Oblea triturable |
Tamaño |
Pulgadas |
4,5,6,8 |
Casete de obleas |
Número |
- |
2 |
Manera de frotamiento |
- |
Método de rectificado por inmersión vertical |
|
Husillo de muela abrasiva |
Tipos |
- |
Cojinetes neumáticos |
Cantidad |
- |
2 |
|
Velocidad |
rpm |
0 5000 ~ |
|
Potencia de salida |
Kw |
5.5/7.5 |
|
Recorrido |
mm |
150 |
|
Velocidad de alimentación |
un/a |
0.01 100 ~ |
|
Velocidad de avance rápido |
mm / min |
300 |
|
Resolución |
um |
0.1 |
|
Eje de la pieza de trabajo |
Type |
- |
Rodamientos de bolas |
Cantidad |
- |
3 |
|
Tipo de ventosa |
- |
Cerámica microporosa |
|
Método de succión de obleas |
- |
Adsorcion al vacio |
|
Velocidad |
rpm |
0 300 ~ |
|
Transferencia de obleas |
- |
Brazo robótico |
|
- |
disco giratorio |
||
Otras funciones |
Centrado de obleas |
- |
Alineación de pines móviles |
limpieza de obleas |
- |
Limpieza con agua y aire, secado por centrifugado. |
|
Limpieza con ventosa |
- |
Limpieza de piedra de aceite |
|
Muela |
mm |
Φ200 |
|
en Línea multiplataforma |
Rango de medicion |
um |
0 1800 ~ |
Resolución |
um |
0.1 |
|
Repetibilidad |
um |
± 0.5 |
|
Maquinado la exactitud |
Precisión intra-oblea (TTV) |
um |
≤ 2 |
Precisión entre obleas (WTW) |
um |
± 3 |
|
Rugosidad superficial (Ry) |
um |
0.13 (2000# acabado) |
|
Apariencia |
Coloración de la apariencia |
um |
Patrón naranja |
Dimensiones (W × D × H) |
mm |
1200 2750 × × 1950 |
|
Peso |
kg |
4200 |
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