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Lijadora Química Mecánica Automática de Un Solo Plato para Pulido de Discos

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Descripción del Producto
CMP de Placa Única ATOM

Características de la máquina

El dispositivo es flexible y puede soportar múltiples cabezales.
La capacidad de proceso del equipo está cerca del nivel del modelo principal de productos del mismo tamaño.
Buena consistencia del proceso entre dispositivos.

Campos de Aplicación

pulido de 4-8 pulgadas STI, ILD/IMD, TSV, TGV y pulido de superficie de compuestos como SiC, LT, LN, GaAs, etc

Parámetros técnicos

cabezales de 4, 6 y 8 pulgadas, control multi-zona
Tipo de plato Φ20 pulgadas 508MM
Precisión del control de presión del cabezal <0.05PSI
Precisión del control de velocidad de rotación del cabezal y el plato <2RPM

1. Unidad LoadPort

El puerto puede girarse para sumergir la cinta en Qtank, evitando la formación de cristales de Slurry en la
superficie pulida de la wafer. Equipado con función de mapeo de cintas.

2. Unidad de recuperación de material robótica

Equipado con un robot de 4 ejes, puede transferir automáticamente las wafers de la cinta a la unidad de pulido.

3. ¿Qué es esto? Unidad de pulido

Esta unidad está equipada con Platen * 1, Head * 1, PC *
el valor de la concentración de los productos de tratamiento de la prueba de detección de la toxicidad de los productos de tratamiento de la prueba de detección de la toxicidad de los productos de tratamiento de la prueba de detección de la toxicidad de los productos de tratamiento de la prueba de detección de la toxicidad de los productos de tratamiento de la prueba de detección de la
la detección. Puede lograr carga y descarga automática de obleas, control de cabeza de zonas múltiples, Slurry
el punto de aterrizaje cambia con la configuración de la receta, la detección de puntos finales y otras funciones.
Cabeza de pulido CMP
Las cabezas de pulido configuradas en este dispositivo son todas desarrolladas, diseñadas y producidas independientemente por nuestra compañía.
Entre ellos, el 4 pulgadas de 3 cavidades de la cabeza es un producto único creado por nuestra compañía, llenando el vacío de no multi-cavidad de 4 pulgadas de la cabeza en China. Nuestra empresa puede modificar o personalizar rápidamente la cabeza de acuerdo con las características del producto del cliente. En el desarrollo de productos TGV de película fina (200 mm), la estructura interna de la cabeza se modificó para satisfacer los requisitos del pulido de película fina. Durante el proceso de desarrollo de la tecnología de pulido de superficie OX LN, nuestra compañía mejoró profundamente la cabeza de 6 pulgadas y cumplió con éxito con los requisitos del producto del cliente.
Aplicaciones
Proceso de pulido de planarización IC tradicional;
Proceso TGV/TSV;
Smart Cut y CMP de pre-enlace;
Pulido de sustrato SIC/pulido de arseniuro de galio.
Especificación
Puerto
Cantidad * 1, con tanque Q
Robot
Cantidad * 1, para transferencia de wafer
HCLU
Cantidad * 1, para carga y descarga automática de wafer
Cabeza de pulido
Cantidad * 13 control de cavidad, precisión de control de 0.1PSI, puede soportar operaciones de wafer de 400-1200 UM.
Velocidad de la cabeza de pulido
5-150RPM
Disco de pulido
Cantidad * 1 Tamaño del Disco de Pulido 508mm, Velocidad de la Alfombra de Pulido 10-150rpm.
Brazo de recorte
Cantidad * 1 alfombra de pulido. La alfombra de pulido puede ser pulida en línea (simultáneamente) o fuera de línea (después de pulir). El recorte
el brazo está equipado con un eje de recorte, que puede rotar y moverse hacia arriba y hacia abajo, y la velocidad y la fuerza hacia abajo se pueden controlar. La
herramienta de recorte está instalada en el eje de recorte y puede ser rápidamente
retirada. Según los diferentes tipos de alfombras de pulido, se configuran diferentes tipos de herramientas de vestido, incluyendo cepillos de vestido, aros de diamante y discos de diamante.
las herramientas de vestido incluyen cepillos de vestido, aros de diamante y discos de diamante.
Unidad de control de presión de aire de la cabeza de pulido UPA
Cantidad * 13. Ajustable por zona para un mejor efecto de planarización de la superficie
Bomba de suministro de líquido de pulido
Cantidad * 2. Se utilizan bombas peristálticas para el suministro de líquidos, con 2 bombas peristálticas configuradas para entregar diferentes líquidos de pulido
al disco de pulido. Cada bomba puede usarse en cualquier paso del proceso.
Brazo de lodo
Cantidad * 1 puede controlar el punto de aterrizaje del lodo y puede limpiar la almohadilla de pulido.
El sistema de control operativo puede lograr un control por niveles de usuario, como modo operador, modo mantenimiento y modo técnico, y var
ios modos son controlados por contraseñas. El software del sistema puede editar los parámetros de proceso de cada paso y planificar y
pulir el filme delgado en la superficie del chip según el programa. Puede monitorear el estado de funcionamiento del equipo, monitorear
parámetros de proceso en tiempo real, y el software puede almacenar automáticamente varios datos de proceso. Equipado con un botón de parada de emergencia
botón, utilizado para detener de inmediato la operación del equipo y cortar la alimentación de control.
Embalaje y entrega
Perfil de la empresa
Preguntas frecuentes
1. Acerca del Precio:
Todos nuestros precios son competitivos y negociables. El precio varía dependiendo de la configuración y la complejidad de personalización de tu dispositivo.

2. Acerca de la Muestra:
Podemos proporcionarte servicios de producción de muestras, pero es posible que debas cubrir algunos gastos.

3. Acerca del Pago:
Una vez confirmado el plan, debe pagarnos un depósito primero, y la fábrica comenzará a preparar los bienes. Después de que el
equipo esté listo y pagues el saldo, lo enviaremos.

4. Acerca de la Entrega:
Una vez que se completa la fabricación del equipo, te enviaremos el video de aceptación, y también puedes venir al lugar para inspeccionar el equipo.

5. Instalación y Ajuste:
Después de que el equipo llegue a tu fábrica, podemos enviar ingenieros para instalar y ajustar el equipo. Te proporcionaremos una cotización separada por este costo de servicio.

6. Acerca de la garantía:
Nuestro equipo tiene un período de garantía de 12 meses. Después del período de garantía, si alguna pieza está dañada y necesita ser reemplazada, solo cobraremos el precio de costo.

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