Alineador / Máquina de Alineación Fotolitografía , China Alineador / Máquina de Alineación Fotolitografía Manufacturers, Suppliers, Factory

Descripción de los productos

Máquina de Fotolitografía de Alineador de Máscara

El Alineador de Máscara se utiliza principalmente en el desarrollo y producción de circuitos integrados de pequeña y mediana escala, componentes semiconductores, dispositivos optoelectrónicos, dispositivos de ondas acústicas superficiales, circuitos de película delgada y dispositivos electrónicos de potencia
Alineador de Máscaras También conocido como: máquina de alineación y exposición de máscaras, sistema de exposición, sistema de litografía, etc., es el equipo principal para la fabricación de chips. Utiliza una tecnología similar a la impresión fotográfica para imprimir patrones finos de la máscara en el disco de silicio mediante exposición a la luz.
Compuesto principalmente por: un banco de trabajo de alta precisión, microscopio vertical de campo separado binocular, microscopio horizontal de campo separado binocular, cámara digital, sistema informático de memoria de imágenes, cabezal de exposición de múltiples fuentes de luz (ojo volador), sistema de control PLC, sistema neumático, sistema de vacío, bomba de vacío directamente conectada, banco de trabajo antivibraciones secundario y caja de accesorios.

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

Características

1. Cabezal de exposición de ojo volador con alta uniformidad / mecanismo de nivelación por flotación en aire / exposición de vacío confiable. alta resolución.
2. Método de alineación mediante máscara que mantiene estable y alimenta el sustrato, lo que asegura la consistencia de la gravedad guía y la fuerza aplicada.
3. Uso de guías rectas sin huecos, alta precisión, alta velocidad.
4. Todos los modelos son adecuados para trabajar con todos los fotoresistencias estándar, como AZ, Shipley, SU 8.
5. En todos los modelos, la calidad del patrón transferido por el sistema al sustrato después de 5 aplicaciones de máscara debe ser la misma que la calidad del patrón después de la aplicación de la primera máscara.
6. El tiempo de exposición es ajustable entre 1 segundo y 1 hora. Precisión de alineación 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

Especificación

Modelo	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Tipo de exposición	un solo lado			Alineación doble cara y exposición doble cara
Modo de exposición	Contacto duro, blando y proximidad sin contacto
Cantidad de cabeza de exposición	1 Cabeza de exposición			2 Cabezas de exposición
Tipo de fuente de luz	Lámpara de mercurio esférica GCQ350						Cabeza de exposición LED UV
Método de Enfriamiento	Refrigeración por aire
Área de exposición	Frente de la línea de banda	110×110mm	Frente de la línea de banda		150mm×150mm
Modo de exposición	Compatible con contacto duro, blando
Irregularidad de exposición	Φ100mm<±3%<>	≤ ± 3%
Resolución de exposición	2μm	1 μm
Intensidad del haz (365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
Inhomogeneidad del haz	≤±4%	≤ ± 3%
Ángulo máximo de desviación de luz UV	4°	3°
Rango de iluminación	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Frontal y posterior ≥ Φ115mm
Modo de compensación de error de cuña	Compensación automática hemisférica			Eliminación automática		Compensación automática de 3 puntos
El recorrido de los ejes X e Y	±4mm	±5mm	±4mm		±5 mm
El recorrido de θ	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
Resolución de desplazamiento del sustrato XYZ	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
Sistema de microscopio	Dos microscopios de barril único / Dos cámaras CCD
Tamaño de pantalla	15 pulgadas
Resolución del sistema de imagen	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
Distancia de medición entre la máscara y el sustrato	0.5 µm	0.3 µm
Dimensión diagonal de la superficie objetivo del CCD	1/3, (6mm)						40mm～110mm
Tamaño de la tabla de configuración	≤ Cuadrado 5*5 pulgadas (especificaciones personalizables)
Tamaño de los sustratos	Φ 100mm o cuadrado de 100*100mm	cuadrado de 60*49.5mm	2”-4”		1"x1"-5"x5"
Espesor del sustrato	1 a 3 mm	≤5 mm	1 a 3 mm		≤5 mm
Bomba de vacío	Sin aceite silencioso (-0.07～-0.08MPa)
Aire comprimido limpio	≥0.4MPa
Fuente de alimentación	CA 220V±10% 50HZ 1.5KW
Clase de sala limpia	Clase 100
Temperatura de la sala limpia	25℃±2℃
Humedad relativa de la sala limpia	≤60%
Amplitud de vibración de la sala limpia	≤4μm
Tamaño del equipo	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
Peso del Equipo	200KG				- 280 kg

La fabricación del sistema de alineación de alta precisión necesita tener un proceso mecánico casi perfectamente preciso. Otro problema técnico del sistema de alineación es el microscopio de alineación. Para mejorar el campo de visión del microscopio, muchas máquinas de litografía de gama alta utilizan iluminación LED. Hay dos sistemas de alineación con función de enfoque. Está principalmente compuesto por dos ojos y dos campos de visión dirigidos hacia el cuerpo principal del microscopio, un par de ocular y un par de objetivos (las máquinas de litografía suelen proporcionar ocular y objetivos con diferentes aumentos para los usuarios). La función del sistema de alineación CCD es ampliar las marcas de alineación de la máscara y la muestra e imaginarlas en el monitor.

El escenario de la pieza de trabajo es una parte clave de la máquina de litografía, que está compuesta por el escenario de movimiento general de la máscara y la muestra (XY), el escenario de movimiento relativo de la máscara y la muestra (XY), el escenario de rotación, el mecanismo de nivelación de la muestra, el mecanismo de enfoque de la muestra, el escenario de la wafer, la prensa de la máscara y el escenario de extracción de la máscara. El mecanismo de nivelación de la muestra consta de un asiento esférico y una semiesfera. En el proceso de nivelación, primero se aplica aire comprimido al asiento esférico y a la semiesfera, y luego el asiento esférico, la semiesfera y la pieza de muestra se mueven hacia arriba mediante la rueda de enfoque, para que la pieza de muestra pueda nivelarse contra la máscara, y luego la válvula electromagnética de tres vías y dos posiciones cambia el asiento esférico y la semiesfera a vacío para bloquear y mantener el estado de nivelación.

Minder-Hightech te trae una tecnología avanzada para la fotolitografía a través de la Alineadora/Máquina de Alineación.

¿Estás luchando con una precisión insuficiente al imprimir circuitos en tus productos electrónicos? Con la Alineadora/Máquina de Alineación de Minder-Hightech, puedes estar tranquilo sabiendo que lograrás una alta precisión en la producción de tus circuitos impresos.

Con este artículo revolucionario, puedes transferir sin problemas una imagen de alta resolución a un producto utilizando fotolitografía. Esta máquina garantiza la precisión mediante un sistema operativo que alinea el material con la imagen.

Después de que las imágenes se imprimen y se cargan, la máquina calcula la cantidad de exposición requerida y cómo el material está alineado con mención de las imágenes. Este cálculo se realiza utilizando el último software informático, que puede actualizarse para mantenerse al día con el desarrollo tecnológico en la industria de la producción.

Te permitirá crear una amplia gama de productos, incluyendo microcircuitos, circuitos de radiofrecuencia (RF) y circuitos integrados. La unidad puede lograr la mejor profundidad de grabado, ancho de pista y alineación entre capas mediante la adición de varios procedimientos complementarios, como el grabado químico y el electrochapado.

La ventaja de nuestro producto radica en su capacidad para producir una alta alineación, lo que garantiza que los patrones estén situados con gran precisión en el material. Puedes imprimir cómodamente muchos diseños complicados sin deformidades.

Es fácil de usar, compacto y eficiente, lo que lo hace adecuado para diversas instalaciones de fabricación o tamaños de empresa. Además, nuestro equipo incluye un mantenimiento manual y capacitación en el lugar con nuestro equipo de soporte técnico.

La Máquina Alineadora de Minder-Hightech utiliza tecnología de fotolitografía para ayudarte a obtener los mejores resultados al imprimir tus circuitos. Experimenta un nuevo nivel de tecnología que te ofrece una alta precisión e exactitud que no pueden igualar los métodos de impresión tradicionales. La Máquina Alineadora de Minder-Hightech es lo que tu empresa de fabricación necesita para mantenerse un paso por delante de la competencia. Ponte en contacto con nosotros hoy para disfrutar de los beneficios de la mejor tecnología de Alineadora del mercado.

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