Pulidora mecánica química automática de obleas de una sola placa CMP, China Pulidora mecánica química automática de obleas de una sola placa CMP Fabricantes, Proveedores, Fábrica

Descripción del producto

CMP de platina única ATOM

Características de la máquina

El dispositivo es flexible y puede soportar múltiples cabezales.
La capacidad de proceso del equipo está cerca del nivel del modelo convencional de productos del mismo tamaño.
Buena consistencia del proceso entre dispositivos.

Los campos de aplicación

Pulido de 4 a 8 pulgadas de STI, ILD/IMD, TSV, TGV y pulido de superficies de compuestos como SiC, LT, LN, GaAs, etc.

Parámetros técnicos

Cabezales de 4, 6 y 8 pulgadas, control multizona
Tipo de platina de Φ20 pulgadas y 508 mm
Precisión del control de presión del cabezal <0.05 PSI
Precisión del control de velocidad de rotación del cabezal y la platina <2 RPM

Producto Pulidora mecánica química de obleas de una sola placa automática cmp-53

1. Unidad LoadPort

El puerto se puede girar para sumergir el casete en el Qtank, evitando la formación de cristales de lechada en el
Superficie pulida de la oblea. Equipada con función de mapeo de casete.

Producto Pulidora mecánica química de obleas de una sola placa automática cmp-54

2. Unidad robotizada de recuperación de materiales.

Equipado con un robot de 4 ejes, puede transferir automáticamente las obleas desde el casete a la unidad de pulido.

Producto Pulidora mecánica química de obleas de una sola placa automática cmp-55

3. Unidad pulidora

Esta unidad está equipada con platina * 1, cabezal * 1, PC *
1, brazo de lodo * 1, HCLU * 1 y punto final EPD
Detección. Puede lograr carga y descarga automática de obleas, control de cabezal multizona, lodo
Cambio de punto de aterrizaje con configuraciones de recetas, detección de puntos finales y otras funciones.

Producto Pulidora mecánica química de obleas de una sola placa automática cmp-56

Cabezal pulidor CMP

Los cabezales pulidores configurados en este dispositivo están todos desarrollados, diseñados y producidos independientemente por nuestra empresa.
Entre ellos, el cabezal de 4 cavidades de 3 pulgadas es un producto único creado por nuestra empresa, que llena el vacío de la falta de cabezales de 4 pulgadas con múltiples cavidades en China. Nuestra empresa puede modificar o personalizar rápidamente el cabezal de acuerdo con las características del producto del cliente. En el desarrollo de productos de película delgada TGV (200 um), se modificó la estructura interna del cabezal para cumplir con los requisitos de pulido de película delgada. Durante el proceso de desarrollo de la tecnología de pulido OX de superficie LN, nuestra empresa actualizó profundamente el cabezal de 6 pulgadas y cumplió con éxito los requisitos del producto del cliente.

Producto Pulidora mecánica química de obleas de una sola placa automática cmp-57

Aplicaciones

Proceso tradicional de pulido de planarización de IC;

Proceso TGV/TSV;

Corte inteligente y pre-unión CMP;

Pulido de sustrato SIC/pulido de arseniuro de galio.

Producto Pulidora mecánica química de obleas de una sola placa automática cmp-58

Especificaciones

Puerto	Cantidad * 1, con tanque Q
Robot	Cantidad * 1, para transferencia de obleas
HCLU	Cantidad * 1, para carga y descarga automática de obleas
Cabezal de pulido	Cantidad * Control de 13 cavidades, precisión de control de 0.1 PSI, puede admitir operaciones de obleas de 400 a 1200 UM.
Velocidad del cabezal de pulido	5-150RPM
Disco de pulido	Cantidad * 1 Tamaño de disco de pulido 508 mm, Velocidad de la almohadilla de pulido 10-150 rpm.
Brazo de recorte	Cantidad * 1 almohadilla de pulido. La almohadilla de pulido se puede pulir en línea (simultáneamente) o fuera de línea (después del pulido). El recorte El brazo está equipado con un eje de corte, que puede girar y moverse hacia arriba y hacia abajo, y se pueden controlar la velocidad y la fuerza descendente. La herramienta de recorte está instalada en el eje de recorte y se puede cortar rápidamente. Según los diferentes tipos de almohadillas de pulido, se configuran diferentes tipos de herramientas de afilar, incluidas las herramientas de afilar. cepillos, anillos de diamante y discos de diamante.
Unidad de control de presión de aire del cabezal de pulido UPA	Cantidad * 13Zona ajustable para un mejor efecto de planarización de la superficie.
Bomba de suministro de líquido de pulido	Cantidad * 2. Las bombas peristálticas se utilizan para el suministro de líquido, con 2 bombas peristálticas configuradas para suministrar diferentes pulidos. líquidos al disco de pulido. Cada bomba se puede utilizar en cualquier paso del proceso.
Brazo de lodo	Cantidad * 1 puede controlar el punto de aterrizaje de la lechada y puede limpiar la almohadilla de pulido.
El sistema de control de operación puede lograr control a nivel de usuario, como modo de operador, modo de mantenimiento y modo técnico, y var Varios modos se controlan mediante contraseñas. El software del sistema puede editar los parámetros de proceso de cada paso del proceso y aplanar y Pulir la película fina sobre la superficie del chip según el programa. Puede monitorear el estado de funcionamiento del equipo, monitorear parámetros del proceso en tiempo real y el software puede almacenar automáticamente varios datos del proceso. Equipado con una parada de emergencia Botón, utilizado para detener inmediatamente el funcionamiento del equipo y cortar la energía de control.

Embalaje y Entrega

Producto Pulidora mecánica química de obleas de una sola placa automática cmp-59

Producto Pulidora mecánica química de obleas de una sola placa automática cmp-60

Perfil de la empresa

Preguntas Frecuentes

1. Sobre el precio:
Todos nuestros precios son competitivos y negociables. El precio varía según la configuración y la complejidad de personalización de su dispositivo.

2. Acerca de la muestra:
Podemos brindarle servicios de producción de muestras, pero es posible que deba pagar algunas tarifas.

3. Acerca del pago:
Una vez confirmado el plan, primero debe pagarnos un depósito y la fábrica comenzará a preparar los productos.
El equipo está listo y usted paga el saldo y lo enviamos.

4. Acerca de la entrega:
Una vez finalizada la fabricación del equipo, le enviaremos el video de aceptación y también podrá venir al sitio para inspeccionar el equipo.

5. Instalación y depuración:
Una vez que el equipo llegue a su fábrica, podemos enviar ingenieros para instalarlo y depurarlo. Le proporcionaremos un presupuesto por separado para este servicio.

6. Acerca de la garantía:
Nuestros equipos tienen un período de garantía de 12 meses. Después del período de garantía, si alguna pieza está dañada y necesita ser reemplazada, solo cobraremos el precio de costo.