PROYECTO
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Contenido
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Tipo de Producto
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6", 8", 12" marco de wafer
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elementos de inspección 2D
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Objetos extraños, residuos de pegamento, partículas, rayones, grietas, contaminación, desviación CP, área excesiva, etc.
Desviación del canal de corte y desgaste |
Elementos de inspección de la trayectoria de corte
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6", 8", 12" marco casete
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Lente y Resolución
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2x(2.75μm)/3.5x(1.57μm)/
5x(1.1μm)/7.5x(0.73μm)/10x(0.55μm) |
Precisión
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0.55μm/píxel
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Opcional y Personalizado
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Módulo INK, módulo IR
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