MDLB-MC200 Limpiador de fotomáscaras

No, no lo estoy.

PROYECTO

Presupuesto

Observaciones

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Resumen del Equipo

Nombre del dispositivo: Limpiador de Fotomáscara

Modelo de equipo: MDLB-MC200

Dimensiones generales (aproximadamente): 1300mm (A) * 1000mm (P) * 1950mm (H)

Peso total de la máquina (aproximadamente): 300KG

Altura de la mesa de operaciones: 900 ± 50mm

Especificaciones de tamaño del sustrato: adecuado para máscaras cuadradas de 2/4/5/6/8 pulgadas

Flujo de proceso: colocación manual de la wafer → limpieza (cepillo, solución de limpieza → agua a alta presión → agua megasónica → agua desionizada → secado con gas de nitrógeno) → retiro manual de la wafer

Tipo de equipo: semi-automático, carga y descarga manual

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Construcción del equipo

Carcasa: acero inoxidable, lisa, resistente a la corrosión, fácil de limpiar

Cámara de limpieza: PP, lisa, resistente a la corrosión, fácil de limpiar

Tubería: se utiliza tubería de PU/PFA

Iluminación de trabajo: iluminación amarilla anti-corrosión

Estilo de apertura de la puerta: Puerta doble con función de alarma de apertura

Pantalla táctil: pantalla táctil a color de 10 pulgadas * 1

FFU: Clase 100

Soporte inferior a prueba de fugas: disponible

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Motor servo de alta precisión

Cantidad: 1

Velocidad: -3000~3000rpm

Carga vacía

Aceleración máxima de la rotación del husillo: 3000rpm/S

Carga vacía

Precisión de velocidad: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

Resolución de velocidad: 1rpm

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Brazo oscilante automático

Cantidad: 3

Velocidad del brazo oscilante: 1~30 °/S

5

Unidad de Limpieza

Limpieza del brazo oscilante: 1 canal de agua desionizada, 1 canal de gas de nitrógeno

Brazo Megasonico: 1 Megasonico, 1 Agua a Alta Presión

Brazo de cepillado: 1 cepillo, 1 agua, 1 solución de limpieza

Método de limpieza: limpieza automática

Función de succión de agua desionizada: disponible

Retroceso (agua desionizada): 1 ruta

Método de suministro: Solución de limpieza: Bomba de diafragma

Agua desionizada: suministrada directamente por la fábrica

Tanque de presión con detección de nivel de líquido

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Cepillo de cerdas

Cantidad: 1 (con función de auto-limpieza)

Velocidad: hasta 1000rpm, velocidad ajustable

Altura ajustable manualmente

7

Bandeja de carga

Cantidad: 5

Material: PPS+acero inoxidable

Tamaño: Adecuado para placas de máscaras cuadradas de 2/4/5/6/8 pulgadas

Método de fijación del sustrato: Método de fijación con garra

8

Sistema de Control

Sistema de control: utilizando control PLC

Programa: 100 grupos, cada grupo consta de 100 pasos, con un tiempo máximo de paso único de 3000.0 segundos

Resolución: 0.1S

El programa se puede guardar, llamar, modificar y eliminar

Establecer permisos de cifrado: para operadores de dispositivos, técnicos, administradores y fabricantes respectivamente

Tipo de torre de señal: 3 colores, rojo, amarillo, verde