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Tamaño de la wafer
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wafer de 4”~ 8”
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Espesor del wafer
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100~750 micras
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Tipo de wafer
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Si, SiC, GaN u otros materiales
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Tipo de película
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Película azul, película UV
Ancho: 230 ~ 300 mm Longitud: 100 m Espesor: 0.05 ~ 0.2 mm |
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Aro portador de wafer
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6”, 8” DISCO
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Método de carga y descarga
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Colocación y eliminación manual del wafer/aro portador
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Precisión en la posición de la película
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±0,5mm
Placas estándar de 6” y 8” para wafers de 6” y 8” |
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Bomba de vacío
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Minder-Hightech
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Control antiestático
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Ventilador de deionización
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Unidad de control
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Basado en control PLC, con pantalla táctil de 10"
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Protección de seguridad
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Configurado con protección de cortina de luz y botón de parada de emergencia
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Voltaje de Suministro de Energía
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Monofásico CA 220V, 16A
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Aire comprimido
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0.45~0.6MPa, caudal 70L/min
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Carrocería de la máquina
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Carrocería metálica esprayada en plástico blanco
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Volumen
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850mm (ancho)*1750mm (profundidad)*1970mm (altura)
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Peso neto
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480kg
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