Modelo |
MDTS-WT2200 |
Número de ejes de adelgazamiento |
2 |
Número de bancos de trabajo |
3, Método de índice |
Husillo de muela abrasiva |
Número de husillos de aire: 2 Motor del husillo: motor de frecuencia variable de 7.5 kW Velocidad: 0~6000 rpm, ajustable de forma continua Especificación de la muela abrasiva: Φ203 mm Tipo de muela abrasiva: muela abrasiva de diamante |
Sistema de alimentación de muelas abrasivas |
Cantidad: 2 sets Método de control del sistema de alimentación: riel guía LM y husillo de bolas combinación Motor de accionamiento: servomotor Velocidad mínima de alimentación: 0.1 um/seg. Velocidad máxima de alimentación: 50 mm/seg. |
Banco de trabajo |
Cantidad: 3, Modo índice Motor del husillo: Servomotor Velocidad: 0~300 rpm, ajustable de forma continua Método de adsorción: adsorción al vacío |
Mesa giratoria para banco de trabajo |
Modo de conducción: servomotor Rango de rotación: 0~240° Forma de posicionamiento: posicionamiento asistido por sensor |
Espesor automático sistema de medida |
Método de medición: Medición en tiempo real en línea mediante contacto IPG Número de cabezales de medición: 2 Sensor de medición: sensor de nivel de 0.1 um |
Carga automática/ sistema de descarga |
Tipo de caja: Casete de 6 a 8 pulgadas, 25 capas Método de carga/descarga automática: se utiliza un manipulador de obleas para garantizar que las obleas delgadas se transporten sin daños. Espesor de la oblea: 150 um-1000 um |
Función de limpieza del banco de trabajo |
Método de limpieza: pulido con piedra de aceite y lavado con dos fluidos con agua desionizada y aire |
Limpieza automática/ sistema de secado |
Limpieza: Limpieza de boquillas DIW Método de secado: soplado + secado Velocidad: máx. 1000 rpm, ajustable de forma continua |
Sistema de eliminación de estática |
Ventilador de barra de iones Orion |
Enfriador de husillo |
Temperatura: 18-22 ° C Velocidad de flujo: 4 ~ 8L / min. |
Sistema de control |
Sistema de control: Sistema de control por PC, pantalla táctil, luz de alarma de 3 colores Interfaz hombre-máquina en chino/inglés |
Tamaño máximo de oblea |
Máximo compatible con 8 pulgadas |
Rango de velocidad |
0 ~ 6000 RPM |
Recorrido del eje Z |
160 mm |
Velocidad de avance del eje Z |
0.1 ~ 100 um/seg |
Velocidad de retracción rápida del eje Z |
50 mm/s |
Resolución del eje Z |
0.1um |
Rango de medición de espesor en línea |
0 ~ 1800um |
Resolución de medición de espesor en línea |
0.1um |
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