδικασιών.

Χρησιμοποιώντας αποδοτικές πηγές θερμότητας όπως λαμπτήρες υπερύθρων αλογόνου για γρήγορη θέρμανση του πλακιδίου σε προκαθορισμένη θερμοκρασία, μπορούν να εξαλειφθούν ορισμένα ελαττώματα στο εσωτερικό του πλακιδίου και η κρυσταλλική του δομή και η οπτοηλεκτρονική απόδοση μπορούν να βελτιωθούν.

Αυτός ο έλεγχος θερμοκρασίας υψηλής ακρίβειας είναι πολύ σημαντικός για την ποιότητα της γκοφρέτας και μπορεί να βελτιώσει αποτελεσματικά την απόδοση και την αξιοπιστία της γκοφρέτας.

Στη διαδικασία κατασκευής πλακιδίων, η εφαρμογή του RTP περιλαμβάνει αλλά δεν περιορίζεται στις ακόλουθες πτυχές:

1. Βελτιστοποίηση κρυσταλλικής δομής:

Η υψηλή θερμοκρασία βοηθά στην αναδιάταξη της κρυσταλλικής δομής, στην εξάλειψη των ελαττωμάτων της κρυσταλλικής δομής, στη βελτίωση της τάξης του κρυστάλλου και, ως εκ τούτου, στη βελτίωση της ηλεκτρονικής αγωγιμότητας των υλικών ημιαγωγών.

2. Αφαίρεση ακαθαρσιών:

Το RTP μπορεί να προάγει τη διάχυση ακαθαρσιών από κρυστάλλους ημιαγωγών, μειώνοντας τη συγκέντρωση των ακαθαρσιών. Αυτό βοηθά στη βελτίωση των ηλεκτρονικών ιδιοτήτων των συσκευών ημιαγωγών και στη μείωση των επιπέδων ενέργειας ή της σκέδασης ηλεκτρονίων που προκαλείται από ακαθαρσίες.

3. Στην τεχνολογία CMOS, το RTP μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την αφαίρεση υλικών υποστρώματος όπως το οξείδιο του πυριτίου ή το νιτρίδιο του πυριτίου για να σχηματίσει εξαιρετικά λεπτές συσκευές SOI (μονωτήρας πυριτίου).

Το RTP είναι ένας βασικός εξοπλισμός στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, που χαρακτηρίζεται από υψηλή ακρίβεια, υψηλή απόδοση και υψηλή ευελιξία. Έχει μεγάλη σημασία για τη βελτίωση της απόδοσης του πλακιδίου και την προώθηση της ανάπτυξης της βιομηχανίας ημιαγωγών.